Библиотека Рефераты Курсовые Дипломы Поиск
Библиотека Рефераты Курсовые Дипломы Поиск
сделать стартовой добавить в избранное
Кефирный гриб на сайте za4eti.ru

Промышленность и Производство Промышленность и Производство     Технология Технология

Технология изготовления микросхем

Ручка "Шприц", желтая.
Необычная ручка в виде шприца. Состоит из пластикового корпуса с нанесением мерной шкалы. Внутри находится жидкость желтого цвета,
31 руб
Раздел: Оригинальные ручки
Забавная пачка денег "100 долларов".
Купюры в пачке выглядят совсем как настоящие, к тому же и банковской лентой перехвачены... Но вглядитесь внимательней, и Вы увидите
60 руб
Раздел: Прочее
Браслет светоотражающий, самофиксирующийся, желтый.
Изготовлены из влагостойкого и грязестойкого материала, сохраняющего свои свойства в любых погодных условиях. Легкость крепления позволяет
66 руб
Раздел: Прочее

МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ ОРЛОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ Кафедра «ПТЭиВС»КУРСОВАЯ РАБОТА на тему: «Технология изготовления кристаллов полупроводниковых интегральных микросхем » Дисциплина: «Материаловедение и материалы электронных средств»Выполнил студент группы 31-Р Козлов А. Н. Руководитель Косчинская Е. В. Орел, 2004 СодержаниеВведение Часть I. Аналитический обзор 1.1 Интегральные схемы 1.2 Требования к полупроводниковым подложкам 1.3 Характеристика монокристаллического кремния 1.4 Обоснование применения монокристаллического кремния 1.5 Технология получения монокристаллического кремния 1.5.1 Получение кремния полупроводниковой чистоты 1.5.2 Выращивание монокристаллов 1.6 Механическая обработка монокристаллического кремния 1.6.1 Калибровка 1.6.2 Ориентация 1.6.3 Резка 1.6.4 Шлифовка и полировка 1.6.5 Химическое травление полупроводниковых пластин и подложек 1.7 Операция разделения подложек на платы 1.7.1 Алмазное скрайбирование 1.7.2 Лазерное скрайбирование 1.8 Разламывание пластин на кристаллы Часть II. Расчет Заключение Список используемой литературы ВведениеТехнология изготовления интегральных микросхем представляет собой совокупность механических, физических, химических способов обработки различных материалов (полупроводников, диэлектриков, металлов), в результате которой создается ИС. Повышение производительности труда обусловлено в первую очередь совершенствованием технологии, внедрением прогрессивных технологических методов, стандартизацией технологического оборудования и оснастки, механизацией ручного труда на основе автоматизации технологических процессов. Значимость технологии в производстве полупроводниковых приборов и ИС особенно велика. Именно постоянное совершенствование технологии полупроводниковых приборов привело на определенном этапе ее развития к созданию ИС, а в дальнейшем — к широкому их производству. Производство ИС началось примерно с 1959 г. На основе предложенной к этому времени планарной технологии. Основой планарной технологии послужила разработка нескольких фундаментальных технологических методов. Наряду с разработкой технологических методов развитие ИС включало исследования принципов работы их элементов, изобретение новых элементов, совершенствование методов очистки полупроводниковых материалов, проведение их физико-химических исследований с целью установления таких важнейших характеристик, как предельные растворимости примесей, коэффициенты диффузии донорных и акцепторных примесей и др. За короткий исторический срок современная микроэлектроника стала одним из важнейших направлений научно-технического прогресса. Создание больших и сверхбольших интегральных микросхем, микропроцессоров и микропроцессорных систем позволило организовать массовое производство электронных вычислительных машин высокого быстродействия, различных видов электронной аппаратуры, аппаратуры управления технологическими процессами, систем связи, систем и устройств автоматического управления и регулирования. Микроэлектроника продолжает развиваться быстрыми темпами, как в направлении совершенствования полупроводниковой интегральной технологии, так и в направлении использования новых физических явлений.

Часть I. Аналитический обзор1.1 Интегральные схемыВ процессе развития микроэлектроники (МЭ) номенклатура ИС непрерывно изменялась. Главный тип ИС в настоящее время — полупроводниковые ИС. Классификация ИС. Классификация ИС может производиться по различным признакам, ограничимся одним. По способу изготовления и получаемой при этом структуре различают два принципиально разных типа интегральных схем: полупроводниковые и пленочные. Полупроводниковая ИС — это микросхема, элементы которой выполнены в приповерхностном слое полупроводниковой подложки. Эти ИС составляют основу современной микроэлектроники. Пленочная ИС — это микросхема, элементы которой выполнены в виде разного рода пленок, нанесенных на поверхность диэлектрической подложки. В зависимости от способа нанесения пленок и связанной с этим их толщиной различают тонкопленочные ИС (толщина пленок до 1-2 мкм) и толстопленочные ИС (толщина пленок от 10-20 мкм и выше). Поскольку до сих пор никакая комбинация напыленных пленок не позволяет получить активные элементы типа транзисторов, пленочные ИС содержат только пассивные элементы (резисторы, конденсаторы и т. п.). Поэтому функции, выполняемые чисто пленочными ИС, крайне ограничены. Чтобы преодолеть эти ограничения, пленочную ИС дополняют активными компонентами (отдельными транзисторами или ИС), располагая их на той же подложке и соединяя с пленочными элементами. Тогда получается ИС, которую называют гибридной. Гибридной ИС (или ГИС) — это микросхема, которая представляет собой комбинацию пленочных пассивных элементов и активных компонентов, расположенных на общей диэлектрической подложке. Дискретные компоненты, входящие в состав гибридной ИС, называются навесными, подчеркивая этим их, обособленность от основного технологического цикла получения пленочной части схемы. Еще один тип «смешанных» ИС, в которых сочетаются полупроводниковые и пленочные интегральные элементы, называют совмещенными. Совмещенная ИС — это микросхема, у которой активные элементы выполнены в приповерхностном слое полупроводникового кристалла (как у полупроводниковой ИС), а пассивные нанесены в виде пленок на предварительно изолированную поверхность того же кристалла (как у пленочной ИС). Совмещенные ИС выгодны тогда, когда необходимы высокие номиналы и высокая стабильность сопротивлений и емкостей; эти требования легче обеспечить с помощью пленочных элементов, чем с помощью полупроводниковых. Во всех типах ИС межсоединения элементов осуществляются с помощью тонких металлических полосок, напыленных или нанесенных на поверхность подложки и в нужных местах контактирующих с соединяемыми элементами. Процесс нанесения этих соединительных полосок называют металлизацией, а сам «рисунок» межсоединений — металлической разводкой. В данной курсовой работе рассмотрена технология изготовления плат полупроводниковых интегральных микросхем. Полупроводниковая интегральная микросхема – это микросхема, элементы которой выполнены в приповерхностном слое полупроводниковой подложки. Эти ИС составляют основу современной микроэлектроники. Размеры кристаллов у современных полупроводниковых интегральных микросхем достигают 20x20 мм, чем больше площадь кристалла, тем более многоэлементную ИС можно на ней разместить.

При одной и той же площади кристалла можно увеличить количество элементов, уменьшая их размеры и расстояния между ними. 1.2 Требования к полупроводниковым подложкамПолупроводники в виде пластин или дисков, вырезанных из монокристаллов, называются подложками. В их объеме и на поверхности методами травления, окисления, диффузии, эпитаксии, имплантации, фотолитографии, другими технологическими приемами формируются элементы микросхем электронных приборов и устройств. Качество поверхности подложки определяется ее микрорельефом (шероховатостью), кристаллическим совершенством поверхностных слоев и степенью их физико-химической чистоты. Поверхность подложки характеризуется неплоскостностью и непараллельностью. Высокие требования предъявляются и к обратной — нерабочей стороне подложки. Неодинаковая и неравноценная обработка обеих сторон подложки приводит к дополнительным остаточным механическим напряжениям и деформации кристалла, что обусловливает изгиб пластин. После механической обработки в тонком приповерхностном слое подложки возникает нарушенный слой. По глубине он может быть разделен на характерные зоны. Для кристаллов Ge, Si, GaAs и других после их резки и шлифования на глубине 0,3.0,5 средней высоты неровностей расположена рельефная зона, в которой наблюдаются одинаковые виды нарушений и дефектов монокристаллической структуры: монокристаллические сколы, невыкрошившиеся блоки, трещины, выступы и впадины различных размеров. После резки дефекты располагаются в основном под следами от режущей кромки алмазного диска в виде параллельных дорожек из скоплений дефектов, в шлифованных кристаллах — равномерно по сечению. При полировании первый слой представляет собой поверхностные неровности, относительно меньшие, чем при шлифовании, и в отличие от шлифованной поверхности он является аморфным. Второй слой также аморфный, его глубина в 2.3 раза больше, чем поверхностные неровности. Третий слой является переходным от аморфной структуры к ненарушенному монокристаллу и может содержать упругие или пластические деформации, дислокации, а в некоторых случаях и трещины. В процессе обработки и подготовки поверхности подложек полупроводников необходимо создание совершенных поверхностей, имеющих высокую степень плоскопараллельности при заданной кристаллографической ориентации, с полным отсутствием нарушенного слоя, минимальной плотностью поверхностных дефектов, дислокаций и т.д. Поверхностные загрязнения должны быть минимальными. 1.3 Характеристика монокристаллического кремния Физико-химические свойства кремния 1.Оптимальное значение ширины запрещенной зоны, которая обусловила достаточно низкую концентрацию собственных носителей и высокую рабочую температуру. 2.Большой диапазон реально достижимых удельных сопротивлений в пределах от 10-3 Ом-см (вырожденный) до 105 (близкий к собственному). 3.Высокое значение модуля упругости, значительная жесткость (большая, чем, например, у стали). 4.Оптимально высокая температура плавления, следующая из высокого значения модуля упругости и энергии связи. 5.Малая плотность (2,3 г/см3) и низкий ТКЛР 3·10-6 К-1.

Структурная схема модульного прибора системы "SMT": 1 – блок встроенного контроля; 2 – устройство отображения информации; 3 – телескопическая насалка; 4 – сканер: 5 – блок обработки сигнала: 6 – фотоприемное устройство; 7 – устройство охлаждения. Применение схем последовательно-параллельного сканирования стало возможным по мере совершенствования промышленной технологии изготовления многоэлементных приемников излучения, микросхем памяти и обработки сигнала. К преимуществам данной схемы относят сравнительно простое сопряжение со стандартным телевизионным форматом, лучшую однородность растра. Недостатком является широкая по сравнению со схемой с параллельным сканированием полоса частот электрических сигналов. Это затрудняет защиту электроники от внешних помех. Базовые структурные схемы модульных приборов английской системы "TICM-2" и французской "SMT" показаны на рис. 2 и 3. Значительная экономия средств за счет внедрения программ общих модулей позволила западным странам успешнее вести разработки перспективных тепловизоров второго поколения, а также совершенствовать существующие модульные приборы

1. Технология изготовления вафель с начинкой

2. Технология изготовления печатных плат

3. Технология изготовления печатных форм

4. Технология изготовления и применения газобетона и пенобетона для утепления ограждающих конструкций зданий

5. Технология изготовления древесно стружечных плит

6. Разработка конструкции и технология изготовления дублирующего устройства управления учебным автомобилем
7. Технология изготовления декоративной косметики
8. Разработка технологии изготовления монометаллических форм

9. Технология изготовления распределительного вала

10. Разработка конструкции и технологии изготовления печатного узла

11. Технология изготовления болтов методом холодной штамповки

12. Технология изготовления листовой электротехнической стали

13. Анализ современных технологий изготовления гибридных микросборок

14. Конструирование и технология изготовления генератора "воющего" шума

15. Технология изготовления СВЧ на ККБ "Искра"

16. Технология изготовления плюшки "Московская"

Глобус Земли физический + политический, с подсветкой, 250 мм.
Глобус Земли физический + политический, с подсветкой. Диаметр: 250 мм. Расцветка подставки в ассортименте, без возможности выбора!
769 руб
Раздел: Глобусы
Авто-вентилятор с функцией обогрева.
Каждый автомобилист знает, что нередко погода на улице заставляет нас дискомфортно чувствовать себя и в салоне собственного автомобиля. В
600 руб
Раздел: Прочее
Блюдо "Пасхальное", диаметр 25 см.
Блюдо. Диаметр: 25 см. Высота: 3 см. Материал: фарфор. В ассортименте, без возможности выбора.
515 руб
Раздел: Прочее

17. Технология изготовления сувенирной упаковки

18. Разработка технологии изготовления валов

19. Разработка технологии изготовления заготовки кованого валка для холодной прокатки

20. Разработка технологии изготовления тормозной колодки из композиционных полимерных материалов

21. Технология изготовления деталей из керамики

22. Технология изготовления женской одежды
23. Технология изготовления оптических поверхностей
24. Технология изготовления рычага

25. Технология изготовления СВЧ элементов конструкций РЭС

26. Технология изготовления цемента на предприятии ЗАО "Белгородский цемент"

27. Технология изготовления секции корпуса судна

28. Технологии изготовления "слухового" окна

29. Совершенствование технологии изготовления вкладыш-пустотообразователя на основе полипропилена

30. Производственный процесс изготовления микросхем

31. Великобритания (расширенный вариант реферата 9490)

32. Реферат о Пугачеве

Рюкзак школьный, цвет темно-синий (арт. RB-861-2/2).
Рюкзак школьный, два отделения, объемный карман на молнии на передней стенке, боковые карманы из сетки, откидное жесткое дно,
1730 руб
Раздел: Без наполнения
Диско-шар, средний.
Диско-светильник среднего размера. Мощность лампы накаливания: 25 Ватт. Цоколь: Е14. Лампа специализированная миниатюрная. Напряжение
1115 руб
Раздел: Необычные светильники
"Счеты" - деревянная игрушка.
Эти забавные и яркие счеты изготовлены из экологически чистого материала древесины. Игра с ними прекрасно развивает мелкую моторику и
342 руб
Раздел: Счетные наборы, веера

33. Несколько рефератов по культурологии

34. Реферат по научной монографии А.Н. Троицкого «Александр I и Наполеон» Москва, «Высшая школа»1994 г.

35. Субъект преступления ("подновлённая" версия реферата 6762)

36. Разработка технологии по изготовлению книжного издания по искусству

37. Разработка для контроля и определения типа логических интегральных микросхем методом сигнатурного анализа

38. Сборка полупроводниковых приборов и интегральных микросхем
39. Разработка программатора микросхем ПЗУ
40. "Русский Тарзан" (реферат о российском пловце Александре Попове)

41. Реферат по статье П. Вайнгартнера «Сходство и различие между научной и религиозной верой»

42. Генезис капитализма в Мексике. Реферат по истории экономики

43. Реферат по книге Н. Цеда Дух самурая - дух Японии

44. Реферат по теме “Человек на войне”

45. Реферат по биографии Виктора Гюго

46. Реферат - Физиология (Транспорт веществ через биологические мембраны)

47. США и Канада в АТР: набор рефератов

48. Проектирование технологий и изготовления изделий машиностроения

Багетная рама "Sandra" (серебряный), 40х50 см.
Багетные рамы предназначены для оформления картин, вышивок и фотографий. Оформленное изделие всегда становится более выразительным и
791 руб
Раздел: Размер 40x50
Стол детский Little Angel "Я расту" (цвет: салатовый).
Размер стола: 56х56х50 см. Материал: пластик. Цвет: салатовый.
1476 руб
Раздел: Столики
Ванная комната "Конфетти".
Набор мебели для кукольной комнаты подойдет для кукол размером до 30 см. Комплектность: коврик большой, коврик, флакон - 2 штуки, пробка к
878 руб
Раздел: Ванные комнаты

49. Как написать хороший реферат?

50. Сборник рефератов о конфликтах

51. Сборник рефератов о конфликтах

52. Реферат по экскурсоведению

53. Реферат по экологии

54. Реферат о прочитаной на немецком языке литературы
55. Реферат для выпускных экзаменов
56. Реферат по ОБЖ, Тема: СПИД

57. Реферат о США

58. Реферат по делопроизводству с вопросами: Подготовка документов к архивному хранению, Правила оформления реквизитов №№16, 19, 20, 22, Контракты (договоры)

59. Конструирование микросхем

60. Реферат Политико-правовые взгляды М.М. Сперанского и Н.М. Карамзина

61. Логические элементы интегральных микросхем

62. Программно-аппаратный комплекс для тестирования интегральных микросхем 155 серии

63. Разработка модели триггерного устройства на базе микросхем типа К564 с последующим использованием выходов

64. Основы проектирования интегральных микросхем широкополосного усилителя

Настольная игра "Свинтус".
Свинтус веселая и быстрая игра, в которую могут играть как двое, так и несколько человек. Итак, сражение за звание лучшего работника можно
390 руб
Раздел: Игры в дорогу
Подставка для украшений Jardin D'Ete "Сиреневые сны".
Подставка для ювелирных изделий не оставит равнодушной ни одну любительницу изысканных вещей. Сочетание оригинального дизайна и
940 руб
Раздел: Подставки для украшений
Дорожный горшок Potette Plus, сине-зеленый.
Уникальный дорожный горшок для детей от 15 месяцев, который может стать незаменимым помощником для родителей в дороге. Детский дорожный
1392 руб
Раздел: Прочие

65. Разработка технологии и технических условий на изготовление фартуков

66. Влияние космоса на современные информационные технологии

67. Автоматизированные информационные технологии формирования, обработки и представления данных в налоговой службе

68. Роль техники и технологии в процессе развития культуры

69. Intel Pentium 4 3,06 ГГц с поддержкой технологии Hyper-Threading

70. Использование информационных технологий в туризме
71. Автоматизированные информационные технологии в офисе
72. Современные сетевые и информационные технологии

73. Информационные технологии в экономике. Основы сетевых информационных технологий

74. Разработка технологии ремонта, модернизации сервера с двумя процессорами Pentium

75. Internet технологии

76. Технологии поиска документальной информации в INTERNET

77. Реализация сетевых компьютерных технологий в системе международного маркетинга

78. web дизайн: Flash технологии

79. Удалённый доступ к частной сети через Интернет с помощь технологии VPN

80. Wi-Fi - технология беспроводной связи

Набор разделочных досок на подставке.
Материал: полипропилен. Размер: 335х240х78 мм. В наборе: 3 разделочные доски. В ассортименте без возможности выбора.
453 руб
Раздел: Пластиковые
Увлекательная настольная игра "Турбосчет".
Настольная игра "Турбосчёт" - весёлая и очень динамичная обучающая игра, которая мгновенно увлекает и детей, и взрослых. Правила
392 руб
Раздел: Математика, цифры, счет
Бутылка под оливковое масло "Тоскана", 18x8,5x24 см, 1100 мл.
Бутылка под оливковое масло. Размер: 18x8,5x24 см. Материал: доломит. Объем: 1100 мл.
315 руб
Раздел: Ёмкости для масла, уксуса

81. Новые технологии в организации PC

82. Использование компьютерных технологий в деятельности ОВД

83. Лекции по информационным технологиям

84. Основные технологии накопителей на магнитной ленте

85. Технология беспроводной передачи информации на примере технологии Bluetooth

86. Средства составления и изготовления текстовой информации - сканеры
87. Языки и технология программирования. Начальный курс /Pascal/
88. Речевые технологии

89. Информационные технологии в экономике. Разработка информационных технологий.

90. Информационные технологии в управлении (Контрольная)

91. Лабораторные работы по теории и технологии информационных процессов

92. Информационные технологии в экономике

93. Учебник по технологии программирования

94. Новые технологии. Microsoft Office XP

95. Новые информационные технологии обучения в математике

96. Технология производства низина. Антибиотические свойства низина

Глобус Звездного неба диаметром 320 мм.
Диаметр: 320 мм. Масштаб: 1:40000000. Материал подставки: пластик. Цвет подставки: черный. Шар выполнен из толстого пластика, имеет один
1007 руб
Раздел: Глобусы
Набор детской складной мебели "Веселая азбука".
Детский комплект складной мебели подходит для кормления, игр и обучения. Поверхность столешницы ламинированная с нанесением ярких
1629 руб
Раздел: Наборы детской мебели
Набор мебели для кухни "Коллекция".
Прекрасный набор кухонной мебели: стильный шкаф с необходимой техникой, раковиной, барной стойкой и холодильник. В набор так же входит
963 руб
Раздел: Кухни, столовые

97. Использование компьютерных технологий в деятельности милиции

98. Воздействие целлюлозно-бумажной промышленности на окружающую среду. Природосберегающие технологии

99. Технология проблемного обучения


Поиск Рефератов на сайте za4eti.ru Вы студент, и у Вас нет времени на выполнение письменных работ (рефератов, курсовых и дипломов)? Мы сможем Вам в этом помочь. Возможно, Вам подойдет что-то из ПЕРЕЧНЯ ПРЕДМЕТОВ И ДИСЦИПЛИН, ПО КОТОРЫМ ВЫПОЛНЯЮТСЯ РЕФЕРАТЫ, КУРСОВЫЕ И ДИПЛОМНЫЕ РАБОТЫ. 
Вы можете поискать нужную Вам работу в КОЛЛЕКЦИИ ГОТОВЫХ РЕФЕРАТОВ, КУРСОВЫХ И ДИПЛОМНЫХ РАБОТ, выполненных преподавателями московских ВУЗов за период более чем 10-летней работы. Эти работы Вы можете бесплатно СКАЧАТЬ.