Библиотека Рефераты Курсовые Дипломы Поиск
Библиотека Рефераты Курсовые Дипломы Поиск
сделать стартовой добавить в избранное
Кефирный гриб на сайте za4eti.ru

Промышленность и Производство Промышленность и Производство     Технология Технология

Методы контроля в производстве интегральных микросхем

Совок большой.
Длина 21,5 см. Расцветка в ассортименте, без возможности выбора.
21 руб
Раздел: Совки
Крючки с поводками Mikado SSH Fudo "SB Chinu", №4BN, поводок 0,22 мм.
Качественные Японские крючки с лопаткой. Крючки с поводками – готовы к ловле. Высшего качества, исключительно острые японские крючки,
58 руб
Раздел: Размер от №1 до №10
Забавная пачка денег "100 долларов".
Купюры в пачке выглядят совсем как настоящие, к тому же и банковской лентой перехвачены... Но вглядитесь внимательней, и Вы увидите
60 руб
Раздел: Прочее

При изготовлении интегральных схем очень важным является контроль технологических процессов. Хорошо организованный контроль обеспечивает высокий прицент выхода годной продукции. Успешный контроль изготовления интегральных микросхем в основном зависит от знания процесса производства и заключается в измерении и визуальной проверке основных операций технологического процесса, а также в использовании полученой информации для корректирования технологических режимов. Методы технологического контроля, используемые в производстве ИМС, можно объединить в три группы : пооперационный контроль, визуальный контроль, тестовые ИМС. Методы пооперационного контроля после технологических процессов эпитаксии, диффузии и других те же, что и в производстве дискретных приборов.Сюда входят измерения толщин пленок, глубин p- - переходов, поверхностной концентрации и др., производимые на специальных контрольных образцах, помещаемых вместе с обрабатываемыми пластинами на данную операцию. Метод визуального контроля играет важную роль в производстве ИМС, несмотря на кажущуюся тривиальность. Он включает осмотр схем под оптическим микроскопом и использование различных средств визуализации – наблюдение термографии и др. Наконец, один из основных методов контроля параметров ИМС на различных технологических этапах – это применение тестовых структур. Рассмотрим более подробно два последних метода. Визуальный контроль. Существенные данные о состоянии пластины можно получить визуальной проверкой с помощью микроскопа с большим увеличением – от 80х до 400х. При этом выявляются такие показатели, как состояние поверхности, избыточное или недостаточное травление, изменение толщины окисного слоя, правильность перехода и др. Одним из наиболее опасных дефектов является пористость окисного слоя, легко обнаруживаемая при визуальной проверке схемы под микроскопом. Это – небольшие отверстия в окисном слое, вызванные либо пылью при нанесении фоторезиста, либо повреждением фотошаблона. Если этот дефект окажется в критической точке, то последующая диффузия примеси может вызвать короткое замыкание перехода и выход из строя всей микросхемы. Одним из эффективных методов визуализации является использование сканирующего электронного микроскопа, позволяющего наблюдать топографический и электрический рельеф интегральной микросхемы. Это наблюдение обеспечивает неразрушающий характер контроля. Для наблюдения необходимо, чтобы поверхность микросхемы была открытой. Резкое изменение потенциала на поверхности вызывает изменение контраста изображения, формируемого вторичными электронами, и свидетельствует о разомкнутой электрической цепи или о перегретых участках. Этим методом можно легко обнаружить загрязнение перехода, частицы пыли, проколы в окисном слое и царапины на тонком слое металлизации. Нормальный градиент потенциала в резисторе можно наблюдать в виде равномерного изменения цвета от темного на одном конце резистора до светлого на другом его конце, при этом подложка имеет более высокое напряжение смещения, как это обычно бывает и интегральных микросхемах. Изображение резистора поэтому будет рельефным.

Установив ряд таких изображений интегральных компонентов, соответствующих норме, можно судить на основании сравнения с этими эталонами об отклонениях и вызвавших их причинах. Увеличение энергии электронов в луче позволяет проникать в поверхностный слой для обнаружения таких дефектов, как трещины. Для измерения термических профилей с выявлением перегретых участков разработан инфракрасный сканирующий микроскоп. Микроскоп включает ИК- детектор с высокой разрешающей способностью, объединенный с прецизионным сканирующим и записывающим устройствами. Чувствительным элементом является пластина антимонида индия, поддерживаемая при температуре жидкого азота. Такую аппаратуру используют для оценки качества конструкции данной микросхемы в отношении рассеяния тепла и мощности. Термосканирующий прибор имеет следующие достоинства: высокая разрешающая способность–порядка 1 10-3 мм2 , высокая чувствительность к изменению температуры – порядка 2°С, широкий температурный диапазон–от 30 до нескольких сотен градусов, высокая скорость срабатывания – единицы мкс, неразрушающее и бесконтактное измерение. В планарных структурах на поверхности схемы хорошо видны горячие участки, возникающие в результате наличия проколов в окисле и диффузионных каналов в полупроводнике. Отклонения от нормы обнаруживают путем сравнения с нормально функционирующими стандартами ИМС. В последние годы широкое применение получили термографические системы, основанные на использовании термочувствительных красок. Пленки из термочувствительных красок, в том числе жидких кристаллов, нанесенные на поверхность интегральной микросхемы, поставленной под нагрузку, окрашиваются в различные цвета, что позволяет, наблюдая ИМС под микроскопом, фиксировать изменение температуры с точностью до 0.5° С. Тестовые интегральные микросхемы. Наличие в интегральных микросхемах большого количества конструктивных элементов– по несколько сотен и тысяч пересечений проводников, переходов со слоя на слой, областей и выводов активных и пассивных компонентов, контактных площадок и др. Практически исключает 100%-ный контроль всех элементов по электрическим параметрам из- за высокой трудоемкости этой операции. В это же время необходимость такого контроля, особенно на этапе отработки и совершенствования технологии, очевидна. Для контроля электрических характеристик структур и качества проведения технологических операций используют специально изготовляемые или размещаемые на рабочей подложке структуры, называемые тестовыми микросхемами. Основной принцип их построения состоит в том, что тестовая микросхема по отношению к реальной должна быть изготовлена по тому же технологическому маршруту, содержать все конструктивные элементы в различных сочетаниях и обеспечивать удобство их контроля во время испытаний и оценку качества технологического процесса. Удобство контроля достигается либо последовательным, либо параллельным включением в электрическую цепь элементов микросхемы. Тестовые микросхемы состоят из набора нескольких сотен однотипных элементов–диодов, транзисторов резисторов, переходов со слоя на слой, пересечений проводников и др.

с контактными площадками и такой коммутацией, которая позволяет при надобности изменить каждый элемент схемы отдельно или проконтролировать сразу группу элементов. Например, тестовая резисторная схема является последовательной схемой, содержащей 200 элементов, между которыми имеются контактные площадки. Если в реальной ИМС встречаются высокоомные и низкоомные резисторы, то делают две различные тестовые микросхемы, отображающие специфику каждого типа резисторов. Аналогичный подход используется для тестовых микросхем транзисторов и диодов. Наряду с тестовыми микросхемами контроль отдельных компонентов, в первую очередь диодов и транзисторов, производится с помощью тестовых кристаллов. Тестовый кристалл содержит набор изолированных элементов, встречающихся в интегральной микросхеме (рис.1). Его размеры близки к размеру чипа и на пластине расположено тестовых кристаллов столько же, сколько размещается интегральных микросхем. Применение тестовых микросхем и кристаллов позволяет организовать эффективный технологический контроль производства ИМС и сократить трудоемкость при проведении при проведении испытаний на надежность БИС, особенно на этапе отработки технологии. С повышением функциональной сложности интегральных микросхем резко возрастает трудоемкость и сложность операций контроля их параметров. Практически невозможно проверить интегральную микросхему без автоматизированных контрольно измерительных систем. К основным видам контрольных испытаний интегральных микросхем относятся: Параметрический контроль Функциональный контроль Диагностический контроль Целесообразность и эффективность применения различных видов контроля зависит главным образом от сложности и степени интеграции микросхем, типа логических элементов и целей контрольных испытаний. Параметрический контроль. Используется для микросхем с малой интеграцией и включает в себя измерения основных параметров на постоянном токе. Кроме того, данный вид предусматривает проведение проверки правильности выполнения несложных логических функций, которая проводится одновременно с последовательным измерением выходных электрических сигналов после подачи определенной комбинации калиброванных сигналов тока или напряжения на входы интегральной схемы. Следует отметить, что эффективность параметрического вида контроля с точки зрения оценки работоспособности микросхемы в целом с повышением степени интеграции уменьшается, а измерение некоторых процессов, таких, как время нарастания и спада сигнала, становится нецелесообразным. Функциональный контроль. Используется для проверки интегральных схем с высокой степенью интеграции и включает в себя проведение статистических и динамических измерений на базе контрольной тестовой таблицы, составленной, например, с помощью ЭВМ с учетом минимизации количества входных кодовых комбинаций. Функциональный контроль позволяет проводить проверку больших интегральных микросхем в условиях, близких к эксплуатационным. Диагностический контроль. Наиболее эффективен при проведении испытаний гибридных интегральных микросхем, в которых в принципе возможна замена неисправных элементов, расположенных на общей подложке.

Специалисты и первый персональный компьютер В середине 1970-х Джобс и Возняк испытывали огромное давление. Ай-Би-Эм", средства массовой информации и некоторые из наиболее авторитетных ученых-электронщиков предсказывали им провал. Эти пророчества преследовали их на протяжении долгого времени, пока они собирали деньги, запускали продукт в производство и развивали новый рынок сбыта. Промышленные специалисты считали, что ни Эппл-1, ни Эппл-2 не будут пользоваться массовым спросом, равно как и любой другой персональный компьютер этого класса. Этими авторитетами были не кто иной, как Роберт Нойс изобретатель интегральных микросхем и создатель Интел, Нолан Бушнель создатель промышленности видеоигр и председатель правления фирмы Атари, и Билл Хьюллет создатель Хьюллет-Паккард и первого калькулятора (Возняк работал на ХП). По иронии судьбы, сделанное Интел революционное изобретение микропроцессор было техническим устройством, которое заложило основы создания промышленности ПК. Нойс публично заявил, что рынок ПК будет принадлежать лишь любителям и на персональные компьютеры не будет массового спроса

1. Организация контроля за сбытовым процессом на производстве и в торговле

2. Государственный и профсоюзный контроль за охраной труда на производстве

3. Система контроля качества в строительстве при производстве земляных работ

4. Применение системы управления рисками при проведении таможенного контроля

5. Фотоэлектромагнитный эффект и его применение в устройствах функциональной электроники

6. Раскрыть понятие и значение финансового контроля как специализированного контроля. Задачи и цели финансового контроля
7. Использование функционально-стоимостного анализа в конструкторской подготовке производства
8. Технология производства молока

9. Характеристика побочного молочного сырья. Способы производства и сущность технологии производства различных видов сметаны

10. Технология производства К56ИЕ10 и серии м (с К426 и К224 (WinWord)

11. Конструирование и технология производства ЭВА

12. Технология производства синергической активной пищевой добавки "Эхинацея Янтарная"

13. Проектирование технологии производства земляных работ

14. Технология производства сахара и сахарной свеклы

15. Технология производства, прогнозирования, программирования и планирования урожаев

16. Технология производства полуфабрикатов из рыбы

Защитная накидка на автокресло "Зверята".
Защитная накидка на автокресло. Карман на молнии. Два кармана на липучке. Материал: текстиль. Размер: 44х69,5 см.
318 руб
Раздел: Прочее
Мешок для обуви "Space".
Мешок для обуви с увеличенными габаритами со светоотражающими элементами. Мешок изготовлен из износо- и морозостойкого водоотталкивающего
380 руб
Раздел: Сумки для обуви
Карандаши цветные "Kores", 50 цветов.
Ударопрочные цветные карандаши имеют насыщенные цвета. Трехгранная форма корпуса снижает усталость и придает дополнительный комфорт.
954 руб
Раздел: Более 24 цветов

17. Технология производства

18. Технология производства джема

19. Технология производства и товароведная оценка разных сортов мармелада

20. Технология производства макаронных изделий

21. Технология производства пневматических шин

22. Технология производства полупроводниковых материалов типа А2В6
23. Технология производства чугуна
24. Технология производства продукции животноводства растениеводства

25. Современные технологии производства этикеток

26. Мороженое. Анализ российского рынка и технология производства мороженого

27. Основы технологии производства, хранения, переработки и сертификации продукции животноводства

28. Птицеводство и технология производства яиц и мяса птицы

29. Расчет поточно-цеховой технологии производства свинины

30. Технология производства и хранения кукурузы в условиях северной лесостепи Новосибирской области

31. Технология производства молока

32. Технология производства органических удобрений

Щётка-сметка автомобильная для снега, телескопическая, поворотная, со скребком, 810-1060 мм.
Щетка автомобильная для снега со скребком предназначена для очистки кузова и стекол автомобиля от снега и льда. Автомобильные щетки для
586 руб
Раздел: Автомобильные щетки, скребки
Рюкзак школьный "Multi Pack. Graphic", 40x18x29,5 см.
Вместительный и удобный школьный рюкзак, отличающийся небольшим весом и наличием твердой спинки. Благодаря прочной каркасной конструкции
3707 руб
Раздел: Без наполнения
Именная кружка с надписью "Любимый папа".
Предлагаем вашему вниманию готовое решения для подарка по любому поводу – именная кружка. Кружка изготовлена из керамики, в нежной
434 руб
Раздел: Кружки

33. Технология производства яиц

34. Технология производства, хранения и переработки кукурузы

35. Новые технологии производства сена методом активного вентилирования

36. Анализ существующих технологий производства мясорастительных консервов

37. Современная технология производства овощных блюд русской народной кухни

38. Технология производства запеченных блюд из мяса
39. Технология производства мясных консервов
40. Технология производства продукции из козьего молока

41. Технология производства твёрдых сычужных сыров

42. Молочные консервы, технология производства сухих молочных продуктов

43. Технология производства кумыса из коровьего молока

44. Бизнес-планирование, внедрение в производство платья для девочек в условиях индивидуального производства

45. Товароведение и технология производства

46. Анализ технологии производства ферросплавов

47. Разработка отварочной технологии производства пива

48. Способы производства и методы модификации резиновой смеси для производства сальника реактивной штанги с целью уменьшения себестоимости и увеличения производительности

Игра "Супер Твистер".
Игра "Твистер" известна по всему миру людям от мала до велика. У нее простые правила, которые будут понятны как взрослым, так и
378 руб
Раздел: Подвижные игры, твистеры
Доска магнитно-маркерная, 90x120 см.
Размер: 90х120 см. Для письма маркерами и крепления листов при помощи магнитов. Перед началом работы удалить защитную пленку. Возможность
2107 руб
Раздел: Доски магнитно-маркерные
Соковарка алюминиевая (6 литров).
Легкая, прочная и практичная посуда, изготовлена из пищевого алюминия, имеет высокую стойкость к коррозии, равномерно нагревается за
1494 руб
Раздел: Скороварки, пароварки, мантоварки

49. Технология производства агломерата

50. Технология производства акролеина

51. Технология производства водки

52. Технология производства детали "Корпус", входящего в состав топливной системы летательного аппарата

53. Технология производства и потребительские свойства стекла листового

54. Технология производства картофельного крахмала
55. Технология производства керамического кирпича
56. Технология производства мармелада

57. Технология производства меховых изделий

58. Технология производства циклогексанона дегидрированием циклогексанола

59. Экономические основы и технология производства бумаги и картона

60. Технологии производства земляных работ при возведении фундаментов

61. Технология производства строительных работ в экстремальных условиях

62. Химия и технология производства 2–нафтола щелочным плавлением

63. Учет, контроль использования материалов на производстве

64. Организация контроля над соблюдением государственной дисциплины цен. Виды маркетинговых стратегий ценообразования, условия их применения

Набор для уборки Vileda "Easy Wring. Turbo", швабра+ведро с педальным отжимом.
Набор Vileda "Easy Wring. Turbo" состоит из плоской швабры с телескопической ручкой и ведра с педальным отжимом. Подходит для
3699 руб
Раздел: Швабры и наборы
Брелок для поиска ключей.
Брелок для поиска ключей - просто находка для тех, кто часто теряет ключи либо какие-нибудь вещи в доме. Просто прикрепите брелок к
315 руб
Раздел: Пластиковые брелоки
Ножницы "Pigeon" для детских ногтей.
Детские ножницы для ноготков самых маленьких Pigeon - их маленькие, тонкие закругленные лезвия позволяют без опаски подстригать ноготки
709 руб
Раздел: Маникюрные наборы детские

65. Психолого-педагогические особенности тестовой формы контроля и методы составления тестовых заданий; их практическое применение при обучении студентов зубоврачебного отделения

66. Индустриализация применения методов неразрушающего контроля

67. Применение компьютерного тестирования для контроля знаний. Мотивационный эффект

68. Учет и контроль использования материалов на производство

69. Оптимизация работы полиграфического производства. Контроль качества полиграфической продукции

70. Применение технических средств наблюдения для контроля территории
71. Организация и проведение выставок. Применение контроля и оценки в маркетинге
72. Текущий контроль и регулирование производства. Диспетчирование

73. Аналитический контроль производства

74. Контроль прокатного производства

75. Организация проведения налогового контроля по производству и реализации спиртосодержащей этиловой, алкогольной продукции и этилового спирта

76. Ревизия и контроль на производстве

77. Биохимический контроль в спорте

78. Контроль Гос. Налоговой Инспекции за деятельностью граждан

79. Финансовый контроль в период перехода к рынку

80. Актуальные вопросы государственного контроля соблюдения законодательства о защите прав потребителей

Качели детские деревянные "Гномик".
Качели можно использовать как на улице, так и в помещении. Нейлоновые веревки крепятся с помощью удобных колец и с легкостью выдерживают
469 руб
Раздел: Качели, кресла-качалки, шезлонги
Стул детский Ника "СТУ3" складной, мягкий (рисунок: машинки).
Особенности: - стул складной; - предназначен для детей от 3 до 7 лет; - металлический каркас; - на ножках стула установлены пластмассовые
562 руб
Раздел: Стульчики
Настольная игра "Матрешкино".
Простая и понятная даже маленьким детям, она увлечёт и взрослых. Игроки наперегонки ищут нужную матрёшку, чтобы повторить её жест. Кто
357 руб
Раздел: Карточные игры

81. Контроль в системе органов государственной власти

82. Правовые основы валютного регулирования и валютного контроля в Российской Федерации

83. Новые принципы осуществления валютного регулирования и валютного контроля в РФ

84. Корпорация BBC. Формы и методы государственного контроля вещания

85. Конституционный контроль

86. Ответственность и контроль в системе местного самоуправления
87. Контроль за расходами физических лиц
88. Правила таможенного контроля и оформления транспортных средств, перемещение их через таможенную границу Украины

89. Формы и порядок проведения таможенного контроля

90. Контроль государственных и муниципальных органов за делопроизводством отдела кадров на предприятиях

91. Финансовый контроль

92. Финансовый контроль: формы, методы, органы

93. Организация бюджетного контроля

94. Органы государства, осуществляющие финансовый контроль

95. Контроль в обучении поисковому чтению на среднем этапе обучения иностранного языка в школе

96. Программа контроля знаний студентов по дисциплине ЭРМ и РК в процессе учебы

Набор подарочный для новорождённого "Моя малышка".
Запечатлите мимолетные мгновения жизни Вашего ребенка с помощью необычного набора для новорождённого «Моя малышка». Рамка для
850 руб
Раздел: Прочие
Набор керамической посуды Disney "Холодное сердце. Эльза", 3 предмета (в подарочной упаковке).
Предметы набора оформлены красочными изображениями мультгероинями. Набор, несомненно, привлечет внимание вашего ребенка и не позволит ему
472 руб
Раздел: Наборы для кормления
Подставка для колец "Слоник", арт. 62258.
Регулярно удалять пыль сухой, мягкой тканью. Материал: металл (сплав цинка с покрытием золотой краской), стекло. Товар не подлежит
365 руб
Раздел: Подставки для украшений

97. Контроль передачи информации

98. Применение двойных интегралов к задачам механики и геометрии

99. Ответы для програмированного контроля по начертательной геометрии...


Поиск Рефератов на сайте za4eti.ru Вы студент, и у Вас нет времени на выполнение письменных работ (рефератов, курсовых и дипломов)? Мы сможем Вам в этом помочь. Возможно, Вам подойдет что-то из ПЕРЕЧНЯ ПРЕДМЕТОВ И ДИСЦИПЛИН, ПО КОТОРЫМ ВЫПОЛНЯЮТСЯ РЕФЕРАТЫ, КУРСОВЫЕ И ДИПЛОМНЫЕ РАБОТЫ. 
Вы можете поискать нужную Вам работу в КОЛЛЕКЦИИ ГОТОВЫХ РЕФЕРАТОВ, КУРСОВЫХ И ДИПЛОМНЫХ РАБОТ, выполненных преподавателями московских ВУЗов за период более чем 10-летней работы. Эти работы Вы можете бесплатно СКАЧАТЬ.