Библиотека Рефераты Курсовые Дипломы Поиск
Библиотека Рефераты Курсовые Дипломы Поиск
сделать стартовой добавить в избранное
Кефирный гриб на сайте za4eti.ru

Промышленность и Производство Промышленность и Производство     Материаловедение Материаловедение

Жидкостное химическое травление

Ночник-проектор "Звездное небо и планеты", фиолетовый.
Оригинальный светильник - ночник - проектор. Корпус поворачивается от руки. Источник света: 1) Лампочка (от карманных фонариков) 2) Три
330 руб
Раздел: Ночники
Забавная пачка денег "100 долларов".
Купюры в пачке выглядят совсем как настоящие, к тому же и банковской лентой перехвачены... Но вглядитесь внимательней, и Вы увидите
56 руб
Раздел: Прочее
Браслет светоотражающий, самофиксирующийся, желтый.
Изготовлены из влагостойкого и грязестойкого материала, сохраняющего свои свойства в любых погодных условиях. Легкость крепления позволяет
63 руб
Раздел: Разное

Калужский Филиал Московского Государственного Технического Университета им. Н. Э. Баумана Отчет по технологической практике на тему: “ Жидкостное химическое травление “ студент: Тимофеев А. Ю. руководитель: Парамонов В. В. 1996 г. г. Калуга. Содержание. стр. 1. Введение. 3 1.1. Термодинамика травления. 5 1.2. Общие принципы кинетики травления. 8 1.3. Феноменологический механизм травления. 9 2. Жидкостное травление. 11 2.1. Травление SiO2. 11 2.2. Травление кремния. 14 2.3. Травление многослойных структур. 19 2.4. Травление алюминия. 20 2.5. Травители для алюминия. 21 2.6. Электрохимическое травление. 23 3. Практические аспекты жидкостного химического 23 травления. 3.1. Другие характеристики травления. 24 4. Заключение. 25 5. Список литературы. 26 Введение.Травление используется для селективной (химической) прорисовки диффузионных масок, формирования изолирующих или проводящих областей, в процессе которого вещество в области, подвергаемой травлению, химически преобразуется в растворимое или летучее соединение. В литографии травление применяется в основном для формирования диффузионных масок в слое термически окисленного кремния или для удаления материала через окна в диэлектрике при изготовлении металлических контактов. Металлическая разводка формируется путем селективного удаления промежутков (обращения изображения); фотошаблоны также изготавливаются травлением металлических пленок. Задача инженера-технолога состоит в том, чтобы обеспечить перенос изображения с резистной маски в подложку с минимальным отклонением размера (Е) и допуском ((Т) (см. рис. 1). Из рисунка видно, что суммарное изменение размера при литографии Е обусловлено искажением изображения в резистной маске ((0.1 мкм), уходом размера в резисте ((0.5 мкм) и уходом окончательного размера в процессе травления (1.0 мкм с допуском в (1.0 мкм. Рис. 1. Изменение размеров при переносе изображения из резиста в подложку с помощью изотропного травления. В зависимости от кристалличности пленки и целостности резиста (отсутствие отслоений при жидкостном и эрозии при плазменном травлении) уход размера может достигать толщины пленки D и даже превышать ее. Изотропное жидкостное травление, для которого характерно большое боковое подтравливание (L), пришлось заменить газофазным анизотропным травлением, для которого D/L((1 (рис. 2). Изотропное травление происходит неупорядоченно, с одинаковой скоростью по всем пространственным направлениям - L и D. Анизотропное травление проявляется при некоторых отклонениях от изотропного процесса. Желательно, чтобы глубина травления (D) была много больше величины бокового подтравливания (L). Поскольку травление в вертикальном направлении при достижении глубины D прекращается, перетравливание определяется только скоростью удаления материала в боковом направлении. Степень анизотропии можно определить как отношение L/D, и ее величина зависит от многих физических параметров. Жидкостное травление определяется в основном статическими характеристиками типа адгезии и степени задубленности резиста, состава травителя и т.п. При сухом травлении степень анизотропии во многом зависит от таких динамических параметров, как мощность разряда, давление и скорость эрозии резиста.

Величина бокового подтравливания в случае жидкостного травления зависит от предшествующих стадий обработки - подготовки поверхности и термозадубливания. Рис. 2. Анизотропное (слева) и изотропное (справа) травление. R-резист, S-полложка. Используя жидкостное травление или недавно разработанный и боле предпочтительный метод плазменного сухого травления, можно формировать различные профили в пленках. Жидкие травители дают изотропные или скошенные профили . Скошенный профиль края лучше подходит для последующего нанесения полости металла поперек такой ступеньки. Ширина линии в скомпенсированной маске М, мкм Рис. 3. Связь компенсации (уменьшение размеров окон в маске), необходимый при изотропном и анизотропном (D/L>2) травлении.Для компенсации подтрава при изотропном жидкостном травлении размеры элемента на фотошаблоне следует уменьшать. На рис. 3 показана компенсация размера окон в шаблоне для разных степеней анизотропии травления. Для обычного изотропного травления D/L равно 1 (без разрушения резиста и при хорошей адгезии). Для того чтобы ширина полосы была равна (е, размер перенесенного в резист изображения (r должен быть меньше на удвоенную величину бокового подтрава (L): (r=(е-2L. (1)Рис. 4. Сравнение жидкостного (W) и плазменного (Р) травления.В обоих случаях травление производится через маску Si3 4 толщиной 0.25 мкм.для получения 1-мкм линии при умеренно анизотропном травлении (D/L=3) изображение в резисте следует делать на 0.2 мкм меньше 1 мкм, а ширина элемента на шаблоне (М) должна быть увеличена примерно на 0.05-0.1 мкм для компенсации ухода размера при формировании резистной маски. Если же D/L=10, то полоса шириной 1 мкм может быть подтравлена через резистное окно шириной 0.7 мкм. разница в характеристиках компенсации размера изображения в резисте для сухого и жидкостного травления Si3 4 ясно видна на рис. 4.Термодинамика травления. С точки зрения химии процесс травления можно представить схемой твердая фаза травитель(продукты; при этом к твердой фазе относят кремний, его оксиды и нитриды и многие металлы. Для межсоединений внутри кристалла обычно применяют Al и его сплавы с Si и Cu, причем основным материалом для первого уровня металлизации является Al (табл. 1). Слои оксидов кремния можно выращивать термически, наносить химическим способом или распылением, можно также легировать их фосфором или бором. Металлы используются в виде чистых или пассивированных пленок, сплавов, многослойных структур и интерметаллидов. Поскольку кремний существует в виде монокристаллических или поликристаллических пленок, его структура, как и структура других кристаллических материалов, имеет и ближний и дальний порядок. Поскольку травление переводит упорядоченные структуры в неупорядоченные, термодинамические соображения о поведении свободной энергии (F системы должны учитывать изменения как энтропии (S, так и энтальпии (Н (теплоты растворения или испарения) (F=(Н-Т(S. (2) Например, реакция травления аморфного оксида кремния является эндотермической, (Н= 11 ккал/моль: SiO2(тв.) 6HF(ж.)(Н2SiF6 2H2O. (3) Таблица 1. Материалы полупроводниковой электроники.

Проводники Ag, Al, Au, Cr, Cu, Mo, i, Pb, P , a, i,W Полупроводники Si, Ge, GaAs Диэлектрики SiO2, Si3 4, резист, полиимид Преодоление короткодействующих сил в амфорном твердом теле сопровождается ростом энтропии. Небольшие дефекты, такие, как напряжение, деформация, примесные уровни, также оказывают влияние на скорость травления. В кристаллическом кремнии скорость травления плоскостей с малыми индексами Миллера определяется числом свободных связей и кристаллографической ориентацией (табл. 2). Таблица 2. Влияние ориентации на травление кремния. Кристаллографическая Относительное число Относительная скорость плоскость свободных связей травления (111) 0.58 0.62 (110) 0.71 0.89 (100) 1.00 1.00 Переход металла или кремния в растворимое состояние включает в себя ионизацию металла (определяемую потенциалом ионизации) и перенос электрона к соответствующему восстановителю с высоким сродством к электрону М(тв.) (М (ж.) e. (4) Реакция эта трехстадийная: М(тв.) (М(газ) сублимация, (5) М(газ) ( М (газ) e ионизация, (6) М (газ) Н2О ( М (ж.) гидратация. (7) Изменение энтальпии при сублимации и ионизации положительно (эндотермические реакции), но гидратация экзотермична (отрицательное (Н). При газофазном травлении для распыления металла путем его сублимации кинетическая энергия частиц травителя (энергия травления) должна передаваться металлу из газовой фазы. При погружении металлического образца в раствор, содержащий его собственные ионы (уравнение 4), ионы металла переходят в раствор (рис. 5), и образец приобретает отрицательный заряд. Метал образует, таким образом, свой собственный анод. и ионы М притягиваются к нему, формируя двойной электрический слой (слой Гельмгольца). разность потенциалов в нем называется Рис. 5. Двойной слой Гельмгольца на границе металла в равновесии с ионами металла в жидкой фазе (М ) и анионами (Х-).абсолютным электродным потенциалом. Стандартные окислительные и восстано- вительные потенциалы можно найти в литературе по электрохимии. На катоде происходит уравновешиваю-щее окисление, и катодную реакцию в растворе можно записать следующим образом: e X - (X . (8) итоговое приращение свобод-ной энергии, (F, составляет (F=- Ф(Е, (9) где (Е есть разность анодного и катодного потенциалов, а Ф-число Фарадея. Величина изменения свободной энергии зависит от: 1) чистоты металла, его кристаллической структуры, наличия напряжений, метода осаждения и состава примесей; 2) активности ионов металла в растворе; 3) ионной силы электролита; 4) температуры; 5) состава растворителя. При травлении диэлектриков переноса электронов не происходит, и реакции в этом случае имеют кислотно-основный характер: SiO2 6HF (H2SiF6 2H2O, (10) SiO2 CF4(газ) (SiF4 CO2. (11) Si(O-связь заменяется связью Si(F. Поскольку энергии связей Si(O и Si(F близки, знак изменения энтропии определяет, пройдет реакция или нет. Общие принципы кинетики травления.Гетерогенные твердофазные реакции затрагивают различные разделы химии, механики и физики. Типичный процесс включает в себя следующую последовательность реакций: 1) перенос реагента; 2) адсорбция реагента (Нads; 3) реакция на поверхности (F; 4) десорбция продуктов (Нvap; 5) перенос продуктов.

Такое противоречие, в отличие от технического, называется физическим противоречием (ФП). Сформулированные в примере 6.7 ФП позволяют наметить минизадачи и, тем самым, определить область поиска возможных решений (табл. 6.2). Таблица 6.2 Пример 6.7. Для получения рельефной поверхности на крупногабаритных оболочках, например, для образования усилений в местах сварки на днищах топливных баков (ТБ), для получения вафельного силового набора на обечайках ТБ (места А на рис.P6.4) применяется операция избирательного размерного химического травления. Рис.P6.4 Излишки материала удаляются в щелочных растворах. Места, которые не должны подвергаться травлению (поз. А рис.P6.4), покрываются лаком. Проблемная ситуация заключается в том, что необходимо весьма точно нанести защитный лак на участки, которые не должны подвергаться травлению. Лак должен иметь хорошую адгезию к металлу, чтобы в процессе обработки не было подтравливания материала под покрытием. Если лак наносить по трафарету, то не удается получить точный контур. Поэтому было принято решение наносить лак на всю поверхность, а затем по шаблону чертилкой делать разметку, скальпелем надрезать покрытие и удалять лак с тех участков, которые должны подвергнуться химической обработке

1. Жидкостное химическое травление

2. Блок управления подогревателем жидкостным

3. Аппаратура для современной жидкостной хроматографии

4. Подвижная фаза для жидкостной хроматографии

5. Высокоэффективная жидкостная хроматография загрязнителей атмосферного воздуха и воздуха рабочей зоны

6. Алюминий
7. Важнейшие природы соединения алюминия
8. Особенности сварки алюминия

9. Исследование взаимосвязи электрофизических параметров кремния полученного методом карботермического восстановления от технологии его получения

10. Фотоэлектрические свойства нитрида алюминия

11. Определение времени жизни носителей в высокоомном кремнии. Влияние времени жизни на параметры высоковольтных приборов на кремнии

12. Алюминий и его сплавы

13. Алюминий

14. Кремний

15. Производство железа, чугуна и алюминия

16. Оксид (сесквиоксид) алюминия

Конструктор металлический для уроков труда №2.
Конструктор раскрывает перед ребенком неограниченные возможности моделирования и создания множества своих собственных
387 руб
Раздел: Магнитные и металлические конструкторы
Папка-портфолио "Портфолио школьника", А4.
Портфолио - это способ фиксирования, накопления и оценки индивидуальных достижений школьника в определенный период его обучения. Портфолио
364 руб
Раздел: Портфолио
Набор липких валиков "Лёгкая уборка" (Sticky Buddy).
Во время домашней уборки мы часто сталкиваемся с проблемой чистки ковров и поверхности мебели. Но, как правило, не всегда хочется
901 руб
Раздел: Швабры и наборы

17. Алюминий-литиевые сплавы

18. Кремний

19. Химия. Алюминий

20. Алюминий

21. Травлення та засвоєння їжі

22. Закономерности извлечения растворимых в воде металлов углеродным сорбентом Техносорб. Извлечение алюминия
23. Алюминий и его сплавы
24. Свойства силиката магния с примесью хрома в пористом кремнии

25. Распределение примесей в кремнии

26. Алюминий и его сплавы. Особенности получения отливок

27. Суть і значення травлення

28. Розлади травлення у дітей раннього віку. Кишковий токсикоз

29. Свойства алюминия

30. Вплив водню на структуру та властивості на основі кремнію

31. Металлургия алюминия

32. Термическое окисление кремния

Ретро-кружка "Photo".
Фокусируйтесь на главном: на объекте в прицеле фотокамеры, на важных делах, на горячем кофе. Невозможно выстроить идеальную композицию без
850 руб
Раздел: Кружки
Трусики для мальчиков "Moony" (44 штуки), 9-14 кг.
Вся поверхность трусиков "дышит" благодаря мягкой пористой структуре материала. Влага не скапливается и в области пояса
1599 руб
Раздел: Обычные
Дополнительный набор "Что мне надеть".
Игра представляет собой традиционную и любимую многими поколениями девочек игру, позволяющую менять наряды на нарисованной кукле,
315 руб
Раздел: Игры на магнитах

33. Автоматизация процесса электролиза алюминия на примере ИркАЗ-РУСАЛ

34. Сквозные нанопористые структуры из оксида алюминия для информационных технологий мембранной биологии

35. Алюминий

36. Алюминий и его сплавы

37. Влияние дисперсности алюминия и каталитических добавок на характеристики горения систем на основе активного горючего-связующего

38. Кинетические закономерности электрохимического окрашивания анодных оксидных пленок на алюминии и его сплавах
39. Химические соединения на основе кремния и углерода
40. Получение хлора при электролизе хлорида алюминия

41. Воздействие ОАО "Волгоградский алюминий" на состояние окружающей среды и здоровье населения в Волгограде

42. Комплексный анализ современных ландшафтов и их эволюции на территории Катангского плато

43. Формы пользования и владения землей в России. Плата за землю

44. Заработная плата

45. Организация заработной платы на предприятии

46. Личность Греча Н.И. в отечественной журналистике XIX века (на материалах электронных версий печатных изданий XIX века)

47. Развитие архитектуры материнских плат для PC

48. Современные системные платы

Настольный прибор "Календарь с часами".
Календарь с часами и калькулятором. Цвет: серебряный.
333 руб
Раздел: Часы настольные
Цветные карандаши, 12 цветов, в пластиковом пенале.
Первый гибкий пенал для карандашей. Изящное решение: с растягивающимся тубусом. Пенал легко превращается в стаканчик для карандашей.
360 руб
Раздел: 7-12 цветов
Мельница для перца "Mayer & Boch".
Элегантный современный дизайн - мелющий механизм изготовлен из первоклассной нержавеющей стали - регулируемая грубость помола! Стильный и
521 руб
Раздел: Солонки, перечницы

49. Расчет платы за выбросы загрязняющих веществ в атмосферу от передвижных источников

50. Материалы печатных плат (фольгированные стеклотекстолит и гетинакс)

51. Разработка модели повседневного платья

52. Разработка процесса изготовления печатной платы

53. Разработка технологического процесса изготовления печатной платы для широкодиапазонного генератора импульсов

54. Методы и алгоритмы компоновки, размещения и трассировки печатных плат
55. Разработка конструкции и технологии изготовления печатного узла
56. Трассировка печатной платы

57. Учет труда и заработной платы

58. Расчет заработной платы

59. Заработная плата, её начисление, налоги с заработной платы

60. Учёт и аудит заработной платы

61. Заработная плата в РФ

62. Анализ заработной платы на предприятии

63. Планирование труда и заработной платы

64. Организация заработной платы на предприятии

Жидкие песочные часы (зеленые).
Часы на 3 минуты. Материал: стекло.
383 руб
Раздел: Часы песочные
Доска магнитно-маркерная, А3, 342x484 мм.
Размер: 342x484 мм. Белое лаковое покрытие. Материал рамки: МДФ. Размер внутри рамки: 302х444 мм. Для формата А3.
481 руб
Раздел: Доски магнитно-маркерные
Мантоварка алюминиевая, 3 сетки, 6 л.
Мантоварка, алюминиевая, 3-х уровневая. Размеры: длина - 28 см, ширина - 29 см. Мантоварка имеет 3 съемные сетки. Пригодна для
1383 руб
Раздел: Скороварки, пароварки, мантоварки

65. Планирование труда и заработной платы

66. Теория заработной платы

67. Системы заработной платы

68. Анализ организационно-технических и социально-экономических мероприятий по улучшению использования трудовых ресурсов и фонда заработной платы

69. Заработная плата, цена и прибыль

70. Организация заработной платы на предприятии
71. Управление трудом и заработной платой
72. Теория заработной платы

73. Эстетика печатной полосы и современное состояние газетного дизайна

74. Баллада А. фон Платена «Klaglied Kaiser Otto des Dritten» и традиция духовной песни

75. Бюджет редакции печатного периодического издания

76. Тетрадь на печатной основе как средство обучения физике

77. Схема: «Как не платить налог на доходы в случае выплаты дивидендов?»

78. О порядке определения и способе установления ставок платы за землю поселений

79. Плата за землю

80. Закон о плате на землю

Пленка-заготовка для ламинирования, 100 штук, для формата А4.
Пленка для ламинирования - двойной пакет из пленки, спаянный с одной стороны (содержание полиэстера > 50%). Документ вкладывается между
640 руб
Раздел: Тонеры, термопленки
Качели деревянные подвесные "Гном" с мягким сиденьем.
Качели деревянные подвесные "Гном" с мягким сиденьем. Каркас качель из массива натурального дерева-берёзы, а сиденье с жёсткой
1292 руб
Раздел: Качели для дома
Увлекательная настольная игра "Этажики".
Новая игра "Этажики" помогает легко и весело осваивать сложение, вычитание, счёт в уме. В ней игрокам предстоит путешествовать
790 руб
Раздел: Внимание, память, логика

81. Разработка конструкции и технологии изготовления печатного узла

82. Разработка процесса изготовления печатной платы

83. Разработка технологического процесса сборки и монтажа печатной платы «Пульт ДУ»

84. Печатная реклама

85. Печатная реклама

86. За что вы платите деньги своему пиарщику
87. Проект организации производства в печатном цехе.
88. Технология сборки и монтажа печатных плат

89. Системы заработной платы, гарантии и компенсации

90. Незаслуженный отпуск: как платить налоги?

91. Рынок труда и заработная плата

92. Бухгалтерский учет: заработная плата

93. Понятие заработной платы

94. О реформе заработной платы

95. Основные формы и системы заработной платы

96. Заработная плата

Набор мебели "Хочу все знать" (стол + стул пластмассовый).
Комплект складной. Подходит для кормления, игр и обучения. Поверхность столешницы ламинированная с нанесением ярких познавательных
1169 руб
Раздел: Наборы детской мебели
Штопор электрический "Mayer & Boch".
Настоящий штопор относится к электрическому типу. Способ работы: надеть цилиндр устройства на бутылку сверху и нажать кнопку.
1050 руб
Раздел: Штопоры
Кармашек в шкафчик Антей "Космос".
Ваш малыш вырос и ходит в детский сад! Его вещи будут всегда на своем месте в шкафчике в детском саду, если у него есть "Кармашек в
595 руб
Раздел: Прочие

97. Заработная плата (на примере самэпидстанции города Пятигорска)

98. Организация и планирование ОКР. Расчет затрат и цены. Расчет заработной платы

99. Плата за недра в Краснодарском крае


Поиск Рефератов на сайте za4eti.ru Вы студент, и у Вас нет времени на выполнение письменных работ (рефератов, курсовых и дипломов)? Мы сможем Вам в этом помочь. Возможно, Вам подойдет что-то из ПЕРЕЧНЯ ПРЕДМЕТОВ И ДИСЦИПЛИН, ПО КОТОРЫМ ВЫПОЛНЯЮТСЯ РЕФЕРАТЫ, КУРСОВЫЕ И ДИПЛОМНЫЕ РАБОТЫ. 
Вы можете поискать нужную Вам работу в КОЛЛЕКЦИИ ГОТОВЫХ РЕФЕРАТОВ, КУРСОВЫХ И ДИПЛОМНЫХ РАБОТ, выполненных преподавателями московских ВУЗов за период более чем 10-летней работы. Эти работы Вы можете бесплатно СКАЧАТЬ.