Библиотека Рефераты Курсовые Дипломы Поиск
Библиотека Рефераты Курсовые Дипломы Поиск
сделать стартовой добавить в избранное
Кефирный гриб на сайте za4eti.ru

Радиоэлектроника Радиоэлектроника

Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании

Ночник-проектор "Звездное небо и планеты", фиолетовый.
Оригинальный светильник - ночник - проектор. Корпус поворачивается от руки. Источник света: 1) Лампочка (от карманных фонариков) 2) Три
330 руб
Раздел: Ночники
Забавная пачка "5000 дублей".
Юмор – настоящее богатство! Купюры в пачке выглядят совсем как настоящие, к тому же и банковской лентой перехвачены... Но вглядитесь
60 руб
Раздел: Прочее
Наклейки для поощрения "Смайлики 2".
Набор для поощрения на самоклеящейся бумаге. Формат 95х160 мм.
19 руб
Раздел: Наклейки для оценивания, поощрения

ТЕХНИЧЕСКОЕ ЗАДАНИЕ на курсовую работу по дисциплине «Физико-химические основы технологии микроэлектроники» Студенту гр. 7033 Родину Н.Е. 1. Рассчитать распределение примесей вдоль слитка полупроводникового материала при очистке зонной плавкой (один проход расплавленной зоной). материал кремний примеси - Ga,P и Sb исходное содержание примесей (каждой) 0,02% (массовых) Для трех скоростей перемещения зоны Vкр =1,5 ; 5 и 15 мм/мин. 2. Проанализировать бинарную диаграмму состояния Si -Ga и представить графически область существования твердых растворов примеси, найти предельную твердую растворимость примеси и температуру предельной растворимости. Рассчитать и построить распределение указанной выше примеси (Ga) в полупроводнике после диффузионного отжига при различных условия диффузии: ?при условии бесконечного источника примеси на поверхности пластины и при температуре, соответствующей максимальной растворимости примеси в полупроводнике; время диффузии – 30 мин. ?при температуре 950 оС; время диффузии – 30 мин. ?после перераспределения примеси, накопленной в приповерхностном слое полупроводника при температуре 950 оС и времени диффузии – 30 мин. Условия перераспределения - полностью отражающая граница, температура 1150 оС, время 2 часа. Срок сдачи законченной работы руководителю - июнь 1998 г. Шишлянников Родин Реферат. В курсовом проекте производится расчет распределения примеси вдоль слитка кремния зонной плавкой. Расчет производится для трех примесей (Ga,P и Sb) для трех скоростей (Vкр =1,5 ; 5 и 15 мм/мин). Кроме того расчет распределения Ga в кремнии после диффузионного отжига при различных условиях диффузии. Курсовая работа содержит графики распределения примеси как при зонной плавке, так и при диффузии. Содержание. Введение 1.Расчетная часть 1.1Описание процесса зонной плавки и ее математическая модель 1.2Расчет распределения примеси вдоль слитка кремния после зонной плавки (один проход расплавленной зоной 1.2.1Расчет распределения Si-Ga 1.2.2Расчет распределения Si-P 1.2.3Расчет распределения Si-Sb 1.3Распределение примесей после диффузии 1.3.1Распределение примеси при диффузии из полубесконечного пространства (диффузия из концентрационного порога 1.3.2 Распределение примеси при диффузии из постоянного источника в полубесконечное тело 1.3.3Распределение примеси при диффузии из слоя конечной толщины (диффузия из ограниченного источника) в полубесконечное тело с отражающей границей 1.3.4Распределение примеси при диффузии из бесконечно тонкого слоя в полубесконечное тело с отражающей границей 1.4Расчет распределения примеси после диффузионного легирования. 1.4.1Диффузия из бесконечного источника примеси на поверхности пластины и при температуре, соответствующей максимальной растворимости примеси в полупроводнике; время диффузии 30мин 1.4.2Диффузия из бесконечного источника примеси на поверхности пластины при Т=9500 С, и времени диффузии 30 мин 1.4.3Распределение примеси после перераспределения примеси накопленной в приповерхностном слое полупроводника при Т=950ОС и времени диффузии 30мин. Условие перераспределения полностью отражающая граница.

Т=1150ОС, время 2 часа Заключение Литература Введение. Каждое вещество может находится в состоянии которое характеризуется содержанием примеси в нем ниже некоторого определенного предела. Предел определяется различными условиями связанными со свойствами, областью применения веществ. Для полупроводниковых материалов достижения собственных свойств или близких к ним является тем необходимым пределом до которого материалы должны очищаться. При обосновании необходимой очистки нужно руководствоваться и экономической целесообразности очистки. Для очистки полупроводниковых материалов в технологии микроэлектронных устройств используется метод зонной плавки (перекристаллизация). В некоторых случаях в технологии полупроводниковых материалов выращивают монокристаллы методом зонной плавки. Достоинством метода является совмещение процесса глубокой очистки полупроводника с последующим выращиванием его монокристалла. В технологии разлагающихся полупроводниковых соединений применение этого метода позволяет совмещать в одном технологическом цикле сразу три операции: синтез, очистку синтезированного соединения и выращивание его монокристалла. Для введения в полупроводник примеси используется процесс диффузии. Для изготовления p- переходов используется химическая диффузия примесных (растворимых) атомов, которые вводятся в кристаллическую решетку для изменения ее электрофизических свойств. Кроме того диффузия используется для перераспределения примеси в полупроводнике. 1.Расчетная часть. 1.1 Описание процесса зонной плавки и ее математическая модель. Очистку полупроводниковых материалов методом зонной плавки предложил в 1952 году Пфанн. В связи с различной растворимостью примесей в твердой и жидкой фазах зонная плавка является одним из наиболее эффективных и производительных методов глубокой очистки монокристаллов. При его реализации перед началом кристаллизации расплавляется не вся твердая фаза кристалла (рис.1 ), а только узкая расплавленная зона, которую перемещают вдоль слитка. Рисунок1 – Схема зонной плавки. Большинство примесей обладает хорошей растворимостью в жидкой фазе по сравнению с твердой (равновесный коэффициент сегрегации k0?1), поэтому по мере продвижения зона плавления все больше насыщается примесями, которые скапливаются на конце слитка. Обычно процесс зонной плавки повторяют несколько раз, по окончании очистки загрязненный конец слитка отрезают. Для ускорения процесса очистки вдоль контейнера ставят несколько индукторов для образования ряда зон плавления. Для материалов с k0?1 очистка материалов зонной плавкой практически невозможна. Распределение примесей после одного прохода расплавленной зоной при зонной плавке вдоль слитка представляется уравнением (1) где тв – концентрация примеси в закристаллизовавшейся фазе на расстоянии x от начала слитка; о – исходная концентрация примеси в очищаемом материале; x – текущая координата (расстояние от начала слитка); l – длина расплавленной зоны; ko – равновесный коэффициент распределения. Если измерять длину слитка в длинах расплавленной зоны a = x/l, выражение (1) следует записать иначе: (2) Приведенные уравнения (1) и (2), являющиеся математическим описанием процесса зонной плавки, выведены при определенных допущениях, сформулированных автором метода зонной очистки В.

Пфанном при выводе этих уравнений. Эти допущения в литературе принято называть пфанновскими, их суть в следующем: ?Процессами диффузионного перераспределения компонентов системы в объеме слитка можно пренебречь, т.е. коэффициенты диффузии компонентов в твердой фазе принимаются равными нулю ( Dтв = 0 ). ? Диффузия компонентов системы в жидкой фазе совершенна - концентрация компонентов постоянна по объему расплава в любой момент процесса; ?Коэффициент распределения примеси – величина постоянная и не зависит от концентрации примеси в кристаллизующемся веществе (кривые солидус и ликвидус диаграммы состояния прямолинейны); ?Начальная концентрация компонентов в исходном материале (слитке) одинакова по всем сечениям; ? Геометрия подвергаемого зонной плавке слитка (длина и поперечное сечение) в ходе процесса остаются постоянными, плотности твердой и жидкой фаз равны (?тв?ж? 6 ?Расплав и твердая фаза при зонной плавке не взаимодействуют с окружающей средой - атмосферой и контейнером. Другими словами, в системе нет летучих и диссоциирующих компонентов, отсутствует поглощение примесей расплавом из атмосферы, материал контейнера не растворяется в жидкой фазе. Уравнения (1) и (2) справедливы только на участках слитка, на которых зона имеет две границы раздела фаз (постоянный объем). Когда в системе остается только кристаллизующаяся граница, распределение примеси представляется другим уравнением, соответствующим процессу нормальной направленной кристаллизации. Другими словами, если длина очищаемого слитка в длинах зон равна A= L/l, то уравнения (1) и (2) справедливы на длине a = (L - l)/l = A-1. При a? A-1 , (3) где g - доля закристаллизовавшегося расплава последнего участка. Только при проведении процесса при условиях, когда удовлетворяются все требования, приведенные выше, реальное распределение примеси в слитке после зонной плавки будет соответствовать закону, представленному выражениями (1) и (2). Анализ показывает, что в большинстве реально протекаемых процессов зонной очистки полупроводниковых материалов пфанновские допущения не реализуются. Вместе с тем, вывод уравнений (1) и(2) без них был бы невозможен, а менее жесткие допущения приводят к существенному усложнению получаемых выражений. Наиболее жесткими являются условия 2 и 3. Допущение 2 в данной формулировке может выполняться только при бесконечно малых скоростях кристаллизации (скорости движения зоны). В этом случае сравнительно быстрая (по сравнению с диффузией в твердой фазе) диффузия в жидкой фазе в состоянии постоянно выравнивать концентрации компонентов системы в объеме расплавленной зоны. Использовании выражений (1) и (2) для представления распределения примеси при реальных скоростях кристаллизации приводит к необходимости изменить формулировку допущения 2. Выполнение условия постоянства концентрации компонентов по объему расплава возможно в данной ситуации только при реализации полного (идеального) перемешивания жидкой фазы. Предполагается, что в этом случае перераспределение компонентов и выравнивание состава в жидкой фазе происходит мгновенно - т. е. эффективный коэффициент диффузии в жидкой фазе Dж =?.

Моисеев утверждал, что ему приходилось лично в 19201925 годах плавить «булат» следующего состава (в%): углерод 1,551,44; хром 0,70,8; марганец 1,521,64; вольфрам 0,690,86. Конечно, свойства этой легированной стали не уступали булату! Таким образом, в начале XX века легированные стали позволяли получать холодное оружие и инструмент очень высокого качества. Необходимость приготовления булата полностью отпала. Узорчатая сталь? Сколько угодно! В XIX веке последователи Аносова, известные русские металлурги П. М. Обухов, А. С. Лавров, Н. В. Калакуцкий развивали его идеи о получении совершенной стали, искали научные обоснования металлургических процессов. Так, например, А. С. Лавров изучал строение стального слитка, впервые применил алюминий для удаления кислорода из стали, выдвинул идею подогрева верхней части слитка термитными смесями для того, чтобы уменьшить его усадку и увеличить выход годного металла. Совместно с Н. В. Калакуцким он открыл и объяснил ликвацию стали неравномерное распределение примесей в объеме слитка

1. Определение времени жизни носителей в высокоомном кремнии. Влияние времени жизни на параметры высоковольтных приборов на кремнии

2. Проект термического отделения для обезуглероживающего и рекристаллизационного отжига изотропной электротехнической стали третьей группы легирования в толщине 0.5 мм в условиях ЛПЦ-5 АО НЛМК

3. Расчет параметров ступенчатого p-n перехода

4. Расчет и проектирование диода на основе кремния

5. Свойства легированных сталей. Испытание на твёрдость по Бринеллю

6. Легирование полупроводниковых материалов
7. Структура и свойства пьезокерамических материалов, легированных никелем и медью
8. Гражданская Оборона. Расчет параметров ядерного взрыва

9. Изменения, произошедшие в финансовой системе России, в переходе к рыночной экономике

10. Финансовый контроль в период перехода к рынку

11. Безналичные расчеты

12. Сравнение договоров подряда и купли - продажи, форма расчета-инкассо, типы ведения бизнеса

13. Формы денежных расчетов в коммерческой деятельности

14. Учет и анализ расчетов с персоналом по оплате труда в организации

15. Учет и анализ расчетов с персоналом по оплате труда в организации

16. Переход от традиционного романа к модернистскому на примере произведения Германа Гессе "Степной волк"

Шкатулка РТО, 33.5x18x14 см (арт. 3649-RT-59).
Шкатулки РТО — стильный аксессуар и для рукодельницы, и для филателиста, и для всех, кому приходится на время прятать, используемые в
1093 руб
Раздел: Шкатулки для рукоделия
Кружка фарфоровая "FIFA 2018. Забивака. Вперед!", 380 мл.
Объем: 380 мл. Материал: фарфор.
319 руб
Раздел: Кружки, посуда
Вешалка для одежды напольная, раздвижная ТД-00012, 1450x430x1550 мм.
Длина: 145 см. Регулируемая высота: 90-155 см. Ширина: 43 см. Количество перекладин: 1. Максимальная нагрузка: 15 кг. Вешалка напольная
828 руб
Раздел: Вешалки напольные

17. Разработка программы для расчета финансовых показателей, используемых в составлении бизнес-плана на языке Visual Basic

18. Типовые расчеты надежности систем на персональном компьютере

19. Синтаксический распознаватель арифметического оператора условного перехода языка FORTRAN

20. Автоматизация расчета начислений заработной платы в строительном управлении N 151

21. Программы для расчета на прочность совместимые с AutoCad

22. Расчет дифференциального уравнения первого, второго и третьего порядка методом Эйлера
23. Морфофункциональная характеристика места перехода пищевода в желудок
24. Переход к рыночной экономике в России и задачи ОВД

25. Расчет информационной нагрузки программиста, оптимальное рабочее место с точки зрения эргономики, расчет вентиляции

26. Расчет потребного воздухообмена при общеобменной вентиляции

27. Расчет платы за выбросы загрязняющих веществ в атмосферу от передвижных источников

28. Расчет ректификационной колонны

29. Компьютерная программа для расчета режимов резания деревообрабатывающего круглопильного станка

30. Расчет режима прогревного выдерживания конструкции несущей стенки монолитного дома

31. Программа для расчета цеха серийного производства

32. Расчет схемы электроснабжения плавильного цеха обогатительной фабрики

Подставка для колец Zoola "Кролик", хром.
Серия стильных и функциональных держателей для украшений от Umbra. Они предназначены как для хранения украшений, так и общего декора
590 руб
Раздел: Подставки для украшений
Подгузники Moony, 6-11 кг, экономичная упаковка, 62 штуки.
Максимально удобны и просты в применении. "Дышащая поверхность" подгузников обеспечивает доступ воздуха к коже ребенка, а
1423 руб
Раздел: 6-10 кг
Рамка деревянная со стеклом, формат 40х40 см, арт. 2N66.
Размер: 40х40 см. Цвет: клён. Материал: дерево.
404 руб
Раздел: Багетные рамы, для икон

33. Расчет мощности и выбор двигателя для механизма циклического действия

34. Расчет электроприводов постоянного и переменного тока

35. Расчет прочности центрально растянутых предварительно напряженных элементов

36. Расчет надежности электроснабжения подстанции "Южная"

37. Типовой расчет по основам светотехники

38. Расчет наматывающего устройства
39. Расчет прямозубой цилиндрической передачи
40. Расчет редуктора

41. Расчет конденсационной турбины мощностью 165МВт на основе турбины-прототипа К-160-130-2 ХТГЗ

42. Расчет зануления двигателя

43. Расчет ректификационной колонны бензол-толуол

44. Расчет размерных цепей. Стандартизация

45. Кремний, полученный с использованием "геттерирования" расплава

46. Кинематический анализ и расчет станка 1П 365

47. Структура и формирование исходных данных, необходимых для расчета параметров технологических схем

48. Расчет винтового гибочного пресса

Магнитный театр "Теремок".
Увлекательное театральное представление с любимыми героями русской народной сказки «Теремок» и вашим ребенком в роли главного режиссера.
308 руб
Раздел: Магнитный театр
Развивающая доска "Пицца", 54 элемента, 5 слоев.
Деревянная доска "Пицца" - это увлекательный игровой набор для развития мелкой моторики, воображения и усидчивости Вашего
807 руб
Раздел: Продукты
Концентрат Gardex "Extreme", для защиты дачного участка от клещей, 50 мл.
Концентрат для защиты дачного участка от клещей. Для обработки приусадебных, дачных и садовых участков. Надежно защищает от иксодовых
370 руб
Раздел: Аэрозоль, спрей

49. Выбор материала и расчет параметров обделок вертикальных столов метрополитенов

50. Расчет сборочной машины для сборки детали "Пластина контактная"

51. Расчет подземных инженерных сетей

52. Разработка общего плана обработки детали "Втулка" с подробной разработкой технологических переходов для поверхности 028e8

53. Расчет дисковой зуборезной модульной фрезы

54. Тяговый расчет трактора
55. Расчет первой ступени паровой турбины ПТУ К-500-65 (3000 (Курсовой)
56. Расчетно-пояснительная записка по расчету винтового конвейера

57. Расчет тепловой схемы парогенератора ПГВ-1000 с построением диаграмм t-Q, тепловой и гидродинамический расчеты

58. Расчет и построение тягово-динамической характеристики тягача с гидромеханической трансмиссией

59. СПИРАЛЬНЫЕ АНТЕННЫ (расчет)

60. Расчет теплопотерь и системы отопления индивидуального жилого дома

61. Расчет и проектирование коробки скоростей к операционному токарному станку

62. Анализ процесса формообразования и расчет параметров режимов резания

63. Совершенствование систем электроснабжения подземных потребителей шахт. Расчет схемы электроснабжения ЦПП до участка и выбор фазокомпенсирующих устройств

64. Тепловой расчет паровой турбины Т-100-130

Кастрюля со стеклянной крышкой, 3 л.
Объем: 3 л. Диаметр: 18 см. Глубина: 11,5 см. Толщина стенок: 0,5 мм. Кастрюля из высококачественной нержавеющей стали класса
700 руб
Раздел: До 3 литров
Копилка "Свинка", с молотком, 15x15x14 см, арт. 223016.
Копилка поможет Вам наконец-то собрать требуемую сумму для покупки долгожданной вещицы. Регулярно удалять пыль сухой, мягкой
503 руб
Раздел: Копилки
Набор цветных карандашей STABILO GREENcolors, 12 штук.
STABILO GREENcolors - цветные карандаши, сертифицированные FSC. • Изготовлены на 100% из возобновляемой древесины и покрыты лаком на
414 руб
Раздел: 7-12 цветов

65. Тепловой расчет парового котла

66. Расчет вакуумной ректификационной колонны для разгонки нефтепродуктов

67. Расчет вальцовых механизмов подач деревообрабатывающих станков

68. Производство портландцемента и расчет компонентов

69. Составление плана раскроя пиловочного сырья и расчет технологических потоков лесопильного цеха

70. Расчет технических нормативов дороги
71. Составление калькуляции сметной расценки на эксплуатацию атомобиля-самосвала грузоподъемностью 12 т и расчет тарифа на перевозку сыпучих материалов по трем маятниковым маршрутам
72. Расчет шумового воздействия, и шумозащитных мероприятий для 602-625 км а/д Москва – Санкт-Петербург (отчет по преддипломной практике)

73. Расчет трансфинплана грузового АТП

74. Тепловой расчет двигателя

75. Расчет численостей и расстановка исполнителей в структуре управления предприятием малого бизнеса на строительстве и эксплуатации автомобильных дорог

76. Расчет импульсного усилителя

77. Расчет многокаскадного усилителя

78. Расчет и проектирование в тонкопленочном исполнении усилителя мощности

79. Расчет различных электрических цепей

80. Расчет усилителя низкой частоты

Фломастеры "Connector. Балерина", 45 предметов.
Подарочный набор фломастеров. В упаковке: 33 фломастера Connector, 10 клипов для соединения, 2 карточки для раскрашивания.
1162 руб
Раздел: Более 24 цветов
Набор маркеров для досок "Kores", 3 мм, 4 штуки.
Круглый наконечник. Пластиковый корпус. Толщина линии письма - 3мм. Цвета: черный, синий, красный, зеленый. Стираются с таких гладких
305 руб
Раздел: Для досок
Фигурка новогодняя "Олень" большой (30 см).
Материал: фанера. Цвет: серый. Размер подставки: 23х5х0,7 см. Размеры оленя: - высота: 31 см. - длина: 30 см. - толщина: 0,7 мм. Размер
550 руб
Раздел: Прочие фигурки

81. Расчет напряженности поля радиотелецентров

82. Расчет характеристик канала вывода СИ (синхротронного излучения)

83. Расчет усилителя низкой частоты с блоком питания

84. Основы стандартизации и функциональной взаимозаменяемости. Расчет размерных цепей

85. Расчет компенсационных стабилизаторов напряжения

86. Расчет корректирующих цепей широкополосных усилительных каскадов на полевых транзисторах
87. Расчет настроек автоматического регулятора 2
88. Расчет размерной цепи

89. Расчет показателей эффективности радиосвязи

90. Расчет времени откачки распределенных вакуумных систем

91. Расчет частотных характеристик активного фильтра второго порядка на операционном усилителе

92. Численный расчет диода Ганна

93. Расчет радиочастотной части радиовещательного транзисторного приемника длинных волн и УРЧ радиовещательного приемника

94. Расчет и проектирование судового асинхронного электродвигателя

95. Расчет конструкций здания мельницы

96. Тепловой и динамический расчет двигателя внутреннего сгорания

Чудо-пеленка для мальчика "Bambola".
Пеленка на липучках создана, чтобы обеспечить спокойный сон малышу. Благодаря липучкам, которые удерживают и не позволяют ребенку
340 руб
Раздел: Пелёнки
Фоторамка на 6 фотографий С34-004 "Alparaisa", 50,5x34,5 см (белый).
Размеры рамки: 50,5x34,5х1,5 cм. Размеры фото: - 10х15 см, 3 штуки, - 15х10 см, 3 штуки. Фоторамка-коллаж для 6-ти фотографий. Материал:
599 руб
Раздел: Мультирамки
Настольная композиция "Сад Дзен", 29x21x6 см.
Настольная композиция "Сад Дзен" станет необычным подарком для ценителей "заморской" Японской культуры. Время
1122 руб
Раздел: Антистрессы

97. Расчет времени откачки распределенных вакуумных систем

98. Два типа фазовых переходов и третье начало термодинамики

99. Расчет разветвленной электрической цепи постоянного тока


Поиск Рефератов на сайте za4eti.ru Вы студент, и у Вас нет времени на выполнение письменных работ (рефератов, курсовых и дипломов)? Мы сможем Вам в этом помочь. Возможно, Вам подойдет что-то из ПЕРЕЧНЯ ПРЕДМЕТОВ И ДИСЦИПЛИН, ПО КОТОРЫМ ВЫПОЛНЯЮТСЯ РЕФЕРАТЫ, КУРСОВЫЕ И ДИПЛОМНЫЕ РАБОТЫ. 
Вы можете поискать нужную Вам работу в КОЛЛЕКЦИИ ГОТОВЫХ РЕФЕРАТОВ, КУРСОВЫХ И ДИПЛОМНЫХ РАБОТ, выполненных преподавателями московских ВУЗов за период более чем 10-летней работы. Эти работы Вы можете бесплатно СКАЧАТЬ.