Библиотека Рефераты Курсовые Дипломы Поиск
Библиотека Рефераты Курсовые Дипломы Поиск
сделать стартовой добавить в избранное
Кефирный гриб на сайте za4eti.ru

Химия Химия

Монокристаллический кремень

Совок №5.
Длина совка: 22 см. Цвет в ассортименте, без возможности выбора.
18 руб
Раздел: Совки
Коврик для запекания, силиконовый "Пекарь".
Коврик "Пекарь", сделанный из силикона, поможет Вам готовить вкусную и красивую выпечку. Благодаря материалу коврика, выпечка не
202 руб
Раздел: Коврики силиконовые для выпечки
Ручка "Помада".
Шариковая ручка в виде тюбика помады. Расцветка корпуса в ассортименте, без возможности выбора!
25 руб
Раздел: Оригинальные ручки

Введение Основной объем монокристаллического кремния (80-90%) потребляемого электронной промышленно- стью, выращиваеться по методу Чохральского. Фактически весь кремний,используемый для произво- дства интегральных схем,производиться этим методом. Кристаллы выращенные этим методом обычно не содержат краевых дислокаций,но могут включать небольшие дислокационные петли,образующиеся при конденсации избыточных точечных дефектов. Кристаллический рост заключаеться в фазовом переходе из жидкого состояния в твердую фазу. Применительно к кремнию этот процесс может быть охарактеризован как однокомпонентная ростовая система жидкость-твердое тело. Рост кристаллов по методу Чохральского заключаеться в затвердевании атомов жидкой фазы на границе раздела Скорость роста определяеться числом мест на поверхности растущего кристалла для присоединения атомов,поступающих из жидкой фазы,и особенностями теплопереноса на границе раздела фаз.Скорость вытягивания оказывает влияние на форму границы раздела фаз между растущим кристаллом и расплавом, которая являеться функцией радиального градиента температуры и условий охлаждения боковой поверхности растущего кристалла. Оборудование для роста кристаллов. Установка для выращивания кристаллов представлена на рисунке 2,и включает в себя 4 основных узла: 1.Печь в которую входят тигель,контейнер, механизм вращения,нагреватель,источник пита- ния и камера. 2.Механизм вытягивания кристалла содержащий стержень,или цепь с затравкой,механизм вращения затравки и устройство для зажима затравки. 3.Устойство для управления составом атмосферы, состоящее из газовых источников,расходомеров, системы продувки и вакуумной системы. 4.Блок управления,в который входят микропроцессор,датчики и устройства вывода. Тигель является наиболее важным элементом ростовой системы.Так как тигель содержит расплав,его материал должен быть химически инертен по отношению к расплавленному кремнию. Это основное требование при выборе материала тигля,так как электрические свойства кремния чувствительны даже к таким уровням примеси, как 10(-7)ат.%.Кроме того,материал тигля должен иметь высокую температуру плавления,обладать термической стабильностью и прочностью. Также он должен быть недорогим или обладать способностью к многократному использованию. К сожалению,расплавленный кремний растворяет почти все используемые материалы (например карбиды тугоплавких металлов iC или aC,тем самым способствуя слишком высокому уровню металлических примесей в растущем монокристалле.Тигли из карбида кремния также неприемлимы.Несмотря на то что углерод являеться электрически нейтральной примесью в кремнии,вырастить высококачественные монокристаллы кремния из расплавов,насыщенных углеродом,не удаеться. Отношение диаметра тигля к его высоте в больших установках =1 или немного превышает это значение Обычно диаметр тигля равен 25,30 или 35 см.для объема загрузки 12,20 и 30 кг. соответственно. Толщина стенок тигля равна 0.25см,однако кварц недостаточно тверд,чтобы использовать его в качестве контейнера для механической поддержки расплава.После охлаждения несоответствие термических коэффициентов линейного расширения между оставшимися в тигле кремнием и кварцом приводит к растрескиванию тигля.

Возможность использования нитрида кремния в ка- честве материала для тиглей была продемонстрирована при осаждении нитрида из парогазовых смесей на стенки обычного тигля. Контейнер используеться для поддержки кварце- вого тигля .В качестве материала для контейнера служит графит,поскольку он обладает хорошими высокотемпературными свойствами.Обычно используют сверхчистый графит.Высокая степень чистоты необходима для предотвращения загрязнения кристалла,примесями,которые выделяються из графита при высоких температурах процесса .Контейнер устанавливают на пьедестал,вал которого соединен с двигателем, обеспечивающим вращение.Все устройство можно поднимать или опускать для поддержания уровня расплава в одной фиксированной точке,что необходимо для автоматического контроля диаметра растущего слитка. Камера высокотемпературного узла установки должна соответствовать определенным требованиям.Прежде всего она должна обеспечивать легкий доступ к деталям узла для облегчения загрузки и очистки.Высокотемпературный узел должен быть тщательно герметизирован,дабы предотвратить загрязнение системы из атмосферы Кроме того,должны быть предусмотрены специальные устройства,предотвращяющие нагрев любого узла камеры до температуры,при которой давление паров ее материала может привести к загрязнению кристалла.Как правило,наиболее сильно нагреваемые детали камеры имеют водяное охлаждение,а между нагревателем и стенками камеры устанавливают тепловые экраны. Для расплавления материала загрузки используют главным образом высокочастотный индукционный или резистивный нагрев.Индукционный нагрев применяют при малом объеме загрузки,а резистивный-исключительно в больших ростовых установках.Резистивные нагреватели при уровне мощности порядка нескольких десятков киловатт обычно меньше по размеру,дешевле,легче в изготовлении и более эффективны.Они представляют собой графитовый нагреватель ,соединенный с источником постоянного напряжения. Механизм вытягивания кристалла. Механизм вытягивания кристалла должен с минима- льной вибрацией и высокой точностью обеспечить реализацию двух параметров процесса роста: -скорости вытягивания; -скорости вращения кристалла. Затравочный кристалл изготавливаеться с точной (в пределах установленного допуска)ориентацией, поэтому держатель затравки и механизм вытягивания должны постоянно удерживать его перпендикулярно поверхности расплава. Направляющие винты часто используються для подъема и вращения слитка. Этот метод позво- ляет безошибочно центрировать кристалл отно- сительно тигля , однако при выращивании слитков большой длины может оказаться необходимой слишком большая высота установки.Поэтому, когда поддержание необходимой точности при вы- ращивании длинных слитков не обеспечиваеться винтовым устройством,приходиться применять многожильные тросы.В этом случае центровка положения монокристалла и тигля затруднена. Более того,в процессе наматывания троса возможно возникновение маятникого эффекта.Тем не менее применение тросов обеспечивает плавное вытя- гивание слитка из расплавава , а при условии их наматывания на барабан высота установок значительно уменьшаеться.

Кристалл выходит из высокотемпературной зоны через систему продувки ,где газовый поток-в случае если выращивание про- изводиться в газовой атмосфере-движеться вдоль поверхности слитка,приводя к его охлаждению. Из системы продувки слиток попадает в верхнюю камеру,которая обычно отделена от высокотемпературной зоны изолирующим клапаном.Устройство для управления составом атмосферы.Рост монокристалла по методу Чохральского должен проводиться в инертной среде или вакууме,что вызвано следующими причинами: 1) Нагретые графитовые узлы должны быть защищены от воздействия кислорода для предотвращения эррозии; 2) Газовая атмосфера не должна вступать в химическую реакцию с расплавом кремния. Выращивание кристаллов в вакууме удовлетворяет указанным требованиям и , кроме того, имеет ряд преимуществ,в частности ,способствует удалению из системы моноокиси кремния, тем самым предо- твращаяет ее осаждение на стенках камеры.При выращивании в газовой атмосфере чаще всего используют инертные газы :аргон и гелий. Инертные газы могот находиться при атмосферном или пониженном давлении.В промышленных производстве для этих целей используются аргон что объясняеться его низкой стоимостью. Оптимальный расход газа составляет 1500л на 1кг выращенного кремния.Аргон поступает в камеру при испарении из жидкого источника и должен соответствовать требованиям высокой чистоты в отношении содержания влаги,углеводородов, и других примесей.Блок управления.Блок управления может включать в себя разные приборы.Он предназначен для контроля и управления такими параметрами процесса,как температура,диаметр кристалла,скорость вытягивания и скорость вращения.Контроль может проводиться по замкнутому или разомкнутому контуру.Параметры,включающие скорости вытягивания и вращения,имеют большую скорость отклика и чаще всего контролируються по принципу замкнутого контура с обратной связью. Большая тепловая масса обычно не требует кратковременного контроля температуры.Например для контроля диаметра растущего кристалла ин- фракрасный датчик температуры может быть сфокусирован на границе раздела фаз расплав- монокристалл и использован для определения температуры мениска.Выход датчика связан с механизмом вытягивающего устройства и контро- лирует диаметр слитка путем изменения скорости вытягивания.Наиболее перспективными управляющими являються цифровые микропроцессорные системы.Они позволяют уменьшить непосредственное участие оператора в процессе выращивания и дают возможность организовать програмное управление многими этапами технологического процесса. Схема установки для выращивания кристаллов. 1.затравочный шток 2.верхний кожух 3.изолирующий клапан 4.газовый вход 5.держатель затравки и затравка 6.камера высокотемпературной зоны 7.расплав 8.тигель 9.выхлоп 10.вакуумный насос 11.устройство вращения и подъема тигля 12.система контроля и источник энергии 13.датчик температуры 14.пьедестал 15.нагреватель 16.изоляция 17.труба для продувки 18.смотровое окно 19.датчик для контроля диаметра растущего слитка.Список литературы: 1.Технология СБИС под редакцией С.ЗИ.,МОСКВА”МИР”1986 2.Оборудование полупроводникового производства Блинов,Кожитов,”МАШИНОСТРОЕНИЕ”1986 Учебно-исследовательская работа на тему : “Выращивание монокристаллов методом Чохральского” ст.п

Поэтому, что бы ни было предметом религии, пусть это будут даже раковины улитки или кремень, они окажутся предметом религии лишь как сущность, определяемая чувством, представлением, воображением. Это лежит в основании утверждения, что люди почитают не камни, не зверей, не деревья, не реки, как таковые, но обитающие в них божества, манито, духи. Но эти духи природных существ не что иное, как представления, как их отображения, или: это - представляемые существа, воображаемые существа в отличие от этих же существ, но рассматриваемых как нечто чувственное, доподлинное. Точно так же духи умерших не что иное, как представления и образы умерших, не исчезающие из памяти, - они были когда-то действительными существами, а теперь только представляются таковыми; религиозный, то есть необразованный, человек не различает между предметом и представлением этого предмета, почему эти существа кажутся ему реальными и самостоятельными. Совершенно ясен и очевиден благочестивый, непроизвольный самообман верующего человека, если он обнаруживается в естественной религии, ибо человек сам здесь вкладывает в свой религиозный объект и глаза и уши, он знает, он видит, что это сделанные каменные или деревянные глаза и уши, и все же он верит, что это действительные глаза и уши

1. Расчет температурного поля и массопереноса углерода при выращивании монокристаллов алмаза в расплаве металлов

2. Выращивание профильных монокристаллов кремния методом Степанова

3. Теории деформационного упрочнения монокристаллов

4. Жидкие кристаллы

5. Технология выращивания грибов - Вешенкая обыкновенная

6. Трех- и четырехволнове рассеяние света на поляритомах и кристаллах ниобата лития с примесями
7. Профессии жидких кристаллов
8. Технико-экономическое обоснование выращивания зерновых эфирномасличных культур на юге Украины

9. Передний край теоретической физики: теплопроводность одномерного кристалла

10. О природе высокотемпературной сверхпроводимости

11. Жидкий кристалл

12. Автоматизированное проектирование СБИС на базовых матричных кристаллах

13. Высокотемпературная сверхпроводимость

14. Кристаллы

15. Кристаллы и их свойства

16. Радиационные процессы в ионных кристаллах

Полотенце вафельное "Сластена полосатка", банное, пляжное, 100х150 см.
Вафельное полотенце "Сластена полосатка". Легкое и практичное полотенце удобно использовать на пляже, в бане и в бассейне.
304 руб
Раздел: Большие, ширина свыше 40 см
Средство для мытья посуды Finish "All in 1 Max", в посудомоечных машинах таблетки, 65 штук.
Таблетки идеальны для использования на коротких циклах - таблетки быстро растворяются. Таблетки не нужно разворачивать! Специальные
880 руб
Раздел: Для посудомоечных машин
Шкатулка для ювелирных украшений, 13x13x6 см, арт. 84412.
Шкатулка сохранит ваши ювелирные изделия в первозданном виде. С ней вы сможете внести в интерьер частичку элегантности. Регулярно удалять
832 руб
Раздел: Шкатулки для украшений

17. Оптическая спектроскопия кристаллов галита с

18. Жидкие кристаллы

19. Мир кристаллов

20. Мир кристаллов

21. Влияние условий выращивания на длину волокна у образцов хлопчатника

22. Выращивание щенков породы Ши-Тцу после полутора месяцев
23. Выращивание роз в комнате
24. О происхождении “высокотемпературных” осцилляций кинетических коэффициентов в висмуте и полуметаллических сплавах на его основе

25. Технология выращивания и хранения лука

26. Зоогигиенические требования к выращиванию свиноматок

27. Твердые кристаллы

28. Микроскопическое изучение оптических свойств кристаллов

29. Жидкие кристаллы

30. Трех- и четырехволновое рассеяние света на поляритонах в кристаллах ниобата лития с примесями

31. Кристаллы и их применение

32. Изготовление кристаллов

Сумка-транспортный чехол Baby care "TravelBag" для коляскок "Трость", чёрный.
Размер: 380х180х1100 мм. Цвет: черный.
634 руб
Раздел: Дождевики, чехлы для колясок
Перчатки Paclan, виниловые, 100 штук, размер M.
Материал: поливинилхлорид. Без внутреннего напыления. Для одноразового применения. Размер M (средний). Комплект: 50 пар (100 шт).
360 руб
Раздел: Перчатки
Сумка-мешок "Серая".
Сумка мешок с ремнем. Круглое дно. Цвет сумки: серый. Материал: текстиль. Высота: 45 см. Диаметр: 25 см. Дизайн может отличаться от
422 руб
Раздел: Сумки для обуви

33. Технология выращивания кукурузы на зерно

34. Промышленное выращивание грибов

35. Биологические основы выращивания белуги (Huso huso)

36. Биологические основы выращивания сазана (Cyprinus carpio L)

37. Биологическое обоснование выращивания белого амура в ильменях дельты Волги

38. Выращивание растений в водной культуре на полной питательной смеси и с исключением элементов питания (вариант без азота)
39. Ветеринарная технология защиты при выращивании ремонтного молодняка яичных кур
40. Выращивание баклажанов

41. Выращивание земляники

42. Выращивание картофеля

43. Выращивание озимой ржи

44. Выращивание рассады

45. Выращивание ремонтного молодняка кур

46. Выращивание смородины на приусадебном участке

47. Выращивание томата "Гигант Новикова"

48. Выращивание цветочных культур

Фоторамка "Poster black" (70х100 см).
Рамка настенная может располагаться как вертикально, так и горизонтально. Для фотографий размером: 70х100 см. Материал: пластик.
460 руб
Раздел: Размер 50x60 и более
Демонстрационные шахматы, магнитные.
Об этих шахматах говорит само их название. Они предназначены для шахматных школ, кружков или секций. Основное преимущество
2295 руб
Раздел: Шахматы
Фоторамка "Asti" (30х40 см).
Рамка для фото формата 30х40 см. Материал: дерево. Материалы, использованные в изготовлении рамок, обеспечивают высокое качество хранения
431 руб
Раздел: Размер 30x40

49. Выращивание цесарят на мясо

50. Гидропонный метод выращивания овощей

51. Особенности выращивания гороха

52. Особенности выращивания и хранения яровой пшеницы "Лада"

53. Особенности сельскохозяйственного выращивания ячменя ярового

54. Особенности эффективного выращивания молодняка родительского стада бройлеров
55. Принципы выращивания свиней
56. Проектирование полезащитных полос. Выращивание саженцев плодовых пород

57. Разработка технологических приемов выращивания груши

58. Способы выращивания телят

59. Технология воспроизводства стада и выращивание ремонтного молодняка

60. Технология выращивания и хранения сельскохозяйственных культур

61. Технология выращивания моркови

62. Технология выращивания ремонтных телок

63. Технология выращивания свеклы

64. Технология выращивания цветной капусты

Конструктор электронный ЗНАТОК "Первые шаги в электронике. Набор А" (15 схем).
Вам будет предложено собрать свой первый фонарик, первый вентилятор, провести первые эксперименты с магнитом — всего 15 разных проектов,
892 руб
Раздел: Инженерные, научно-технические
Конструктор "Row Boat Kit".
Конструктор для сборки действующей модели «Весельная лодка». Каждый мальчишка, увидев хитроумный механизм, пытается его разобрать, чтобы
317 руб
Раздел: Инженерные, научно-технические
Доска пеленальная "Гном".
Доска для пеленания с жестким деревянным каркасом. Легко устанавливается на перила кроватки, стол, комод или другую устойчивую
789 руб
Раздел: Пеленальные столики, доски

65. Товарное выращивание осетра

66. Условия выращивания хряков-осеменителей и требования к их племенным качествам

67. Хозяйственная деятельность предприятия по выращиванию цыплят

68. Нормы кормления молодняка крупного рогатого скота при выращивании и откорме на мясо

69. Конструктивно-технологические варианты исполнения биполярного и полевого транзисторов в одном кристалле. Инжекционно-полевая логика

70. Пасты для проводящих, резисторных и диэлектрических элементов, их характеристики. Методы формирования рисунка и материалы для герметизации кристаллов и плат
71. Разработка алгоритмического и программного обеспечения стандарта IEEE 1500 для тестирования гибкой автоматизированной системы в пакете кристаллов
72. Расчет усилительного резистивного каскада на биполярных транзисторах

73. Симметрия молекул и кристаллов

74. Организация работы по управлению персоналом на предприятии ООО "Кристалл" и пути ее совершенствования

75. Влияние испарения оксидной пленки и теплообмена излучением на высокотемпературный тепломассообмен и кинетику окисления вольфрамового проводника

76. Жидкие кристаллы

77. Локальное ферромагнитное упорядочение в кристаллах типа висмута

78. Математическое моделирование пластической деформации кристаллов

79. Организация досугового центра ЗАО "Кристалл"

80. Кристаллогенезис - возникновение, рост и разрушение кристаллов

Папка для тетрадей "Калейдоскоп", А3.
Папка для тетрадей формата A3, закрывается на молнию. Отличается вместительностью и ярким дизайном (полноцветная печать на пластике). Для
507 руб
Раздел: Папки для тетрадей
Фоторамка "Poster gold" (40х60 см).
Для фотографий размером 40 х 60 см. Материал рамки - пластик. Цвет - золотистый. Материал подложки - плотный картон. Крепежи позволяют
770 руб
Раздел: Размер 40x60 (А2)
Качели, подвесные.
Эти подвесные качели можно разместить дома или на улице в любом удобном месте. Наш пластик прочен и долговечен, поэтому качели прослужат
381 руб
Раздел: Качели

81. Анализ хозяйственной деятельности производственно-торгового республиканского унитарного предприятия "Минск Кристалл"

82. Порода с/х животных

83. Промышленное производство в Республике Беларусь в 90-х годах ХХ-го века

84. Общественно - политическое и социально - экономическое положение Китая в 20-х - 30-х годах ХХ века

85. Деньги России в 1920 – 1930-х гг.

86. Реституция культурных ценностей и международные конференции 10-30-х гг. XX в.
87. Крестьянская поэзия 20-х годов. Николай Клюев
88. Концепты общества потребления во французской литературе 50-60-х годов 20 века на примере романов Э. Триоле "Розы в кредит", Ж. Перек "Вещи" и С. де Бовуар "Прелестные картинки"

89. Частная жизнь русской женщины в Х - начале ХIX вв.

90. Рабовладение у восточных славян VIII-Х вв.

91. Внешняя политика СССР в конце 30-х, начале 40-х годов

92. Массовые репрессии и политические процессы 20-х 30-х годов

93. Советский Союз во второй половине 80-х - начале 90-х годов

94. Неформальная жизнь столицы в 50-х, 60-х гг. ХХ века

95. Иммунодиагностика и иммунотерапия рака молочной железы

96. Развитие теории урока в советской дидактике периода середины 50-х - середины 60-х годов

Тортница с защелками.
Колпак тортовницы крепится к дну защелками. Сверху полиэтиленовая ручка, которая при необходимости вытягивается. Все это позволяет
333 руб
Раздел: Хлебницы
Планшетик "Умная сказочка".
Говорящий планшет "Умная сказочка" от бренда "Азбукварик" представляет собой интересный девайс, который поможет малышу
445 руб
Раздел: Планшеты и компьютеры
Магнитная самоклеящаяся лента в диспенсере, 1,9x500 см.
Используется для быстрой и невидимой фиксации на металлической поверхности любых документов, плакатов, фотографий, напоминаний. Клеевой
799 руб
Раздел: Аксессуары для досок

97. Вплив моральних якостей вчителів на процес формування майбутніх громадян України

98. Технология приготовления блюд (винегрет с сельдью, печень по-строгановски, яблоки в тесте жареные, трубочка заварная с заварным кремом)

99. Отчет по товароведно-технологической практике на "Волгодонском Молочном Комбинате"

100. Постиндустриальное общество. Советский Союз во второй половине 60-Х - первой половине 80-Х гг.


Поиск Рефератов на сайте za4eti.ru Вы студент, и у Вас нет времени на выполнение письменных работ (рефератов, курсовых и дипломов)? Мы сможем Вам в этом помочь. Возможно, Вам подойдет что-то из ПЕРЕЧНЯ ПРЕДМЕТОВ И ДИСЦИПЛИН, ПО КОТОРЫМ ВЫПОЛНЯЮТСЯ РЕФЕРАТЫ, КУРСОВЫЕ И ДИПЛОМНЫЕ РАБОТЫ. 
Вы можете поискать нужную Вам работу в КОЛЛЕКЦИИ ГОТОВЫХ РЕФЕРАТОВ, КУРСОВЫХ И ДИПЛОМНЫХ РАБОТ, выполненных преподавателями московских ВУЗов за период более чем 10-летней работы. Эти работы Вы можете бесплатно СКАЧАТЬ.