Библиотека Рефераты Курсовые Дипломы Поиск
Библиотека Рефераты Курсовые Дипломы Поиск
сделать стартовой добавить в избранное
Кефирный гриб на сайте za4eti.ru

Радиоэлектроника Радиоэлектроника

Технология получения монокристаллического Si

Совок №5.
Длина совка: 22 см. Цвет в ассортименте, без возможности выбора.
18 руб
Раздел: Совки
Фонарь желаний бумажный, оранжевый.
В комплекте: фонарик, горелка. Оформление упаковки - 100% полностью на русском языке. Форма купола "перевёрнутая груша" как у
87 руб
Раздел: Небесные фонарики
Горшок торфяной для цветов.
Рекомендуются для выращивания крупной рассады различных овощных и цветочных, а также для укоренения саженцев декоративных, плодовых и
7 руб
Раздел: Горшки, ящики для рассады

Московский Государственный Технический Университет им. Баумана Физико-химические основы технологии электронных средств Реферат на тему: Технология получения монокристаллического Si Преподаватель: Григорьев Виктор Петрович Студент: Малов М.С. Группа: РТ2-41 Москва 2004 План: Полупроводниковая технология 3 Кремний кристаллическая решетка кремния 4 дефекты реальных кристаллов кремния 4 Этапы производства кремния 9 Получение технического кремния 10 Получения трихлорсилана (ТХС) 11 Очистка ТХС 13 Другие методы получения газовых соединений Si 15 Восстановление очищенного трихлорсилана 16 Получение поликристаллических кремния из моносилана SiH4 18 Производство монокристаллов кремния 20 Метод Чохральского 20 Бестигельной зонной плавки (БЗП) 26 Литература 30 Полупроводниковая технология начала свое становление с 1946 года, когда Бардин и Шокли изобрели биполярный транзистор. На первом этапе развития микроэлектронного производства в качестве исходного материала использовался германий. В настоящее время 98 % от общего числа интегральных схем изготавливаются на основе кремния. Кремниевые полупроводниковые приборы по сравнению с германиевыми имеют ряд преимуществ: . Si p- переходы обладают низкими токами утечки, что определяет более высокие пробивные напряжения кремниевых выпрямителей; . у кремния более высокая, чем у Ge область рабочих температур (до 150 и 70 градусов Цельсия соответственно); . кремний является технологически удобным материалом: его легко обрабатывать, на нем легко получать диэлектрические пленки SiO2, которые затем успешно используются в технологических циклах; . кремниевая технология является менее затратной. Получение химически чистого Si в 10 раз дешевле, чем Ge. Вышеперечисленные преимущества кремниевой технологии имеют место в связи со следующими его особенностями: . большое содержание кремния в виде минералов в земной коре (25 % от ее массы); . простота его добычи (содержится в обычном речном песке) и переработки; . существование "родного" не растворимого в воде окисного слоя SiO2 хорошего качества; . большая, чем у германия ширина запрещенной зоны (Eg = 1.12 эВ и Eg = 0.66 эВ соответственно). Кремний Кремний обладает алмазоподобной кристаллической решеткой, которая может быть представлена в виде двух взаимопроникающих гранецентрированных решеток. Параметр решетки - 0.54 нм, кратчайшее расстояние между атомами - 0.23 нм. Легирующие атомы замещают атомы кремния, занимая их место в кристаллической решетке. Основными легирующими атомами являются фосфор (5ти валентный донор замещения) и бор (3-х валентный акцептор замещения). Их концентрация обычно не превышает 10-8 атомных процента. Реальные кристаллы отличаются от идеальных следующим: . они не бесконечны и поверхностные атомы обладают свободными связями . атомы в решетке смещены относительно идеального положения в следствие термических колебаний . реальные кристаллы содержат дефекты С точки зрения размерности выделяют следующие типы дефектов реальных кристаллов: . Точечные дефекты К точечным дефектам относятся: . дефекты по Шоттки, . дефекты по Френкелю, . атомы примеси в положении замещения, .

атомы примеси в междоузлии. Дефект по Шоттки представляет собой вакансию в кристаллической решетке. Вакансия образуется, как правило, на поверхности кристалла. При этом атом или покидает решетку или остается с ней связанным. В дальнейшем вакансия мигрирует в объем кристалла за счет его тепловой энергии. В условиях термодинамического равновесия концентрация этих дефектов Ш задается уравнением Ш= C exp(-W/k ), где C - константа, W - энергия образования данного вида дефекта. Для кремния значение W= 2,6 эВ. Дефект по Френкелю представляет собой вакансию и междоузельный атом. Концентрация этих дефектов вычисляется также по формуле, но с большим значением энергии образования междоузельного атома W= 4,5 эВ. Вакансия и междоузельный атомы перемещаются внутри решетки за счет тепловой энергии. Возможно внедрение примесных атомов в кристаллическую решетку. При этом атомы примеси, находящиеся в положении замещения, создают энергетические уровни в запрещенной зоне полупроводника. Атомы примеси, находящиеся в междоузлиях, не создают этих уровней, но влияют на механические свойства полупроводника. . Линейные дефекты К линейным дефектам относятся: . краевая дислокация . винтовая дислокация Краевые дислокации возникают за счет параллельного смещения атомов одной плоскости относительно другой на одинаковое расстояние b в направлении параллельном возможному перемещению дислокации. Винтовые дислокации также возникают за счет смещения атомных плоскостей, но атомы смещаются на разные расстояния в направлении перпендикулярном перемещению дислокации. Оба типа дефектов образуются за счет механических напряжений, существующих в кристалле, и обусловлены градиентом температуры или большой концентрации примесных атомов. Краевые дислокации в кристаллах, используемых для производства ИС, как правило, отсутствуют. . Поверхностные дефекты К поверхностным дефектам относятся: . границы зерен монокристаллов, . двойниковые границы. Двойникование - изменение ориентации кристалла вдоль некоторой плоскости, называемой плоскостью двойникования BC (см. рис. 1). Эти дефекты возникают в процессе роста в определенных частях кристаллического слитка. Для производства ИС такие кристаллы не используют, их отбраковывают. . Объемные дефекты в кремнии Одним из проявлений трехмерных нарушений в кристаллической решетке являются микродефекты и преципитаты (фаза, в которой выделяются примесные атомы, в случае превышения уровня растворимости в веществе при данной температуре). При росте кристаллов кремния с очень низкой плотностью дислокаций возникает тип дефектов, которые, вероятно, характерны исключительно для полупроводниковых кристаллов и в настоящее время интенсивно исследуются. Из-за малого размера их называют микродефектами. Картина распределения микродефектов в поперечном сечении кристалла обычно имеет вид спирали, поэтому ее называют swirl-картиной. Swirl по-английски означает "воронка, спираль". Swirl-картина обнаруживается и в кристаллах выращенных по методу Чохральского и в кристаллах зонной плавки независимо от их кристаллографической ориентации. Впервые такие дефекты наблюдались при избирательном травлении пластин бездислокационного кремния.

В них обнаружены дефекты, отличающиеся от дислокаций, дефектов упаковки, двойников, преципитатов и межзеренных границ. Они давали фигуры травления, названные "некристалографическими" или "пустыми" ямками травления. Некристаллографические ямки не имеют определенной ориентации относительно кристалла или друг друга. Они имеют плоское дно и, следовательно, обусловлены вытравливанием локализованных, приблизительно сферических дефектов, отличных от дислокаций, которые являются линейными дефектами и дают при травлении "глубокие" ямки в местах своего выхода на поверхность. В исследованных кристаллах с помощью рентгеновской топографии и избирательного травления были идентифицированы два типа микродефектов, отличающихся по размеру и концентрации. Микродефекты большого размера, названные А - дефектами, располагаются главным образом в областях, удаленных от поверхности кристалла и от краев пластин. Микродефекты меньшего размера (В - дефекты) наблюдаются во всем объеме кристалла вплоть до самой боковой его поверхности. Этапы производства кремния Технология получения монокристаллов полупроводникового кремния состоит из следующих этапов: 1. получение технического кремния; 2. превращение кремния в легколетучее соединение, которое после очистки может быть легко восстановлено; 3. очистка и восстановление соединения, получение кремния в виде поликристаллических стержней; 4. конечная очистка кремния методом кристаллизации; 5. выращивание легированных монокристаллов Основные этапы производства кремния Получение технического кремния Исходным сырьем для большинства изделий микроэлектронной промышленности служит электронный кремний. Первым этапом его получения является изготовление сырья, называемого техническим (металлургическим) кремнием. Этот технологический этап реализуется с помощью дуговой печи с погруженным в нее электродом. Печь загружается кварцитом SiO2 и углеродом в виде угля, щепок и кокса. Температура реакции Т = 1800 0С, энергоемкость W = 13 кВт/час. В печи происходит ряд промежуточных реакций. Результирующая реакция может быть представлена в виде: SiC(тв) SiO2(тв) > Si(тв) SiO2(газ) CO(газ) (1) Получаемый таким образом технический кремний содержит 98 —99 % Si, 1 —2 % Fe, Аu, В, Р, Са, Cr, Cu, Mg, M , i, i, V, Z и др. Получения трихлорсилана (ТХС) Современная технология поликристаллического кремния основана на процессе водородного восстановления трихлорсилана, восстановления тетрахлорида кремния цинком и пиролиза моносилана, Большую часть кремния (около 80 %) получают путем водородного восстановления трихлорсилана (ТХС). Достоинства этого процесса — легкость и экономичность получения ТХС, эффективность очистки ТХС, высокое извлечение и большая скорость осаждения кремния (извлечение кремния при использовании тетрахлорида кремния составляет 15 %, а при использовании ТХС — не менее 30 %), меньшая себестоимость продукции. Трихлорсилан обычно получают путем гидрохлорирования кремния: взаимодействием технического кремния с хлористым водородом или со смесью газов, содержащих хлористый водород, при температуре 260—400 °С. Процесс синтеза трихлорсилана сопровождается побочными реакциями образования тетрахлорида кремния и других хлорсила-нов, а также галогенидов металлов, например АlСl3, ВСl3, FeCl3 и т.д

Всё будет зависеть лишь от того, каким операциям, какому технологическому процессу будет подвергнут на фабрике один и тот же чайный лист. Но помимо того что каждому типу готового чая соответствует своя технология, даже для производства одного и того же типа можно предложить разные технологические схемы. Поскольку в каждой стране исследователи идут в своих работах разными путями, по-разному используют новое и традиционное в чайном производстве, то и технология получения готового чая в разных странах и даже в разных районах одной и той же страны бывает различной. Это зависит, разумеется, не только от научных рекомендаций и традиций, но и от некоторых различий в характере чайного сырья (т.е. свежего чайного листа), а также от производственных секретов чаепроизводящих фирм. Главное, к чему стремится современная технология, — предельно точно и строго научно определить, что и как влияет на качество готового сухого чая, на образование его аромата и вкуса, на сохранение в нём полезных для человека веществ, на стойкость чая при хранении

1. Разработка технологии получения пористых керамических материалов с использованием отходов переработки бурых углей

2. Разработка технологии получения отливок «корпус» из сплава МЛ5 в условиях массового производства

3. Классификация вин. Технология получения сусла

4. Анализ влияния химического состава и технологии получения на жаропрочность металлов и сплавов

5. Технология получения масел и парафинов

6. Технология получения полисахарида хитозана из хитина, выделяемого из панцирей ракообразных
7. Усовершенствование технологии получения изделий из полиамида методом литья под давлением
8. Технология получения лизина

9. Совершенствование технологии получения прядильного раствора в производстве ПАН волокон

10. Исследование взаимосвязи электрофизических параметров кремния полученного методом карботермического восстановления от технологии его получения

11. Способы предварительной подготовки топлива и исходных материалов, применяемых в доменном производстве для получение чугуна

12. Получение сверхчистых материалов для микроэлектроники

13. Проектирование технологии ремонта гидроцилиндров с использованием полимерных материалов

14. Технология восстановления гидроцилиндров полимерными материалами

15. Технология флексографской печати на упаковочных материалах

16. Компьютерные технологии как инструмент получения новой информации о строении океанических разломов

Швабра "York. Salsa", с рукояткой.
Сменную насадку Вы замените быстро и без особых хлопот. На конце черенка - пластиковый подвес-держатель. Черенок пластиковый, насадка -
452 руб
Раздел: Швабры и наборы
Набор мисок Mayer & Boch "Фиалки".
Набор эмалированных мисок из 10 предметов: миска (5 штук) + крышка (5 штук). Материал: углеродистая сталь. Эмалированное покрытие. Крышка:
487 руб
Раздел: Наборы
Накладка на унитаз "Бегемотик", белая.
Накладка на унитаз подходит ко всем стандартным туалетам. Кроме того, благодаря краям предотвращающим скольжение легко и твердо
302 руб
Раздел: Сиденья

17. Системы технологий промышленности. Строительные материалы

18. Разработка бизнес-плана для получения кредита в коммерческом банке для модернизации технологии переработки руды на гидрометаллургическом заводе

19. Методология выбора материалов и технологий в машиностроении

20. Применение порошковой металлургии в промышленности.Свойства и получение порошковых материалов

21. Разработка технологии электротермического получения силикоалюминия с использованием малозольных восстановителей

22. Технология и оборудование производства изделий из пластмасс и композиционных материалов
23. Технология конструкционных материалов
24. Технология обработки конструкционных материалов

25. Материаловедение и технология конструкционных материалов

26. Породы древесины. Технология теплоизоляционных материалов, пластмасс, железобетонных изделий

27. Современные технологии производства строительных материалов. Проблемы таможенного контроля

28. Фазовые диаграммы как средство описания взаимодействия различных материалов. Основные фазовые диаграммы с участием кремния

29. Исследование и разработка технологии шумопонижающих материалов различного функционального назначения

30. Химические методы получения порошкообразных материалов и извлечения железа

31. Получение первичных профессиональных навыков по вычислительной технике, технологии и организации производства.

32. Новые и сверхновые звезды (Доклад)

Ручка гелевая "BLGP-G1-5", синяя, 0,3 мм, 3 штуки.
Гелевая ручка Pilot имеет пластиковый корпус с резиновой манжеткой, которая снижает напряжение руки. Стержень с чернилами синего цвета в
345 руб
Раздел: Синие
Каталка детская "Mercedes-Benz SLS AMG С197" (белая).
Каталка "Mercedes-Benz SLS AMG С197" - это легкая пластиковая каталка для детей от года. Она может использоваться как дома, так
2590 руб
Раздел: Каталки
Универсальный стиральный порошок "Meine Liebe", концентрат, 1000 г.
Предназначен для стирки цветного и белого белья во всех типах стиральных машин при температурах от 30 С до 90 С, а так же для ручной
438 руб
Раздел: Стиральные порошки

33. Kитообразные и их особенности (Доклад)

34. Подсолнечник (Доклад)

35. Получение моноклональных антител

36. Правила приема в военно-учебные заведения (Доклад)

37. Народы Украины, Молдовы, Белоруссии (Доклад)

38. Газовая промышленность (Доклад)
39. Италия: географические особенности и экономика (Доклад)
40. Народы Европейской части РФ (Доклад)

41. Реки России (Доклад)

42. Сельское хозяйство в Индии и Китае (Доклад)

43. Таиланд (Доклад)

44. Чили (Доклад)

45. Зарубежный опыт государственного регулирования рыночной экономики на примере Франции (Доклад)

46. Межбанковские отношения на основе использования высоких технологий интербанковских телекоммуникаций

47. Мусульманское право (Доклад)

48. Доклад: Страны мира во второй половине XX века. Франция.

Комплект постельного белья 1,5-спальный "Hello Kitty" (с наволочкой 50х70 см).
Добро пожаловать в мир популярных персонажей, супергероев и сказочных существ. Постельное белье для мальчиков и девочек украсит интерьер и
2453 руб
Раздел: Детское, подростковое
Матовая двусторонняя бумага для струйных принтеров "Lomond", 130 г/м2, 100 листов, А4.
Матовая бумага идеально подходит для печати изображений (например, иллюстрированных текстов), которые не должны утомлять глаз, но уступают
495 руб
Раздел: Фотобумага для цветной печати
Точилка механическая "KW-Trio", с контейнером, 1 отверстие.
Точилка механическая, с контейнером, 1 отверстие, 12 мм.
1751 руб
Раздел: Точилки

49. Внешнеэкономические сделки: правовое регулирование и коллизии (Доклад)

50. Типы государства (Доклад)

51. Notiunea de putere de stat si putere politica1

52. Переводческая эквивалентность в текстах газетно-информационных материалов

53. Разработка технологии по изготовлению книжного издания по искусству

54. Художественная обработка материалов животного происхождения в Приамурье
55. Роль техники и технологии в процессе развития культуры
56. Жизнь и творчества Лопе де Вега. Художественные особенности творчества на материале пьесы "Собака на сене"

57. Александр Трифонович Твардовский (Доклад)

58. Лексическая эквивалентность при переводе художественного текста с нидерландского языка на русский. Особенности перевода метафор. (на материале перевода отрывка из романа Анны Энквист "Тайна")

59. Языковой портрет современного сибирского города: опыт сопоставления (на материале Новокузнецка и Красноярска)

60. Конфликт литературного произведения. На материале драмы М. Ю. Лермонтова "Маскарад"

61. Конспект критических материалов. Русская литература 2-й четверти XIX века

62. Опускаясь в смысл былого, познаем смысл настоящего и будущего (по материалам "Слова о полку Игореве"и современным исследованиям политологов)

63. Прагматическая адаптация при переводе газетно-информационных материалов

64. Владение новыми музыкальными технологиями - необходимое условие в профессиональной подготовки учителя музыки

Чайник со свистком ЕМ-25001/17, (2,5 л).
Внешнее высокопрочное японское эмалевое покрытие. Внутреннее эмалевое покрытие, устойчивое к воздействию пищевых кислот. Зачерненное дно с
979 руб
Раздел: Чайники эмалированные
Автокресло Еду-Еду "KS-516 Lux" с вкладышем (цвет: синий, принт: графити, 9-36 кг).
Для всех родителей очень важно обеспечить безопасность и комфорт во время поездки своему ребенку. В этом нам поможет детское автокресло
3873 руб
Раздел: Группа 1/2/3 (9-36 кг)
Патронташ со стопками.
Охотнику, туристу, болельщику и просто любителю спонтанных праздников это изобретение может весьма пригодиться. Набор удобных пластиковых
554 руб
Раздел: Прочее

65. Биография Джеральда Даррелла (Доклад)

66. Иван Сергеевич Тургенев. Жизнь и творчество (Доклад)

67. "Восток и Запад: общее и особенное" (На материале истории Древнего мира и Европейского средневековья)

68. Материалы семинарских занятий по истории (с IX по 30гг. XX веков)

69. Образ иноплеменников по Повести временных лет (1060-1110) ([Доклад])

70. Московский Кремль (Доклад)
71. Ctp-технология, глубокая печать, брошюровочно-переплетные процессы
72. Безопасность информационных технологий

73. Технология ADSL

74. Информационные технологии в экономике. Информационная безопасность в сетях ЭВМ

75. Основы информационных технологий

76. Реализация сетевых компьютерных технологий в системе международного маркетинга /Интернет-Маркетинг/

77. Безопасность информационных технологий

78. Проблемы использования и пути развития интернет-компьютерных технологий в России

79. Использование Интернет-технологий для обеспечения информативности населения

80. Компьютерные сети Информационных технологий

Циркуль металлический "Stop System" с грифелем 2 мм.
Эксклюзивная инновация. Кронцепция Stop System фиксирует штанги циркуля в нужном положении, предотвращая их нежелательное смещение, и
357 руб
Раздел: Циркули, чертежные инструменты
Игра "Зайкина горка" №1, классические цвета.
«Зайкина горка» – это увлекательное занятие: лабиринт для разноцветных шариков. Веселые шарики катаются по лабиринту горки и развлекают
530 руб
Раздел: Сортеры, логические игрушки
Дырокол на 2-3-4 отверстия, 10 листов, черный.
Дырокол на 2-3-4 отверстия. Расстояние между отверстиями регулируется. Толщина прокола: до 10 листов. Материал: металл. Цвет корпуса: черный.
547 руб
Раздел: Дыроколы

81. Технология PLC (Power Line Communication)

82. Особенности представления в Интернет материалов по искусству

83. Новые технологии в организации PC

84. Использование компьютерных технологий в деятельности ОВД

85. Лекции по информационным технологиям

86. Основные технологии накопителей на магнитной ленте
87. Технология беспроводной передачи информации на примере технологии Bluetooth
88. Технология BlueTooth

89. Технология разработки программного обеспечения

90. Кибернетика (Доклад)

91. Информационные технологии в экономике. Разработка информационных технологий.

92. Получение уравнения переходного процесса по передаточной функции

93. Информационные технологии

94. VB, MS Access, VC++, Delphi, Builder C++ принципы(технология), алгоритмы программирования

95. Информационные системы и технологии

96. Учебник по технологии программирования

Подставка для ножей овальная, 16x6,5x22 см.
Размеры: 16х6,5х22 см. Материал корпуса: пластик. Внутренняя часть: полипропиленовое волокно. Цвет: бежевый. Предназначена для безопасного
822 руб
Раздел: Подставки для ножей
Форма силиконовая для выпечки "Пряничный домик" (арт. TK 0231).
Вы в восторге от европейских рождественских ярмарок? Хотите, чтобы и в Вашем доме почаще царила атмосфера волшебства? С помощью
503 руб
Раздел: Формы и формочки для выпечки
Карандаши цветные "Замок", 60 цветов.
Яркие, насыщенные цвета. Отстирываются с большинства обычных тканей. Специальная технология вклеивания (SV) предотвращает поломку
1510 руб
Раздел: Более 24 цветов

97. Новые технологии. Microsoft Office XP

98. Комплексные числа и действия с ними (Доклад)

99. Технология производства молока


Поиск Рефератов на сайте za4eti.ru Вы студент, и у Вас нет времени на выполнение письменных работ (рефератов, курсовых и дипломов)? Мы сможем Вам в этом помочь. Возможно, Вам подойдет что-то из ПЕРЕЧНЯ ПРЕДМЕТОВ И ДИСЦИПЛИН, ПО КОТОРЫМ ВЫПОЛНЯЮТСЯ РЕФЕРАТЫ, КУРСОВЫЕ И ДИПЛОМНЫЕ РАБОТЫ. 
Вы можете поискать нужную Вам работу в КОЛЛЕКЦИИ ГОТОВЫХ РЕФЕРАТОВ, КУРСОВЫХ И ДИПЛОМНЫХ РАБОТ, выполненных преподавателями московских ВУЗов за период более чем 10-летней работы. Эти работы Вы можете бесплатно СКАЧАТЬ.