Библиотека Рефераты Курсовые Дипломы Поиск
Библиотека Рефераты Курсовые Дипломы Поиск
сделать стартовой добавить в избранное
Кефирный гриб на сайте za4eti.ru

Компьютеры, Программирование Компьютеры, Программирование     Компьютерные сети Компьютерные сети

Микроинтерферометрия для контроля и оценки трехмерных дефектов

Пакеты с замком "зиплок" (гриппер), комплект 100 штук.
Быстрозакрывающиеся пакеты с замком "зиплок" предназначены для упаковки мелких предметов, фотографий, медицинских препаратов и
155 руб
Раздел: Гермоупаковка
Ночник-проектор "Звездное небо и планеты", фиолетовый.
Оригинальный светильник - ночник - проектор. Корпус поворачивается от руки. Источник света: 1) Лампочка (от карманных фонариков) 2) Три
330 руб
Раздел: Ночники
Карабин, 6x60 мм.
Размеры: 6x60 мм. Материал: металл. Упаковка: блистер.
42 руб
Раздел: Карабины для ошейников и поводков

БЕЛОРУССКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ ИНФОРМАТИКИ И РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ Кафедра ЭТТ РЕФЕРАТ На тему: «Микроинтерферометрия для контроля и оценки трехмерных дефектов» МИНСК, 2008 Для контроля рельефа поверхности и оценки размера трёхмерных дефектов на поверхности наиболее пригодны методы интерферометрии. Основным прибором, использующим интерферометрический принцип при измерениях высоты, глубины, профиля элементов микроструктур и толщины плёнок, является широко известный микроинтерферометр Линника МИИ-4 (рис.1), принцип действия которого основан на сравнении световых волн, получаемых при отражении когерентных пучков света от контролируемой и эталонной поверхностей. Свет от источника 1 проходит через конденсор 2 и диафрагму 3. Зеркало 4 делит его на два когерентных пучка, один из которых фокусируется объективом 5 на эталонное зеркало 6, а другой объективом 5' на контролируемую поверхность 7. После отражения от эталона и изделия пучки проходят через те же элементы схемы и фокусируются линзой 8 в плоскости диафрагмы 9, в которой с помощью окуляра 10 наблюдают интерференционную картину 11 взаимодействия эталонного и рабочего пучков света. При этом наблюдают чередующиеся светлые и тёмные полосы интерференции, искривлённые в соответствии с профилем исследуемой поверхности. Кривизну полос измеряют, например, с помощью окуляр-микрометра. Она является количественной характеристикой микронеоднородностей поверхности изделия: искривление на одно расстояние между одноцветными полосками соответствует глубине или высоте дефекта, равной одному периоду световых колебаний или в линейном размере  - длине волны используемого света. Рис. 1. Оптическая схема микроинтерферометра Линника: 1 - осветитель; 2 - конденсор; 3,9 - диафрагмы; 4 – светоделительное полупрозрачное зеркало; 5,5' - микрообъективы; 6 - эталонное зеркало; 7 - исследуемая поверхность; 8-10 - окуляр; 11 - наблюдаемая интерферограмма Интерференционным способом производится измерение неплоскостности стеклянных пластин фотошаблонов. Этому способствует высокая чистота поверхности стекол, позволяющая получить чёткую интерференционную картину. Этим способом исследуется поверхность полированных полупроводниковых пластин. Для этого используют призменный интерферометр, изображённый на рис.2. С его помощью может быть измерена неплоскостность (прогиб) пластин и некоторые поверхностные дефекты. Рис. 2. Схема призменного интерферометра: 1 - полупроводниковая пластина; 2 - стеклянная призма; 3 - экран (матовое стекло); 4 - лазер; 5,6 - коллиматор; 7 - регулировочный винт; 8 - вакуумный прижимной столик Интерференционная картина выводится на телевизионный экран (рис. 3). Отклонение определяется по числу интерференционных полос (колец) на экране телевизионного интерферометра (рис. 4). Рис. 3. Интерферограммы на экране телевизионного интерферометра Рис. 4. Внешний вид цифрового телевизионного интерферометра Zygo Mark IIКонтроль толщины диэлектрических плёнок интерференционными методами. В технологии производства ИС для ЭА и СМЭ на основе кремния операция термического окисления стоит на первом месте в цепи технологических операций по созданию топологического рисунка.

Далее в ходе изготовления ИС эта операция повторяется несколько раз. Толщина слоя диэлектрика редко превышает 1 мкм и обычно находится в пределах 0,1-0,6 мкм. Учитывая задачу контроля толщины, следует отметить, что стабилизация скорости термических процессов осаждения плёнок технически сложна, и если возможна, то при наличии сигнала обратной связи, информирующего о наращиваемой толщине. С учётом высоких температур и кислородной среды наиболее перспективными для указанных процессов являются неконтактные оптические способы измерений, использующие явление интерференции в плёнке: метод отражательной интерференции с автоматическим отсчётом толщины плёнки и с визуальным цветовым контролем. Метод отражательной интерференции основан на регистрации интерференции отраженных от подложки с пленкой когерентных лучей света с известной длиной волны и определении толщины наносимой пленки по интенсивности суммарного светового потока. Он заключается в следующем. На поверхность подложки с плёнкой направляется луч света от монохроматического источника (обычно лазера). На поверхности раздела «окружающая среда - плёнка - подложка» луч претерпевает отражение и преломление (рис. 5). Отражённый от поверхности плёнки луч I1 и вышедший из неё луч I2 имеют оптическую разность хода, пропорциональную удвоенной толщине контролируемой плёнки S = 2(AD DC) - 1BC ~ 2h . При нормальном падении луча I0 S = 2h 2 . Для первого гашения выходного пучка света в результате интерференции лучей I1 и I2 необходимо условие S = /2 , откуда можно определить толщину плёнки: h = /4 2 . Рис. 5. Ход лучей в системе «плёнка-подложка» при измерении толщины плёнки Это лежит в основе принципа действия лазерного интерференционного прибора для контроля толщины диэлектрических плёнок в процессе их нанесения (рис. 6). Суммарный оптический сигнал после интерференции этих лучей в процессе роста плёнки будет иметь осциллирующую форму (рис.7). Этот сигнал регистрируется и преобразуется в электрический с помощью фотоприёмника. Процесс наращивания диэлектрического слоя контролируют по зависимости I=f( ), которая регистрируется либо самописцем, либо графическим дисплеем с памятью. Толщине наносимой плёнки, соответствующей расстоянию между двумя экстремальными точками экспериментальной зависимости I=f( ), будет соответствовать разность хода лучей I1 и I2, на которой укладывается половина длины волны используемого монохроматического излучения. Отсчитывая временной интервал от начала процесса и зная длину волны источника излучения и показатель преломления 2, по кривой I=f( ) можно регистрировать текущее значение толщины наносимой на подложку плёнки. Рис. 6. Оптическая схема лазерного интерференционного прибора для контроля толщины диэлектрических плёнок: 1 - лазер; 2 - оптическое окно; 3 - трубчатый реактор; 4 - зеркало; 5 - пластина; 6 - ВЧ-индуктор; 7 - графитовый нагреватель; 8 – фотоприёмник Рис. 7. Интенсивность излучения, отражённого от кремниевой пластины в ходе наращивания плёнки Si3 4 1 - начало наращивания; 2 - окончание наращивания;  - временной интервал, соответствующий шагу /4 2 Визуальный цветовой метод контроля.

Цветовой метод контроля основан на свойстве тонких прозрачных плёнок, нанесённых на отражающую подложку, изменять свой цвет в зависимости от толщины. В основе этого свойства лежит интерференция световых лучей, отражённых от границы раздела «окружающая среда-плёнка» и «плёнка-подложка», усиливающая световые лучи определенного цвета и гасящая лучи света другого цвета. Данный метод нашёл широкое применение в микроэлектронном производстве благодаря простоте и оперативности контроля. Особенно эффективным цветовой метод является в условиях массового производства при известном технологическом режиме наращивания плёнки. Контроль производится на воздухе после изъятия полупроводниковых пластин из технологической камеры при воспроизводимых условиях освещения и наблюдения. Условие существования интерференционных максимумов в отражённом свете, определяющих цвет пластин с плёнкой, будет следующим: 2h 2 = p , где p = 1,2,3 и т.д. - порядок интерференции. Если в пределах одного и того же порядка интерференции плёнка изменяет свою толщину на h, то длина волны л, соответствующая максимуму отражения, сместится на , т.е. 2 2(h h) = p( ) . Из этих выражений следует, что / = h/h . Ощущаемый глазом цветовой интервал соответствует в среднем 30 нм. Тогда для зелёного цвета (=550 нм) получим h/h=30/550=0.054, т.е. визуальный цветовой метод контроля толщины может иметь относительное разрешение по толщине порядка 5 %. В таблице 1 приводится зависимость цвета термически выращенной плёнки SiO2 от её толщины. При изменении технологии наращивания плёнки цветовая толщина должна быть экспериментально перепроверена и при необходимости откорректирована. Этот же метод применяется и для контроля плёнок фоторезиста. Табл. 1 Голографическая интерферометрия. Современная технология МЭ требует тщательного контроля геометрических параметров изделий как непосредственно в процессе их изготовления, так и после (на стадии выходного контроля). Размерному контролю подвергаются и заготовки будущих изделий. При этом необходимо контролировать размеры и форму изделий, выявлять наиболее нагруженные участки на изделии во время их обработки или эксплуатации, приводящие к механическим деформациям, определять возникающие в них внутренние дефекты. При решении подобных задач нежелательно (или невозможно) расчленять изделие или даже касаться его какими-либо щупами или шаблонами. Эта задача должна решаться с использованием методов бесконтактного (неразрушающего) контроля изделий. Одними из таких методов является голография и голографическая интерферометрия. Голографические измерения по принципу действия являются многоступенчатым процессом: вначале регистрируется голограмма объекта, затем восстанавливается его изображение, а количественная информация получается в результате обработки полученного изображения. Способ регистрации и последующего восстановления изображения объекта основан на интерференции двух волн: волны отражённой или прошедшей через изделие (предметной волны E ) и когерентной с ней опорной волны EO с известным распределением фаз E2 = E2 E2O 2E EOcos( -O).

Список компетенций в документе можно автоматически заполнить (кнопка «Заполнить») по данным о компетенциях, указанных для должности работника. Кнопкой «Анкета» можно открыть типовую анкету для компетенции, выделенной в списке оцениваемых компетенций. После сохранения документа «Аттестация работника» можно при необходимости распечатать оценочные листы для записи оценок компетенций членами аттестационной комиссии или экспертами (кнопка «Оценочный лист»). После проведения документа «Аттестация работника» полученные оценки можно просматривать при помощи отчета «Оценки компетенций работников». Оценить компетенции работников позволит отчет «Оценки компетенции работников». Отчет позволяет группировать информацию в разрезе работников, подразделений, должностей и компетенций. 8.1.1. Инструмент «Аттестация работников» Инструмент позволяет провести основные работы над аттестациями: контроль оценок полученных работниками; назначение аттестации работнику; контроль факта проведения аттестации; анализ распределения оценок для контроля адекватности оценочных мероприятий

1. Контроль и оценка деятельности служащих

2. Проблемы выявления дефектов и характеристики методов неразрушающего контроля

3. Современные методы контроля и оценки знаний школьников

4. Финансовый анализ как инструмент оценки и контроля банковской деятельности

5. Критерии оценки СКУД. Классификация средств и систем контроля. Классификация СКУД

6. Понятие, цели и задачи выставок. Контроль и оценка
7. Рейтинговая система контроля и оценки знаний
8. ОАО "Любанский сыродельный завод": характеристика выпускаемой продукции, оценка экономического состояния, работа по контролю качества

9. Разработка алгоритмов контроля и диагностики системы управления ориентацией космического аппарата

10. Агротехнологическая оценка среднеспелых сортов сои

11. КРАТКИЙ ОЧЕРК ЭКОНОМИЧЕСКОГО И ПОЛИТИЧЕСКОГО РАЗВИТИЯ СССР (1917-1971 Г.) (ВОЕННО-ПОЛИТИЧЕСКАЯ ОЦЕНКА ОТНОШЕНИЙ СССР - ЗАПАД)

12. Оценка инженерной, пожарной и химической обстановок на ОНХ "Маш завод"

13. Оценка химической обстановки

14. Приборы химической разведки и химического контроля

15. Оценка инженерно-геологических и гидрогеологических условий района строительства /Пояснительная записка к геологическому разрезу 2 по карте №5/

16. Контроль Гос. Налоговой Инспекции за деятельностью граждан

Настольная игра "Паника в лаборатории".
Подопытные амёбы разбежались во все стороны, срочно нужно найти их! Все игроки одновременно ищут беглянок по особым приметам — форме,
850 руб
Раздел: Карточные игры
Набор маркеров с системой жидких чернил STABILO Luminator, 4 штуки.
В наборе 4 маркера, цвет: желтый, оранжевый, зеленый, розовый. Его дизайн безупречен и стал признаком хорошего вкуса. Обладатель самых
1147 руб
Раздел: Для творчества, рисования
Папка для труда "Машина и путешествия".
Размер: 325х245 мм. Материал: ткань. Расцветка в ассортименте, без возможности выбора!
322 руб
Раздел: Папки для труда

17. Финансовый контроль в период перехода к рынку

18. Актуальные вопросы государственного контроля соблюдения законодательства о защите прав потребителей

19. Контроль в системе органов государственной власти

20. Правовые основы валютного регулирования и валютного контроля в Российской Федерации

21. Новые принципы осуществления валютного регулирования и валютного контроля в РФ

22. Алгоритмы экономической (кадастровой) оценки городских земель и территориально-экономического зонирования
23. Оценка реформ Петра первого славянофилами и западниками
24. Организация налоговых органов и контроль за уплатой налогов в США и Германии

25. Налоговый контроль в Республике Беларусь и пути его совершенствования

26. Социальная политика Украины и оценка её эффективности

27. Основные проблемы совершенствования государственного аппарата РФ по оценкам российских и зарубежных аналитиков

28. Налоговый контроль, его сущность и значение

29. Налоговый контроль

30. Технические средства таможенного контроля

31. Компетенция таможенных органов в области валютного контроля

32. Контроль государственных и муниципальных органов за делопроизводством отдела кадров на предприятиях

Бэдж на синей ленте, 10 штук.
Вертикальный бэдж на синей ленте. Размер - 87 х 120 мм. Длина ленты - 90 см. Качественная ПВХ-пленка, прочные швы. Комплект - 10 штук.
542 руб
Раздел: Бейджи, держатели, этикетки
Дождевик Bambola для колясок прогулок с ручкой перекидной, пвх.
Прозрачный чехол для коляски - защита от дождя и снега.Выполнен из ПВХ - прочный, не трескается, не мутнеет. Подходит для прогулочных
343 руб
Раздел: Чехлы и дождевики
Кастрюля эмалированная с рисунком (объем 4,5 литра).
Кастрюля эмалированная объемом 4,5 литра с рисунком. Посуда хозяйственная эмалированная используется для приготовления, хранения и
812 руб
Раздел: От 3,1 до 5 литров

33. Методы комплексной оценки хозяйственно-финансовой деятельности

34. Финансовый контроль

35. Финансовый контроль: формы, методы, органы

36. Организация бюджетного контроля

37. Органы государства, осуществляющие финансовый контроль

38. Контроль в обучении поисковому чтению на среднем этапе обучения иностранного языка в школе
39. Стихотворение В. Маяковского "О дряни" (восприятие, анализ, оценка)
40. Павел I в оценках современников

41. Оценка методов и средств обеспечения безошибочности передачи данных в сетях

42. Анализ и оценка аппаратных средств современных ПЭВМ

43. Программа контроля знаний студентов по дисциплине ЭРМ и РК в процессе учебы

44. Управление общежитием, учет прибывших, убывших студентов, контроль над своевременной уплатой сумм за проживание в общежитие

45. Автоматизированная система распределения мест и оценок качества олимпиадных заданий

46. Финансовый контроль и планирование с помощью Excel

47. ТИПИЧНЫЕ ДЕФЕКТЫ В КРИПТОГРАФИЧЕСКИХ ПРОТОКОЛАХ

48. Особенности патологического и эпизоотического процессов при уролитиазе кошек и собак в условиях мегаполиса и контроль за их проявлением

Набор цветных карандашей Trio, 18 цветов.
Тонкий карандаш с трехгранной формой корпуса. Грифель 2,5 мм. 18 цветов.
627 руб
Раздел: 13-24 цвета
Пакеты с вырубной ручкой "Stones & Samson", 50х40 см (50 штук).
Размер: 50х40 см. В упаковке: 50 штук. Материал: полиэтилен (ПВД).
322 руб
Раздел: Узоры
Книга - ежедневник для записей "Дела архиважные".
Линованный блокнот в твёрдом переплёте, обложка которого повторяет оформление популярных в прошлом веке изданий. Названия старинных книг и
352 руб
Раздел: Блокноты оригинальные, шуточные

49. Программированное обучение и контроль по физиологии

50. Санитарно-микробиологические исследования и контроль в лечебно-профилактических учреждении за внутрибольничными инфекциями

51. Индексная оценка пародонтального статуса (на русском и украинском языке)

52. Релапаротомия, вскрытие и дренирование параканкрозного абсцесса, ушивание дефектов толстой кишки, аппендэктомия, санация и денирование брюшной полости

53. Инфекционная безопасность пациента и медработников. Инфекционный контроль

54. ОЦЕНКА ЭКОЛОГИЧЕСКОГО ВОЗДЕЙСТВИЯ НА КАЧЕСТВО ВОДНЫХ РЕСУРСОВ КАЛИНИНГРАДСКОЙ ОБЛАСТИ, В ЗАВИСИМОСТИ ОТ ХАРАКТЕРА ЗАГРЯЗНЕНИЯ (MS Works, ТХТ)
55. Прогнозирование возможной радиационной обстановки и её оценка. Прогнозирование зон радиоактивного заражения местности и внутреннего поражения человека при аварийном выбросе на КАЭС
56. Инженерно-экологическая оценка эксплуатации транспортной развязки кольцевой автодороги возле пос. Горская

57. Разработка системы рейтинг-контроля уровня усвоения знаний студентов

58. Контроль знаний и умений учащихся по математике в школе

59. Методические аспекты использования тестирования для текущего контроля знаний учащихся

60. Автоматизированная система распределения мест и оценок качества олимпиадных заданий

61. Контроль в обучении поисковому чтению на среднем этапе обучения иностранного языка в школе

62. Изучение методов оценки качества масла вологодского

63. Оценка Чеченского конфликта

64. Методики оценки мирового экспорта обычных вооружений

Набор цветных карандашей "Ergosoft", треугольные, 24 цвета.
Набор цветных карандашей треугольной формы. 24 цвета.
1477 руб
Раздел: 13-24 цвета
Звуковой коврик «День и Ночь».
Мы рады представить вашему вниманию новый двухсторонний звуковой коврик «День и ночь» «2 в 1». Коврик легко складывается и удобен при
2175 руб
Раздел: Развивающие коврики интерактивные
Коллаж-ключница с часами, 29x13x5 см, арт. 86203.
Регулярно удалять пыль сухой, мягкой тканью. Размер: 29x13x5 см. Материал: металл, МДФ.
397 руб
Раздел: Часы настенные

65. Анализ и экономическая оценка технологий в цветной металлургии

66. Оценка органов управления оборудования

67. Разработка схемы автоматического регулирования и контроля параметров управления методической печи

68. Анализ и экономическая оценка механообработки

69. Оценка ассортимента и конкурентоспособности автомобилей

70. Критерии оценки уровня продуктивности коммуникативной деятельности психолога-консультанта
71. Обучаемость как принцип оценки умственного развития дошкольников
72. Разработка для контроля и определения типа логических интегральных микросхем методом сигнатурного анализа

73. Микросхемо-техника: Схема контроля дешифратора на три входа /восемь выходов/

74. Разработка средств оценки эффективности алгоритмов поиска и обнаружения целей прицельных радиоэлектронных комплексов

75. Система дистанционного контроля акустического окружения (шумомер)

76. Сравнительная оценка засухоустойчивости мутантных и гибридных форм яблони

77. Агротехнологическая оценка среднеспелых сортов сои

78. Оценка работоспособности молодняка русской верховой породы разных групп кровности

79. Социальный контроль и отклоняющееся поведение

80. Эксперимент как средство оценки качества теоретического знания

Фломастеры "Carioca Joy", 36 цветов.
Количество цветов: 36. Вентилируемый колпачок. Сечение корпуса: круглое. Материал корпуса: PP-корпус.
529 руб
Раздел: Более 24 цветов
Светильник-ночник Старт NL LED "Сказочный город".
Плавно изменяющий цвета ночник создаст яркое и красочное освещение Вашего дома. Интересный и необычный элемент декора не только создаст
418 руб
Раздел: Ночники
Набор "Для первоклассника", 28 предметов.
В наборе: акварель - 1. альбом для рисования - 1. блокнот - 1. доска для лепки - 1. карандаш чернографитный - 2. карандаши цветные -
523 руб
Раздел: Прочее

81. Решение обратной задачи вихретокового контроля

82. Врачебный контроль, его цели и задачи

83. Биохимический контроль в спорте

84. Методы оценки и коррекции осанки и телосложения

85. Анализ и технологическая оценка химического производства

86. Финансовый контроль: формы, методы, органы
87. Договор оценки недвижимости. Отчет об оценке
88. Оценка жилой недвижимости

89. Денежная масса: методы измерения и контроль

90. Методы оценки обыкновенных акций

91. Оценка нематериальных активов

92. Учет, контроль использования материалов на производстве

93. Аудит – форма независимого финансового контроля

94. Аудит как независимая форма контроля

95. Научная организация финансово-хозяйственного контроля и аудита

96. Учёт, контроль и анализ производственных запасов

Карандаши "Artberry", 34 цвета с точилкой.
Треугольные, джамбо. Длина карандаша: 17 см.
859 руб
Раздел: Более 24 цветов
Канистра-бочка, 20 л.
Материал: пластик. Литраж: 20 л. Диаметр горловины: 215 мм. Ширина: 290 мм. Длина: 290 мм. Высота: 300 мм. Форма: прямоугольная.
460 руб
Раздел: Баки, канистры
Мягкий пол универсальный, розовый, 33x33 см (9 деталей).
Данный вид напольного покрытия прекрасно совмещается с ковриками-пазлами "Морские животные", "Листья" и
793 руб
Раздел: Прочие

97. Финансовый контроль ОВД

98. Оценка эффективности расходов бюджета Москвы по ЮАО

99. Оценка и управление основными средствами


Поиск Рефератов на сайте za4eti.ru Вы студент, и у Вас нет времени на выполнение письменных работ (рефератов, курсовых и дипломов)? Мы сможем Вам в этом помочь. Возможно, Вам подойдет что-то из ПЕРЕЧНЯ ПРЕДМЕТОВ И ДИСЦИПЛИН, ПО КОТОРЫМ ВЫПОЛНЯЮТСЯ РЕФЕРАТЫ, КУРСОВЫЕ И ДИПЛОМНЫЕ РАБОТЫ. 
Вы можете поискать нужную Вам работу в КОЛЛЕКЦИИ ГОТОВЫХ РЕФЕРАТОВ, КУРСОВЫХ И ДИПЛОМНЫХ РАБОТ, выполненных преподавателями московских ВУЗов за период более чем 10-летней работы. Эти работы Вы можете бесплатно СКАЧАТЬ.