Библиотека Рефераты Курсовые Дипломы Поиск
Библиотека Рефераты Курсовые Дипломы Поиск
сделать стартовой добавить в избранное
Кефирный гриб на сайте za4eti.ru

Радиоэлектроника Радиоэлектроника

Травление п/п ИМС

Фонарь садовый «Тюльпан».
Дачные фонари на солнечных батареях были сделаны с использованием технологии аккумулирования солнечной энергии. Уличные светильники для
106 руб
Раздел: Уличное освещение
Карабин, 6x60 мм.
Размеры: 6x60 мм. Материал: металл. Упаковка: блистер.
44 руб
Раздел: Карабины для ошейников и поводков
Совок большой.
Длина 21,5 см. Расцветка в ассортименте, без возможности выбора.
21 руб
Раздел: Совки

НТУУ “КПИ” РТФ Доклад тема: “Травление п/п ИМС” Выполнил: студент 2-го курса группы РТ-22 Кираль С. О. Kиев 2004 Введение Одним из определяющих технологических процессов в микроэлектронике в течение более 40 лет продолжает оставаться литография. Литография или микролитография, а сейчас может быть уместно, говорить о нанолитографии, предназначена для создания топологического рисунка на поверхности монокристаллической кремниевой пластины. Базовый литографический процесс представлен на рис. 1 и включает в себя, по крайней мере, 10 ступеней. Темой нашей лекции будут только два этапа, связанные с непосредственным переносом изображения маски на поверхность полупроводниковой структуры (ступени 8 и 9). 1. подготовка поверхности (промывка и сушка) 2. нанесение резиста (тонкая пленка полимера наносится ценрифугированием) 3. сушка (удаление растворителя и перевод резиста в твердую растворимую фазу) 4. совмещение фотошаблона и экспонирование (положительный резист под действием света переходит в нерастворимую фазу) 5. проявление резиста (промывка в растворителе, удаляющем неэкспонированный резист) 6. стабилизирующий отжиг (удаление остатков растворителя) 7. контроль и исправление дефектов 8. травление (непосредственный перенос рисунка маски на поверхность полупроводниковой структуры) 9. удаление фоторезиста 10. финишный контроль Рис. 1 10 ступеней литографического процесса Долгие годы для проведения травления использовались различные влажные химические процессы (термин влажные подразумевает использование для травления полупроводниковых структур водных и безводных растворов химически активных компонентов). Однако необходимость непрерывного повышения степени интеграции и информационной емкости микросхем привело к тому, что влажные процессы не могли обеспечить необходимого разрешения.Для демонстрации этого утверждения рассмотрим один из элементов таких широко применяемых микросхем как динамическую память с произвольным доступом (DRAM). Благодаря тому, что новые поколения компьютеров требуют все большей и большей емкости память, а также тому, что в составе этих микросхем используются огромное количество однотипных элементов, эти микросхемы обладают наивысшей степенью интеграции Рис. 2 ячейка памяти с re ch конденсатором На рис. 2 показана одна из ячеек памяти DRAM чипа разработанного фирмой IBM. В состав ячейки входят МОП транзистор и конденсатор для хранения информационного заряда. В данном случае конденсатор имеет конфигурацию так называемого траншейного ( re ch) конденсатора. Он имеет ширину 0,25 мкм и технология его изготовления включает несколько литографических операций с разрешением 0,15 мкм. Всего же для изготовления такой микросхемы необходимо более 20 литографических операций с травлением самых различных материалов: кремния, диоксида кремния двух типов, поликремния, алюминия или меди, вольфрама. Влажные процессы травления имеют очень высокую селективность и с успехом ис- пользуются при изготовлении микросхем с размерами микронного масштаба. Однако при травлении линий с субмикронным разрешением и одновременно с высоким отношением высоты линии к ее ширине влажные процессы перестают работать.

Можно выделить следующие причины, лимитирующие применение влажных процессов.1. Размер рисунка не может быть меньше 2 мкм.2. Влажное травление – изотропный процесс, что приводит к формированию рисунка с наклонными стенками.3. Влажное травление требует многоступенчатой промывки и сушки.4. Используемые химикаты, как правило, сильноядовиты и токсичны.5. Влажные процессы вносят дополнительные загрязнения.Все это привело к тому, что вначале 70 годов основным технологическим процессом травления стали различные формы плазменной обработки.Обычно выделяют две разновидности плазменных процессов травления – непосредственно плазменные и ионнолучевые. Под плазменными понимаются процессы, в которых обрабатываемая подложка или ее держатель являются в той или иной мере элементами плазменного реактора и участвуют в ионизации рабочего газа. Так как удаляемые травлением слои, как правило, имеют высокое сопротивление (изоляторы или полупроводники), то для исключения зарядки поверхности используют высокочастотный разряд. В ионнолучевых процессах обработка подложек происходит потоком ионов или нейтральных частиц, образованных в автономном источнике.На рис. 3 представлена классификация процессов, используемых в микроэлектронике для травления полупроводниковых структур. Плазменное травление В плазменном травлении, которое иногда называют физическим травлением, реализуется хорошо известный и широко применяемый (например, для осаждения тонких пленок) процесс катодного распыления подложки ионами инертного газа. Однако эта техника не получила широкого применения по причине низкой селективности процесса.Высокая селективность достигается в реактивном плазменном процессе. Суть этой техники достаточно прозрачна. Различные формы разряда формируют в плазмообразующем газе химически активные частицы, которые, взаимодействуя с поверхностью полупроводника или металла, образуют легко летучие химические соединения, удаляемые вакуумной системой. Рис. 3 классификация процессов травления в литографии Первыми были разработаны реакторы цилиндрического типа (barrel e cher). В подобных реакторах обрабатываемые подложки помещаются в центре вакуумной камеры, а ВЧН-разряд создается внешней катушкой (см. рис.4). Таблица 1. Материалы для которых необходимы процессы травления Материал Применение Моно Si Базовые кристаллы Термическая SiO2 Маска при травлении Si Химически осажденная Подзатворный диэлектрик, изоляция между слоями SiO2 Si3 4 Маска в некоторых операциях травления, диэлектрик в структурах с накоплением заряда Al, Cu, W Металлизация Сr Фотошаблоны Та, i, Mo Подслой Та2O5 Диэлектрик в структурах с накоплением заряда i Подслой В таких реакторах ионы движутся не перпендикулярно к подложке, что приводит к изотропному травлению и формированию рисунка с наклонными стенками. Другим недостатком цилиндрических реакторов является то, что в подобных системах ионы приобретают достаточно высокую энергию. Это приводит к созданию различного рода радиационных дефектов в полупроводниковых структурах. Для снижения плотности дефектов в цилиндрических реакторах вводится дополнительная экранирую-щая сетка, которая изолирует зону разряда от обрабатываемых пластин (см.

рис. 5). В этом случае реализуется так называемое радикальное травление – происходит химическое взаимодействие поверхностных слоев с электрически нейтральными реактивными свободными радикалами, всегда присутствующими в плазме используемых реактивных газов.Цилиндрические реакторы широко применяются для создания микроструктур с низкой и средней степенью интеграции, когда размер топологических линий не превышает 1-2 мкм. Рис. 4 цилиндрический плазменный реактор Рис. 5 плазменный цилиндрический реактор с защитной сеткой Для прецизионного травления былиразработаны планарные реакторы. Схема такого реактора представлена на рис.6. Полупроводниковая подложка располагается на плоском ВЧ электроде. Над ней размещается плоский заземленный электрод, который, как правило, снабжен сложной зонтичной системой подачи реактивного газа для увеличения однородности травления. В таких системах достигается предельная на сегодняшний день анизотропность травления, так как ионы движутся практически перпендикулярно к поверхности подложки. Для увеличения анизотропии травления в таких системах используют дополнительное смещение подложки постоянным напряжением. Производительность таких систем определяется плотностью плазмы и, следовательно, рабочим давлением. Стремление к снижению различных загрязнений требует работы при низких давлениях, это в свою очередь увеличивает длину свободного пробега электронов и снижает плотность ионов в плазме. Компромиссные рабочие режимы достигаются при давлениях в десятки миллиТорр.Увеличение производительности планарных реакторов требует применения более сложных плазменных систем, в которых используются различные приемы увеличения плотности плазмы. В первую очередь разрабатывались реакторы, в которых для увеличения длины свободного пробега электронов вводится параллельное подложке магнитное поле. Такой тип разряда известен как разряд Пеннинга, магнетронный разряд или разряд в скрещенных электрических и магнитных полях. Действие силы Лоренца приводит к сложному криволи-нейному движению электронов вблизи рабочей поверхности, что увеличивает число актов ионизации и приводит к формированию плотного плазменного поля вблизи поверхности подложки. Отметим, что применение таких систем для создания субмикронных рисунков выдвигает очень высокие требования к однородности магнитного поля.Разработка новых плазменных систем для травления микроструктур продолжается по самым различным направлениям. Для получения плазмы высокой плотности, но горящей при низком давлении используется системы с СВЧ возбуждением разряда. При этом часто создаются сложные системы электрических и магнитных полей позволяющие реализовать режимы электронного циклотронного резонанса, возбуждения геликоидальных волн и т.д. В настоящее время наиболее перспективным считаются системы, которые получили название реакторы с индуктивно-возбуждаемой плазмой (i duc ively coupled plasma, ICP e cher). Высокую анизотропию травления можно достичь в системах, когда ионы атакуют поверхность травления, двигаясь по перпендикулярным к ней направлениям. Такой режим легко реализуется в плазменных система с конденсаторным расположением электродов (Е-разряд), т.е

ПЛЕНОЧНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ - методы изготовления пассивных электро- и радиоэлементов и соединительных проводников на диэлектрической подложке (плате) нанесением на нее слоев электропроводящих, резистивных и диэлектрических паст или вакуумным напылением (осаждением) пленок (с последующим травлением, вжиганием, фотолитографической или иной обработкой). Применяется при изготовлении печатных схем, пленочных и других интегральных схем. ПЛЕНОЧНЫЙ КОНДЕНСАТОР - электрический конденсатор, в котором диэлектриком служит пленка, напр. из полистирола или фторопласта. Рабочее напряжение 100 В - 10 кВ; емкость 1000 пФ - 1 мкФ. ПЛЕНУМ (от лат. plenum - полное) - 1) собрание в полном составе членов выборного руководящего органа какой-либо организации. 2) Заседание всех членов высшего судебного органа. ПЛЕНЦДОРФ (Plenzdorf) Ульрих (р. 1934) - немецкий драматург. Пьесы "Новые страдания молодого В." (1973), "Буриданов осел" (1976), "Легенда о счастье без конца" (1983) и др. ПЛЕНЭР (франц. plein air - букв. - открытый воздух), в живописи воспроизведение изменений воздушной среды, обусловленных солнечным светом и состоянием атмосферы. ПЛЕОНАЗМ (от греч. pleonasmos - излишество) - употребление слов, излишних для смысловой полноты высказывания, а иногда и для стилистической выразительности. Напр., плеоназм в словосочетании "своя автобиография" (в слове "автобиография" уже содержится понятие "своя"). ПЛЕОХРОИЗМ (от греч. pleon - более многочисленный и chroa - цвет) свойство анизотропных тел, напр. кристаллов, обнаруживать различную окраску при рассматривании их в белом свете в разных направлениях

1. Диффузионные процессы в тонких слоях пленок при изготовление БИС методом толстопленочной технологии

2. Ограниченная материальная ответственность работников, её виды. Полная материальная ответственность (случаи её наступления). Порядок возмещения работниками материального ущерба, причинённого предприятию

3. Толстые и тонкие по Гоголю /"Мертвые души"/

4. Эффекты слоев в Photoshop 6

5. Основные формулы тригонометрии. Таблица частных случаев для тригонометрических функций. Таблица углов sin, cos, tg, ctg

6. Расследование и учёт несчастных случаев на производстве
7. Озоновый слой - проблема XXI века
8. Экологические проблемы атмосферы. Кислые осадки. Проблема озонового слоя в атмосфере. Понятие о парниковом эффекте

9. Никель. Никелевые сплавы

10. Производство никеля

11. Комплексный дипломный проект: Проект участка по производству технологических приспособлений для электромеханического восстановления и укрепления поверхностного слоя деталей машин. Винтовые поверхности

12. Способы нанесения тонких пленок

13. Автоматическая сварка под слоем флюса

14. Социологический опрос населения: "Отношение различных слоев населения г.Москвы к введению с 1 июля 1998г. повременной оплаты за телефонные переговоры и влияние "повременки" на будущее благосостояния населения"

15. Методические подходы, формы и методы регулирования занятости слабозащищенных слоев населения (молодежи)

16. Химия никеля

Спиннер трехлучевой "Элит", перламутровый (в железной квадратной коробке).
Компактная стильная игрушка для взрослых и детей, предназначенная для вращения на пальцах. Состоит из подшипников, благодаря которым
465 руб
Раздел: Спиннеры
Самоклеящиеся этикетки, A4, 210x297 мм.
Формат: А4. Размер: 210x297 мм. 1 этикетка на листе (100 листов в упаковке).
500 руб
Раздел: Бейджи, держатели, этикетки
Потолочная сушилка "Лиана", 1,9 м.
Сушилка может использоваться в ванной комнате, лоджии или на балконе. Сушилка изготовлена из прочных, экологически чистых
632 руб
Раздел: Сушилки потолочные

17. Оценка экономической эффективности инвестиционного проекта строительства цеха электролиза никеля

18. Милиция и городские слои в период революционного кризиса 1917 года. Проблемы легитимности

19. Особенности предупреждения краж и случаев неправомерного завладения автомобилем или иным транспортным средством (кража, угон).

20. Нестабильность тонких пленок под действием внешних сил

21. Влияние особенностей электронной структуры на твердорастворное упрочнение сплавов на основе никеля

22. Вены и микрососуды подслизистого слоя , стенки некоторых трубчатых внутренних органов
23. Олово и никель в организме человека
24. Расчет участка осаждения двойного покрытия медь-никель

25. Теория электродного эффекта применительно к приземному слою атмосферы

26. Озон и озоновый слой в атмосфере

27. Случаи выздоровления - не случайны!

28. Порядок расследования несчастных случаев на производстве

29. Объем и характер возмещения вреда, причиненного имуществу, а также в случае повреждения здоровья и смерти гражданина

30. Тонкая красная линия между пропагандой и PR

31. Некоторые психологические свойства и особенности интернет как нового слоя реальности

32. Закончив половой акт оргазмом, мужчина ни в коем случае не должен...

Вспышка для селфи, белая, 65x35x11 мм (арт. TD 0399).
Не можете и дня прожить не сделав снимок на смартфон? Для тех кто не любит упускать удачные снимки из-за плохого освещения - съемная
462 руб
Раздел: Прочее
Канистра-бочка с навесными ручками, 30 л (диаметр горловины 215 мм).
Канистра изготовлена из прочного пищевого пластика и предназначена для транспортировки и хранения пищевых жидкостей. Изделие безопасно для
496 руб
Раздел: Баки, канистры
Кружка фарфоровая "Морская волна", 375 мл.
Кружка. Объем: 375 мл. Материал: фарфор.
342 руб
Раздел: Кружки

33. Социологический опрос населения: Отношение различных слоев населения г. Москвы к введению с 1 июля 1998 года повременной оплаты за телефонные переговоры и влияние повременки на будущее благосостояние

34. Обязанности работодателя при несчастном случае

35. Жидкостное химическое травление

36. Глобальное потепление, усиление землетрясений и стихийных бедствий вследствие истощения озонового слоя

37. Исследование загрязнения приземного слоя воздуха г.Москвы от вредных выбросов тепловых электрических станций

38. Озонный слой над Москвой. Результаты зондирования на миллиметровых радиоволнах
39. Озоновый слой
40. Особые случаи глобальной экологии (экологический терроризм и военная экология)

41. Норильский Никель (развитие комбината Норильский Никель)

42. Синтаксический анализ распространенного предложения и сложные случаи выделения второстепенных членов

43. Оказание помощи при ранениях, переломах ожогах и несчастных случаях

44. Расследование и учет несчастных случаев на производстве

45. Порядок и виды обеспечения по страховым случаям

46. Несчастные случаи на производстве, подлежащие Расследованию и учету: понятие, классификация. Изменения в законодательстве

47. Травлення та засвоєння їжі

48. Первая медицинская помощь при травмах и несчастных случаях

Качели детские "Классик".
Деревянный каркас состоит из брусков. Капроновый шнур надежно соединяет детали качелей между собой. Подвеской является металлическое
343 руб
Раздел: Качели
Сундук-бар, 40x30x75 см.
Такой бар не займет много места. А поэтому он гармонично впишется в интерьер абсолютно любого помещения. Сундук-бар будет лучшим подарком
8493 руб
Раздел: Аксессуары для вина
Фоторамка "Clip" (70x100 см).
Рамка настенная может располагаться как вертикально, так и горизонтально. Для фотографий размером: 70x100 см. Материал: стекло.
456 руб
Раздел: Размер 50x60 и более

49. Разработка методов исследования характеристик генетического алгоритма распределе-ния цепей по слоям в МСМ

50. Русский горожанин поет о далеких странах: «филоэкзотический» слой городской баллады

51. Гравитационное поле плоского слоя

52. Разработка системы стабилизации температуры низкотемпературного кипящего слоя

53. Теория электродного эффекта применительно к приземному слою атмосферы

54. Методы обеспечения требуемого качества поверхностного слоя деталей машин
55. Страхование на случай смерти, от несчастных случаев
56. Страхование от несчастных случаев

57. Тарифное обоснование в обязательном социальном страховании от несчастных случаев на производстве и профессиональных заболеваний

58. Поражение электричеством. Правила расследования несчастных случаев на производстве

59. Расследование и учет несчастных случаев

60. Определение наличия угрозы людям и чужому имуществу в случае пожара

61. Несчастные случаи на производстве. Воздействие вредных факторов

62. Случаи протекания процесса роста ассоциации двух микроорганизмов

63. Влияние водопроницаемости биологически активного слоя чернозема выщелоченного на развитие водной эрозии

64. Исследования тектонических и тектогенных полей деформаций в верхних слоях литосферы

Доска магнитно-маркерная, 45x60 см.
Размер: 45х60 см. Поверхность доски позволяет писать маркерами и прикреплять листы при помощи магнитов. Улучшенный алюминиевый профиль. В
829 руб
Раздел: Доски магнитно-маркерные
Бутылочка для кормления (от 3-х месяцев) Pigeon Перистальтик Плюс с широким горлом, 240 мл.
Изгибы на бутылке прекрасно подходят для маминой руки. Крышечка подходит для любых сосок Pigeon к широким бутылочкам. Материал бутылочки:
555 руб
Раздел: Бутылочки
Модульный массажный коврик "Орто-пазл. Лес".
Полезное приобретение для здоровья и гармоничного развития ребенка - напольное покрытие Орто МИКС "Лес". В состав комплекта
1367 руб
Раздел: Коврики

65. Медико-криминалистические аспекты назначения и проведения экспертиз в случаях отравления техническими жидкостями.

66. Ответственность государства перед гражданином в случае нарушения его прав. Право служебной тайны как гарантия неприкосновенности частной жизни

67. Расследование и учет несчастных случаев на производстве

68. Расследование несчастных случаев на производстве

69. Применение технологии "тонкого клиента" в корпоративных сетях

70. Методы получения тонких пленок
71. Метод наименьших квадратов в случае интегральной и дискретной нормы Гаусса
72. Первая помощь при несчастных случаях

73. Вікові зміни в системі травлення

74. Адсорбер периодического действия с неподвижным зернистым слоем адсорбента. Технологическая схема для улавливания паров этилового спирта из воздуха

75. Основные виды и причины брака при нанесении слоя фоторезиста

76. Сварка никеля

77. Каталитический крекинг с кипящим слоем микросферического катализатора

78. Маргинальный слой в российском обществе

79. Социальная поддержка незащищенных слоев населения

80. Средние слои: иллюзии и реальность

Набор салатниц "Loraine", 10 предметов.
Форма: круглая. Материал: стекло, пластик. Цвет салатниц: прозрачный, рисунок. Диаметр: 17 см, 14 см, 12,5 см, 10,5 см, 9 см. Объем: 1,1
318 руб
Раздел: Наборы
Игра "Лопни шар" (арт. DE 0155).
У Вас есть "семейная» игра", в которую по вечерам с удовольствием играют и дети, и взрослые? Если нет, то настольная игра
550 руб
Раздел: Игры на ловкость
Настольная игра "Пакля-рвакля".
Слон - лимон, пират - самокат. Ищите рифмы на картинках. Сочиняйте и фантазируйте! В коробке: 60 карт, правила игры. Количество игроков:
357 руб
Раздел: Карточные игры

81. Проектирование толщины утепляющих слоев стены малоэтажного дома

82. Изучение тонких линз и сферических зеркал

83. Особенности процессов зарядообразования в слое магнитной жидкости

84. Структура и свойства пьезокерамических материалов, легированных никелем и медью

85. Обязательное социальное страхование от несчастных случаев

86. Извлечение никеля из полировальных ванн для никелирования
87. Катодное осаждение – анодное растворение сплава железо-никель и структурные превращения в электролитах сплавообразования
88. Обзор методов очистки сточных вод от меди, ванадия, никеля и марганца

89. Роль экотоксиканта никеля в экологии сегодня и его эволюционное влияние в далеком прошлом

90. Норильский никель

91. Озоновый слой - проблема XXI века

92. Расчет тарифов на электроэнергию для различных групп потребителей в случае выхода крупных потребителей на оптовый рынок

93. Производство отделочных работ

94. Производство работ по возведению жилого кирпичного здания

95. Производство белка

96. Роль углеводов в жизнедеятельности человека

Стульчик-сумка для кормления и путешествий с пеленальной площадкой.
Этот портативный аксессуар сделает жизнь мамы и малыша гораздо мобильнее. Сумка легко и быстро трансформируется в удобный стульчик со
799 руб
Раздел: Стульчики для кормления
Рюкзак "Max Steel", 42x29x15 см.
Материал: полиэстер, 600 ден. Размер: 42x29x15 см. Уплотненная спинка, широкие мягкие регулируемые лямки, 1 отделение, 2 боковых кармана,
671 руб
Раздел: Без наполнения
Поильник в комплекте с трубочкой "Малышарики", от 6 месяцев, 360 мл.
Поильник с трубочкой идеально подойдет для подросшего Малыша. Поильник удобно брать с собой на прогулку или в гости. Мягкая силиконовая
381 руб
Раздел: Поильники, непроливайки

97. Роль конкуренции в экосистемах

98. О роли эксперимента в разработке научных гипотез происхождения жизни

99. Роль материнского генома в развитии потомка

100. Разработка основных биотехнологических процессов производства и системы управления качеством липидных косметических препаратов (на примере тоников для проблемной кожи)


Поиск Рефератов на сайте za4eti.ru Вы студент, и у Вас нет времени на выполнение письменных работ (рефератов, курсовых и дипломов)? Мы сможем Вам в этом помочь. Возможно, Вам подойдет что-то из ПЕРЕЧНЯ ПРЕДМЕТОВ И ДИСЦИПЛИН, ПО КОТОРЫМ ВЫПОЛНЯЮТСЯ РЕФЕРАТЫ, КУРСОВЫЕ И ДИПЛОМНЫЕ РАБОТЫ. 
Вы можете поискать нужную Вам работу в КОЛЛЕКЦИИ ГОТОВЫХ РЕФЕРАТОВ, КУРСОВЫХ И ДИПЛОМНЫХ РАБОТ, выполненных преподавателями московских ВУЗов за период более чем 10-летней работы. Эти работы Вы можете бесплатно СКАЧАТЬ.