Библиотека Рефераты Курсовые Дипломы Поиск
Библиотека Рефераты Курсовые Дипломы Поиск
сделать стартовой добавить в избранное
Кефирный гриб на сайте za4eti.ru

Промышленность и Производство Промышленность и Производство     Технология Технология

Оборудование для ориентации полупроводниковых пластин

Ручка "Помада".
Шариковая ручка в виде тюбика помады. Расцветка корпуса в ассортименте, без возможности выбора!
25 руб
Раздел: Оригинальные ручки
Крючки с поводками Mikado SSH Fudo "SB Chinu", №4BN, поводок 0,22 мм.
Качественные Японские крючки с лопаткой. Крючки с поводками – готовы к ловле. Высшего качества, исключительно острые японские крючки,
58 руб
Раздел: Размер от №1 до №10
Браслет светоотражающий, самофиксирующийся, желтый.
Изготовлены из влагостойкого и грязестойкого материала, сохраняющего свои свойства в любых погодных условиях. Легкость крепления позволяет
66 руб
Раздел: Прочее

Московский институт стали и сплавов ( технологический университет) кафедра полупроводниковой электроники и физики полупроводников Домашнее задание Тема: Оборудование для ориентации полупроводниковых пластин. Выполнил: студент группы К3-01-2 Гашников Г.Э. Руководитель: доцент Курносов А.И. Москва 2003 год Введение Производство полупроводниковых приборов использует самые малые размеры деталей приборов и их высокую точность. Следовательно, для массового производства полупроводниковых приборов необходимо специальное оборудование. Если в период становления полупроводникового производства могло быть использовано оборудование родственных производств (в основном электровакуумного), то в настоящее время появилась относительно новая отрасль – полупроводниковое машиностроение. Полупроводниковое машиностроение отличается спецификой конструкций, способствующих поддержанию производственной гигиены, прецизионной точностью и большим разнообразием (полупроводниковая техника использует ряд процессов из других областей техники), высоким уровнем механизации и автоматизации, а также значительным насыщением оборудования электронными устройствами. Весь комплекс технологического оборудования, предназначенный для производства полупроводниковых приборов, можно разделить на десять основных групп: оборудование для входного контроля исходных материалов, обработки полупроводников, создания электронно- дырочных переходов и получения невыпрямляющих контактов, изготовление корпусов, сборки приборов, измерения из параметров, испытания и выполнения заключительных операций, а также вспомогательное оборудование для получения чистых газов, воды, химических реактивов и изготовления фотошаблонов. Итак, высокая точность, малые размеры и массовость производства полупроводниковых приборов привели к механизации и автоматизации наиболее трудоёмких процессов и созданию высокопроизводительных полуавтоматических и автоматических установок и агрегатов. Используемые материалы при работе на оборудовании для ориентации полупроводниковых пластин. Область использования и общая характеристика оборудования для ориентации полупроводниковых пластин. Основными полупроводниковыми материалами, применяемыми для изготовления полупроводниковых приборов, являются германий и кремний. Эти материалы имеют кристаллическую структуру, но для изготовления полупроводниковых приборов используют монокристаллы германия и кремния, т.е. полупроводники с правильной кристаллической структурой, превращенные в единый кристалл. Для характеристики внутренней структуры кристаллов обычно пользуются понятием кристаллическая решетка, которая представляет собой пространственную сетку; в узлах ее располагаются частицы (атомы, ионы или молекулы), образующие кристалл. Формы кристаллических решеток разнообразны Монокристаллы германия и кремния – вещества анизотропные, т.е. их свойства в различных направлениях неодинаковы и зависят от ориентирования относительно кристаллографических плоскостей, обозначаемых индексами Миллера, например (100), (110), (111). Погрешности при выращивании слитков приводят к тому, что торцы слитков не всегда перпендикулярны к их оси (т.

е. заданному кристаллографическому направлению), поэтому перед резкой на пластины следует выполнить ориентацию слитка: выявить расположение основных кристаллографических плоскостей. Кроме того, иногда необходимо проверить ориентацию плоскостей пластин после резки, шлифовки или полировки. Монокристаллы германия и кремния имеют кристаллическую решетку типа алмаза, которую можно представить, как две вставленные друг в друга кубические решетки, имеющие в узлах идентичные атомы. Арсенид галлия имеет решетку цинковой обманки, которая отличается от решетки алмаза тем, что в ее узлах атомы мышьяка чередуются с атомами галлия. Таким образом, решетки этих полупроводниковых материалов относятся к кубической кристаллической системе. Монокристаллические вещества обладают анизотропией свойств, т. е. зависимостью физических свойств (модуля упругости, коэффициента теплопроводности, показателя преломления и др.) от направления, вдоль которого их измеряют. Присущая кристаллам анизотропия требует измерения физико-механических свойств в определенных кристаллографических плоскостях и направлениях. В соответствии с индексами Миллера обозначения плоскостей записывают в круглых скобках. Три главные плоскости в кубическом кристалле будут иметь обозначения (100), (110) и (111) (рис. 1 — заштрихованные плоскости). Вследствие симметричности в кубическом кристалле имеются семейства эквивалентных плоскостей, которые обозначают индексами, заключенными в фигурные скобки. Например, три грани куба (001), (010) и (100) можно обозначить {100}. Направления в кристалле обозначают индексами, заключенными в квадратные скобки, например . Совокупность эквивалентных направлений обозначают ломаными скобками, например , и т. д. (на рис. 1 не показаны). В кубической системе одноименные направления и плоскости перпендикулярны. Каждая плоскость содержит определенное количество атомов, плотность упаковки которых влияет на отдельные свойства приборов. В зависимости от назначения для полупроводниковых приборов используются подложки, ориентированные в различных кристаллографических плоскостях. Обычно слитки полупроводниковых материалов выращивают так, что их ось совпадает с направлением . Как видно из рис. 2, из слитка с такой ориентацией можно вырезать пластину, имеющую любую плоскость ориентации. Пластины, ориентированные в плоскости (111),имеют почти правильную круглую форму (рис. 2, а). Рассматривая взаимное расположение плоскостей в кристалле (см. рис. 1), нетрудно подсчитать, что одна из плоскостей {110} будет перпендикулярна плоскости (111), а другая будет расположена к ней под углом около 35°, поэтому пластины с ориентацией {110}, вырезанные из слитка, выращенного в направлении , имеют форму прямоугольника или эллипса (рис. 2,6). Плоскости {100} располагаются по отношению к плоскости (111) под углом около 55°, и пластины с ориентацией (100) также имеют эллипсообразную форму (рис. 2, в). Методы ориентации полупроводниковых пластин Поиск заданной кристаллографической плоскости, определение угла разориентации поверхности торца слитка относительно неё и выведение поверхности отрезаемых от слитка пластин в заданную плоскость с точностью, как правило, не более 1( (для некоторых типов приборов 30() производится на специальном оборудовании оптическим или рентгеновским методами, а также для некоторых случаев будут рассмотрены ещё два метода: метод изломов и метод Лауэ.

Оптический метод ориентации является наиболее простым, не требует дорогостоящего, сложного оборудования. Он заключается в следующем. При травлении монокристалла вследствие неодинаковой скорости растворения полупроводникового материала по различным кристаллографическим направлениям образуются фигуры травления, которые имеют вид углублений с правильными гранями. Поэтому отраженный от образца слабо расходящийся пучок света образует на экране световую фигуру, по положению которой можно оценить величину отклонения кристаллографической плоскости от плоскости торца слитка, при этом отражающая плоскость всегда совпадает с кристаллографической плоскостью (111). Отклонение реальной поверхности торца слитка от кристаллографической плоскости (111) приводит к отклонению отраженного луча на экране на некоторое расстояние d (рис. 3,а) характеризующееся некоторым углом ( реальной поверхности шлифа от плоскости (111). Типичной световой фигурой для слитка, выращенного в направлении – четырех лепестковая звезда (рис. 3, б). Перед началом ориентации выводят световое пятно в центр экрана в место пересечения вертикальной и горизонтальной осей. Для этого вместо слитка ставят эталон, который имеет зеркальную полированную поверхность. Затем устанавливают слиток. Если торец слитка совпадает с кристаллографической плоскостью, например с плоскостью (111), то световое пятно будет находиться на экране в месте пересечения. Поворотом слитка вручную вокруг оси устанавливают световую фигуру так, чтобы её лепестки- лучики занимали симметричное положение относительно вертикальной оси. В этом положении слиток закрепляется прижимным винтом кристаллодержателя. До процесса ориентации выявляют микроструктуру слитка. Это осуществляют путем травления шлифованного торца Ge (или Si) слитка селективными травителями, состав, которых приведен в табл.1. Точность ориентации этим методом зависит от состава травителя и режима травления; от диаметра, расходимости и яркости светового пучка и других факторов. Установка ориентировки слитков световым методом настольного типа ЖК 78.08 представлена на рис.4. В светозащитном корпусе 8 смонтированы все узлы и детали установки: оптическая система, состоящая из осветителя 1, отделённого плитой 6, конденсатора 2, диаграммы 3, отражающих зеркал 4, 5, 10, объектива 7 с зубчатыми парами 9 и 11 для установки фокуса и размера диаграммы соответственно; кристаллодержатель 12, служащий для установки и крепления слитка или эталона, помещается на верхнюю плиту до упоров и прижимается зажимом, стол кристаллодержателя, имеющий деталь с базировочной плоскостью, с помощью цангового зажима соединен с угломерной головкой 20, которая обеспечивает поворот стола с ориентируемым слитком на необходимый угол; подвижная плита 18, движущаяся в шариковых направляющих; фиксатор подвижной плиты 19; угломерная головка 20, предназначена для измерения углов поворота ориентируемого слитка с точностью до 1(, конструкция ее представляет собой червячную пару с выбором люфта за счет упругой системы (более подробная конструкция угломерной головки приведена ниже на рис.5

В те же годы, когда только началась проработка золотовской программы, а это был 1989–1990 гг., известные максимумом проявлений НЛО и прочих аномальных явлений, пришлось столкнутся и с работой психотронных генераторов группы Александра Солодилова из Тюмени. Первоначально это был набор довольно-таки простых, с инженерной точки зрения, приборов. Рассмотрим, в качестве примера, одни из них. (Рис. 9.4.5. Психотронный генератор) Прибор состоял из двух основных частей: околозвукового генератора (1) и излучающей головки. Генератор выдавал переменный сигнал. Можно было варьировать частоту, амплитуду, скважность импульсов. Излучающая головка изготавливалась из двух пластин полированного монокристаллического кремния или германия (2) диаметром до 120-ти миллиметров. Между пластинами помещался пьезокристалл (3). Этот «сэндвич» герметизировался по торцу, а внутренне пространство заполнялось глицерином. Переменный сигнал генератора подавался на пьезокристалл, колебания которого равномерно через глицерин передавались по всей площади полупроводниковых пластин

1. Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин

2. Полупроводниковые пластины и их параметры. Подготовка, разрезание полупроводникового слитка на пластины и обработка

3. Получение тонкопленочных электретов на основе фторопласта - 4 и изготовление приборов на их основе

4. Получение молибдена из отходов промышленности

5. Полиплоидия и получение полиплоидов

6. Приборы радиационной и химической разведки
7. Приборы химической разведки и химического контроля
8. Приборы дистанционного зондирования

9. Стандартные интерфейсы подключения датчиков и исследовательских приборов

10. Объектно-ориентированное программирование на С с использованием библиотеки OpenGL

11. Объектно-ориентированные СУБД

12. Приборы для регистрации электрических, акустических и тепловых сигналов организма человека

13. Незаконное получение и разглашения сведений, составляющих коммерческую или банковскую тайну

14. Соотношение доказательств и данных, полученных в результате ОРД

15. Приборы для измерения радиационного загрязнения

16. Концепции содержания и личностно ориентированное образование

Логическая игра "Динозавры.Таинственные острова", арт. SG 282 RU.
Исследуй Юрский период и его динозавров! Это увлекательная форма комбинационной игры, которая бросает Вам вызов. Держите плотоядных
1117 руб
Раздел: Игры логические
Подарочное махровое полотенце "23 февраля. Щит".
Подарочное махровое полотенце. Цвет полотенца и цвет вышивки - в ассортименте! Оригинальная тематическая вышивка на полезном в хозяйстве
316 руб
Раздел: Средние, ширина 31-40 см
Пазл средний "Малышарики", 4 в 1.
Пазл "Малышарики" - напольный пазл для детей. Напольные пазлы способствуют развитию: внимания; мелкой моторики; сенсорных
321 руб
Раздел: Напольные пазлы

17. Арсенид индия. Свойства, применение. Особенности получения эпитаксиальных пленок

18. Получение, использование цемента и его продуктов (Доклад)

19. Разработка технологии получения отливок «корпус» из сплава МЛ5 в условиях массового производства

20. Оптико-электронные приборы и их применение

21. Разработка модели технологического процесса получения ребристых труб и ее апробация

22. Поляризационные приборы
23. Получение препарата РНК-азы из автолизных дрожжей. Мощность производства 80,3 кг (год (Курсовая)
24. Литография высокого разрешения в технологии полупроводников

25. Технологические измерения и приборы

26. Разработка технологического процесса для получения матрицы с удлиненно-продолговатым отверстием

27. Проблемно-ориентированное консультирование

28. Полупроводниковые приборы

29. Электронные и микроэлектронные приборы

30. Сборка полупроводниковых приборов и интегральных микросхем

31. Технологические измерения и приборы

32. Технология получения монокристаллического Si

Конструктор электронный ЗНАТОК "Первые шаги в электронике. Набор В" (15 схем).
Вам будет предложено собрать свой первый светодиодный фонарик, собрать звуковые схемы, познакомится с работой транзистора — всего 15
892 руб
Раздел: Инженерные, научно-технические
Глобус ландшафтный, диаметр 320 мм.
Глобус для занятий по географии на подставке. Компактен и нагляден. Дает представление о строении поверхности Земли. На глобусе нанесено
880 руб
Раздел: Глобусы
Мусоровоз.
Мусоровоз выглядит совсем как настоящий. В наборе имеется мусорный бак, который автомобиль может загрузить в контейнер. Сверху открывается
985 руб
Раздел: Прочее

33. Получение сверхчистых материалов для микроэлектроники

34. Определение времени жизни носителей в высокоомном кремнии. Влияние времени жизни на параметры высоковольтных приборов на кремнии

35. Изучение поверхности полупроводника с помощью сканирующего электронного микроскопа

36. Расчёт и проектирование установки для получения жидкого кислорода

37. Внутренний фотоэффект в полупроводниках

38. Получение серной кислоты путем гидратации оксида серы
39. Получение и применение кальция и его соединений
40. История получения цинка, его химические св-ва и применение цинка в промышленности

41. Получение алканов, алкенов, алкинов. Важнейшие представители. Применение в промышленности

42. Получение синтетических красителей реакцией азосочетания на примере синтеза 3-окси-4-карбоксиазобензола

43. Получение фенолов

44. Структура управления организацией, ориентированная на решение стратегических проблем (Доклад)

45. Организация и планирование цеха контрольно-измерительных приборов и автоматики химического предприятия

46. Экономическая оценка проектируемого устройства /прибора/

47. Решение творческих задач методом блочных альтернативных сетей: объектно-ориентированные представления

48. Электронны, квантовые приборы и микроэлектроника

Игровой набор "Мультифункциональный грузовик с мини-бульдозером и запчастями".
Игровой набор "Мультифункциональный грузовик" с целым чемоданом запасных частей станет отличным подарком любому мальчику.
1195 руб
Раздел: Самосвалы, грузовики
Доска пробковая, с деревянной рамой, 90x60 см.
Доска выполнена из пробки высокого качества, имеет регулируемые элементы крепления. Информация крепится при помощи флажков, кнопок или
1002 руб
Раздел: Демонстрационные рамки, планшеты, таблички
Клей-карандаш Kores, 20 г, 4 штуки.
Клей-карандаш Kores предназначен для склеивания картона, бумаги, текстиля. Изготовлен из нетоксичного вещества с глицерином для
336 руб
Раздел: Клеящие карандаши

49. Методы получения и обработки маркетинговой информации

50. Тензоэлектрические полупроводниковые приборы

51. Типы приборов для сварки электрическим током

52. Методы восточной телесно-ориентированной терапии

53. Разработка бизнес-плана проекта по производству и сбыту прибора для диагностики и медикаментозного тестирования БИОТЕСТ

54. Методы получения и обработки маркетинговой информации
55. О некоторых методах получения тепловой и электрической энергии
56. Получение водорода

57. Получение водорода

58. Материаловедение полупроводников

59. Получение серной кислоты

60. Природные источники углеводов, их получение и применениt

61. Внутренняя структура протона и новый способ получения энергии

62. Интерактивный объектно-ориентированный подход к построению систем управления

63. Обзор методов получения пленок и их свойств

64. Запоминающий электронно-лучевой прибор

Развивающая игра "Чудо - молоток".
Игра развивает творческий потенциал ребенка, способствует тренировке мелкой моторики, внимания, памяти. Играть в нее можно как одному,
1053 руб
Раздел: Прочие
Игра-головоломка "Орбо" (Orbo).
Головоломка Орбо – это абстрактная головоломка в виде белого шара с разноцветными шариками внутри. Она понравится как детям, так и
616 руб
Раздел: Головоломки
Пробковая доска с деревянной рамкой SP, 60х40 см.
Пробковые доски, тип SP применяются в качестве персональных информационных дисплеев. На их поверхность с помощью кнопок или булавок можно
722 руб
Раздел: Прочее

65. Реализация личностно-ориентированного подхода на уроках английского языка

66. Пути реализации личностно-ориентированного подхода в профориентационной диагностике

67. Товарные знаки: получение, учет и использование

68. Гарантии, предупреждающие нарушение права работника на получение вознаграждения за труд

69. Структура управления организацией, ориентированная на решение стратегических проблем

70. Получение магнитопроводов из ферритов и магнитодиэлектриков
71. Экзистенциально-ориентированная психотерапия
72. Духовные практики, ориентированные на работу с телом в России и на Востоке

73. Информативный текст в коммуникативном обучении профессионально-ориентированному чтению

74. Телесно-ориентированная психотерапия

75. Беседа как метод получения психологической информации

76. Метод проектов как средство реализации личностно ориентированного подхода при изучении иностранных языков

77. Педагогика сотрудничества и личностно-ориентированный подход в преподавании истории

78. Полупроводниковые приборы и электронные лампы

79. Прибор Ультразвуковой отпугиватель грызунов

80. Электронные и микроэлектронные приборы

Магнит "Harry Potter HBP" Death Eater Masks.
Маска "пожирателей смерти". Пожиратели Смерти — группа тёмных волшебников последователей лорда Волан-де-Морта, сражающиеся в
773 руб
Раздел: Прочие
Ручка перьевая "Silver Prestige", синяя, 0,8 мм, корпус черный.
Перьевая ручка Silver Prestige. Цвет корпуса: черный. Материал корпуса: металл. Материал пера: иридий.
361 руб
Раздел: VIP-ручки
Набор мебели игровой "Малыш-2".
Замечательный набор детской мебели "Малыш-2" отлично подойдет для деток от 2 до 6 лет. Набор включает в себя столик и стульчик.
2025 руб
Раздел: Наборы детской мебели

81. Двойственная природа радио- и телевизионной речи: социальная и личностная ориентированность

82. Материалы для герметизации стыков

83. Основы конструирования элементов приборов

84. Получение оксидов урана

85. Получение взятки

86. Вакуумные приборы
87. Полупроводники
88. Электрический ток в проводниках и полупроводниках

89. Акустические свойства полупроводников

90. Расчёт и проектирование установки для получения жидкого кислорода.

91. Основы техники спортивного ориентирования

92. "Маятниковый" - необходимый в лыжном ориентировании ход

93. Спортивно ориентированное физическое воспитание: образовательный и социальный аспекты

94. Спортивно ориентированная технология обучения студентов по предмету "Физическая культура"

95. Кислород и водород как химические элементы и простые вещества. Их получение и применение

96. Получение хлорида гексааминникеля

Дополнительный набор карт Имаджинариум "Персефона".
Имаджинариум "Персефона" - это самое новое дополнение к настольной игре для незаурядных компаний. 98 дополнительных карт от
750 руб
Раздел: Карточные игры
Игра настольная "Кто в яйце".
В набор входят: - 4 лукошка для яиц разных цветов; - 4 набора фишек в соответствии с цветом лукошка; - 24 половинки яиц с изображениями
605 руб
Раздел: Прочие
Матрешка 5 в 1 (Д-282).
Игрушка из натуральной древесины. Матрешки: 5 в 1. Игрушка расписана цветными красками. Цель игры: развитие мелкой моторики, координации
435 руб
Раздел: Матрешки

97. Проект реконструкции цеха первичной переработки нефти и получения битума на ОАО «Сургутнефтегаз»

98. Толуол: свойства, применение, получение

99. Получение алканов,алкенов,алкинов. важнейшие представители. применение в промышленности.


Поиск Рефератов на сайте za4eti.ru Вы студент, и у Вас нет времени на выполнение письменных работ (рефератов, курсовых и дипломов)? Мы сможем Вам в этом помочь. Возможно, Вам подойдет что-то из ПЕРЕЧНЯ ПРЕДМЕТОВ И ДИСЦИПЛИН, ПО КОТОРЫМ ВЫПОЛНЯЮТСЯ РЕФЕРАТЫ, КУРСОВЫЕ И ДИПЛОМНЫЕ РАБОТЫ. 
Вы можете поискать нужную Вам работу в КОЛЛЕКЦИИ ГОТОВЫХ РЕФЕРАТОВ, КУРСОВЫХ И ДИПЛОМНЫХ РАБОТ, выполненных преподавателями московских ВУЗов за период более чем 10-летней работы. Эти работы Вы можете бесплатно СКАЧАТЬ.