Библиотека Рефераты Курсовые Дипломы Поиск
Библиотека Рефераты Курсовые Дипломы Поиск
сделать стартовой добавить в избранное
Кефирный гриб на сайте za4eti.ru

Промышленность и Производство Промышленность и Производство     Технология Технология

Литография высокого разрешения в технологии полупроводников

Ночник-проектор "Звездное небо, планеты", черный.
Оригинальный светильник-ночник-проектор. Корпус поворачивается от руки. Источник света: 1) Лампочка (от карманных фанариков); 2) Три
350 руб
Раздел: Ночники
Фонарь желаний бумажный, оранжевый.
В комплекте: фонарик, горелка. Оформление упаковки - 100% полностью на русском языке. Форма купола "перевёрнутая груша" как у
87 руб
Раздел: Небесные фонарики
Забавная пачка денег "100 долларов".
Купюры в пачке выглядят совсем как настоящие, к тому же и банковской лентой перехвачены... Но вглядитесь внимательней, и Вы увидите
60 руб
Раздел: Прочее

ЛИТОГРАФИЯ ВЫСОКОГО РАЗРЕШЕНИЯ В ТЕХНОЛОГИИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ Реферат по НИРС Выполнил : Тимофеев А. гр. ФТМ-61 КАЛУЖСКИЙ ФИЛИАЛ МОСКОВСКОГО ГОСУДАРСТВЕННОГО ТЕХНИЧЕСКОГО УНИВЕРСИТЕТА ИМЕНИ Н.И. БАУМАНА г. Калуга, 1996 г. Введение. Оптическая литография объединяет в себе такие области науки, как оптика, механика и фотохимия. При любом типе печати ухудшается резкость края (рис. 1). Проецирование двумерного рисунка схемы ведет к уменьшению крутизны края, поэтому нужен специальный резист, в котором под воздействием синусоидально модулированной интенсивности пучка будет формироваться прямоугольная маска для последующего переноса изображения травлением или взрывной литографией. Если две щели размещены на некотором расстоянии друг от друга, то неэкспонируемый участок частично экспонируется по следующим причинам: 1) дифракция; 2) глубина фокуса объектива; 3) низкоконтрастный резист; 4) стоячие волны (отражение от подложки); 5) преломление света в резисте. Рис. 1. Профили распределения интенсивности в изображения для случаев контактной печати, печати с зазором и проекционной литографии. Изображение неточечного источника в фокальной плоскости идеального объектива никогда не бывает истинной точкой, а распределяется в дифракционную картину диска Эйри. Таким образом, неэкспонируемый промежуток частично экспонируется дифрагировавшим и отраженным от подложки излучением. Из-за ограниченной селективности последующего процесса сухого травления резиста и подложки требуется получение рисунка с круглым профилем в относительно толстой пленке. Вследствие внутреннего эффекта близости (дифракционные потери) изолированные экспонируемые линии облучаются недостаточно и должны экспонироваться с большей дозой (ведет к искажению изображений линий размером более 3 мкм или неэкспонируемых промежутков размером менее 3 мкм) или проявляться с потерей толщины резиста в неэкспонируемых промежутках. Таким образом, задача фотолитографии заключается в том, чтобы обеспечить совмещение и воспроизвести в резисте двумерный рисунок фотошаблона с точностью в пределах ±15% от номинального размера его элементов и с 5%-ным допуском на требуемый наклон краев. Послойное совмещение приборных структур должно осуществляться с точностью не хуже ±25% от размера минимального элемента. Оценка влияния проекционной оптики и системы совмещения определяется суммой среднеквадратичных ошибок переноса изображения и совмещения. Ширина минимально воспроизводимых линий при этом считается равной 4-кратной точности совмещения. Используемые в фотолитографии источники экспонирующего излучения бывают как точечными (лазеры), так и протяженными (ртутные лампы). Спектр излучения этих источников лежит в трех основных спектральных диапазонах: - Дальний УФ от 100 до 200-300 нм; - Средний УФ 300-360 нм; - Ближний УФ от 360-450. Существует 3 типа фотолитографических устройств: 1) теневого экспонирования; 2) проекционные с преломляющей оптикой; 3) проекционные с отражательной оптикой. При теневом экспонировании шаблон, выполненный в масштабе 1: 1, находится в физическом контакте с подложкой или отдален от нее на несколько микрометров в случае печати с зазором.

Главными недостатками контактной печати являются повреждения шаблона и ограниченная совместимость. В проекционных системах используются линзы или зеркала, позволяющие проецировать рисунок фотошаблона (масштаб 10:1, 5:1 или 1:1) на квадратное поле (20х20) или полоску (1,5 мм), которая затем сканируется по пластине. В стандартной проекционной системе, осуществляющей перенос изображения, фокус объектива (f) является функцией диаметра его входного зрачка (D). Числовая апертура объектива ( A) в среде с показателем преломления определяется как A= si q= D / 2f. (1) Разрешение (W) объектива, определяемое для двух непрозрачных объектов, которые едва различимы в диске Эйри, согласно критерию Рэлея, равно W=K l / A (2). Практическим разрешением считается 3- кратное значение разрешения, определенного по Рэлею, на длине волны экспонирования l : W=1.83 l / A (3). Таким образом, разрешение улучшается при использовании более коротковолнового экспонирующего излучения (ДУФ) и объектива с большей числовой апертурой (за счет уменьшения размера экспонируемого поля). К сожалению, глубина фокуса (DF) также уменьшается с ростом A, и определение место положения каждого кристалла требует дополнительного фокусирования: DF=±l / 2 ( A )2. (4) Рис. 2. Зависимость числовой апертуры объектива от размера поля изображения Для объектива с числовой апертурой A=0.35 при экспонировании на длине волны 300 нм глубина фокуса DF составляет менее 1.5 мкм. В этом случае неплоскостность пластин, неровный топографический рельеф, а также сама толщина резиста могут привести к невозможности получения субмикронных структур. Увеличение апертуры, к сожалению, ведет к уменьшению поля изображения, в этом случае за одну экспозицию возможно формирование лишь одного кристалла (рис. 2) Основы оптики. Размер скрытого изображения и величина краевого градиента резистных профилей ограничивается следующими основными физическими свойствами света: 1) когерентность; 2) дифракция; 3)интерференция; 4) астигматизм; 5) хроматические аберрации. В случае когерентного излучения цуги световых волн распространяются так, что их гребни и впадины согласованы по фазе друг с другом. Монохроматические световые волны, распространяющиеся случайным образом так, что их гребни и впадины не сфазированы (частично сфазированы), называют некогерентным (частично когерентным) светом. Если освещение изменяется от когерентного к частично когерентному, то контраст в передаваемом объективом изображении, эффективное разрешение и глубина фокуса изображения уменьшаются. В проекционной системе с осветителем келеровского типа источник экспонирующего излучения проецируется во входной зрачок проекционного объектива и это изображение становится эффективным размером источника. Если размер источника во входном зрачке увеличивается, то в случае протяженного источника фазовая корреляция излучения в плоскости объекта ослабевает, а дифракционные порядки идущего от предмета света увеличиваются в размере (рис.3). Рис. 3. Частично когерентное освещение и результирующее распределение интенсивности. Дифракционные порядки рассеянного на объекте света увеличиваются в размере Техническое определение разрешающей способности объектива исходит из возможности объектива разрешать последовательность одинаковых прозрачных и непрозрачных полос (дифракционную решетку).

Модуляционная передаточная функция (МПФ) выражает связь между объектом М1 и изображением М2: МПФ=М1 / М2=( Макс - Мин) / ( Макс Мин ). (5) Коль скоро МПФ объектива определена, то могут быть сделаны предположения относительно размера функции рассеяния точки (диска Эйри), контроля ширины линии и чувствительности к условиям экспозиции. Модуляция в 60% соответствует Iмакс=80% и Iмин=20% интенсивности света, пропущенного дифракционными элементами объектива (рис.4). При минимальной МПФ »0.60 допускается 20%-ое недоэкспонирование резиста. МПФ проекционной системы, имеющий дифракционные ограничения и некогерентный источник, идентично преобразованию Фурье круглого входного зрачка объектива: МПФ= 2 / p . (6) где fc - (когерентная) пространственная частота отсечки: fc= 1 / l ( g arcsi A), (7) где М - увеличение системы, l - длина световой волны. Рис. 4. Модуляционная передаточная функция. Толщина резиста учитывается посредством усреднения МПФ системы в фокусе на поверхности резиста ( =0) и вне фокуса на дне резиста ( ). Дефокусировка рассматривается как аберрация. Дефокусированная МПФ есть произведение сфокусированной МПФ и фурье-преобразования диска Эйри: F( f )=( 1 / p R f ) J ( 2 p R f ), (8) где R- радиус диска, J- функция Бесселя первого порядка. Таким образом, для резиста заданной толщины (рис.5): МПФ =МПФ0. (9) МПФ оптических приборов резко спадает на пространственной частоте, которая ограничивает диапазон пространственных частот изображаемого предмета. При увеличении A и уменьшении l улучшается качество передачи изображения (рис. 6). Расфокусировка может рассматриваться как аберрация. Таким образом, использование тонких пленок в многослойном резисте или резисте с поверхностным переносом изображения позволяет увеличить разрешение, особенно в случае близко расположенных линий или элементов. Рис. 5. МПФ при толщине резиста: 0.4 (А), 0.8 (В) и 1.2мкм (С). Рис. 6. Зависимость МПФ от числовой апертуры. При моделировании реальных резистных профилей неравномерность распределения интенсивности по краю пучка, взаимодействие проявителя с резистом (контраст) и МПФоб. оптической системы учитываются в следующем дифференциальном выражении для изменения ширины линии: dy/dx=(¶y/¶E)(¶E/¶x), (10) где E - поглощенная резистом энергия. В случае слабопоглащающего резиста и слабо отражающей подложки первый сомножитель зависит от свойств конкретного резиста и процесса его обработки, а второй - только от свойств оптической системы. Величина ¶E/¶x характеризует распределение интенсивности в изображении и зависит от длины волны экспонирования l, числовой апертуры A, отклонения (Ùz) положения плоскости резиста от фокальной плоскости и однородности освещения: ¶E/¶x@(2 A/l)2. (11) Параметр k равен единице или слегка отличается от нее для различных степеней частичной когерентности освещения. Контраст позитивного резиста определяется из выражения g=-1, (12) где E1 - энергия экспозиции, ниже которой не происходит удаления резиста в проявителе, E0 - энергия экспозиции, при которой резист полностью удаляется при проявлении. Обычно E1 не зависит от толщины резиста , в то время как значение E0 на глубине зависит от поглощения в слое резиста толщиной (E0»10-a ).

Нанотехнология сделает возможными экраны высокого разрешения, которые будут выдавать различные изображения для каждого глаза; результатом станет трёхмерное телевидение, такое реалистичное, что экран будет казаться окном в другой мир. Экраны этого сорта могли бы войти в состав шлемов костюма, во многом подобных космическим костюмам, описанным в главе 6. Сам костюм, вместо того, чтобы перепрограммироваться, чтобы передавать силы и текстуры из вне, мог бы вместо этого прикладывать к коже силы и текстуры, определённые сложной интерактивной программой. Комбинация костюма и шлема такого рода могла бы моделировать меньшую часть того, что мы видим и ощущаем в любой внешней среде, будь то реальной или воображаемой. Нанотехнология сделает возможными подвижные виды искусства и фантастические миры намного более захватывающие чем любые книги, игры или фильмы. Продвинутые технологии сделают возможным целый мир продуктов, которые делают современные удобства кажущимися неудобными и опасными. Почему не должны объекты быть лёгкими, гибкими, долговечными и приспосабливающими под наши желания? Почему не могут стены выглядеть как угодно, как мы хотим, и передавать только звуки, которые мы хотим слышать? И почему не должны здания и машины вообще подвергаться крушению и поджаривать своих обитателей? Для тех, кто хочет, окружение повседневной жизни может напоминать некоторые из самых диких описаний, которые можно найти в научной фантастике

1. От высоких информационных технологий - к спортивным победам

2. История появления и развитие преступлений в сфере высоких информационных технологий

3. Высокие интеллектуальные технологии при изучении раздела "Человек" в средней школе

4. Применение высоких технологий в сельском хозяйстве

5. "Звездные войны" или заложники высоких технологий

6. Высокие технологии в сельском хозяйстве
7. Технология разрешения конфликтов
8. Технология возведения одноэтажного промышленного здания

9. Разрешение земельных споров

10. Международно-правовые способы разрешения международных споров

11. Автоматизированные информационные технологии формирования, обработки и представления данных в налоговой службе

12. Коллективные трудовые споры и порядок их разрешения

13. Творчество мастеров высокого итальянского Возрождения. Леонардо да Винчи

14. Новые технологии и искусство

15. Роль техники и технологии в процессе развития культуры

16. Intel Pentium 4 3,06 ГГц с поддержкой технологии Hyper-Threading

Автомобиль со звуковым сигналом "Джип-каталка с ручкой", красный.
Отличная мини-машинка белорусского производства, выполненная по лицензии испанской компании Molto — настоящая находка для энергичных
2126 руб
Раздел: Каталки
Логическая игра "IQ-ХоХо", арт. SG 444 RU.
Заполните игровое поле десятью двухсторонними деталями головоломки, располагая Х и О в определённой последовательности. Выполните все 120
525 руб
Раздел: Игры логические
Шары для сухого бассейна, 100 штук.
Шары для сухого бассейна упакованы в тубус, что удобно для хранения и переноски. Количество шаров 100 штук вполне хватит для детской ванны
1037 руб
Раздел: Шары для бассейна

17. Использование информационных технологий в туризме

18. Автоматизированные информационные технологии в офисе

19. Современные сетевые и информационные технологии

20. Информационные технологии в экономике. Основы сетевых информационных технологий

21. Разработка технологии ремонта, модернизации сервера с двумя процессорами Pentium

22. Internet технологии
23. Технологии поиска документальной информации в INTERNET
24. Реализация сетевых компьютерных технологий в системе международного маркетинга

25. web дизайн: Flash технологии

26. Удалённый доступ к частной сети через Интернет с помощь технологии VPN

27. Wi-Fi - технология беспроводной связи

28. Новые технологии в организации PC

29. Использование компьютерных технологий в деятельности ОВД

30. Лекции по информационным технологиям

31. Основные технологии накопителей на магнитной ленте

32. Технология беспроводной передачи информации на примере технологии Bluetooth

Каталка Glory "Утка" музыкальная (синяя).
Детская каталка Glory "Утка" - легкая модель из пластика, которая управляется рулем с пищалкой. Сзади каталка оснащена спинкой
606 руб
Раздел: Каталки
Доска чертежная Attache Selection, А3, 51x36,4 см.
Чертежная доска формата A3 размер доски 51x36.4 см. Профессиональная чертежная доска формата А3 с набором регулируемых уголков. Легкая в
2062 руб
Раздел: Циркули, чертежные инструменты
Доска пробковая для объявлений А3, 342x484 мм.
Пробковая поверхность доски позволяет легко размещать информацию и объявления с помощью кнопок, офисных булавок и т.п. Широко используется
322 руб
Раздел: Прочее

33. Технология BlueTooth

34. Технология разработки программного обеспечения

35. Информационные технологии в фармации

36. Информационные технологии в экономике. Средства организации экономико информационных систем.

37. Информационные технологии

38. VB, MS Access, VC++, Delphi, Builder C++ принципы(технология), алгоритмы программирования
39. Информационные системы и технологии
40. Архитектура аппаратно-программных средств распределенной обработки информации для интранет-технологии

41. Технология обработки графической информации в базовом курсе информатики

42. Новые информационные технологии обучения в математике

43. Технология производства низина. Антибиотические свойства низина

44. Использование компьютерных технологий в деятельности милиции

45. Воздействие целлюлозно-бумажной промышленности на окружающую среду. Природосберегающие технологии

46. Технология проблемного обучения

47. Современные педагогические технологии

48. Дистанционное обучение: идеи, технологии, проблемы и перспективы

Шарики пластиковые, цветные, 80 штук, диаметр 85 мм.
Пластиковые шарики - веселая игра для малышей, ими можно играть где угодно - дома, на улице, в детском саду, наполнять детский манеж,
529 руб
Раздел: Шары для бассейна
Коробка подарочная "Милые вещицы".
Коробка подарочная. Материал: мелованный, ламинированный, негофрированный картон плотностью 1100 г/м2. Отделка: полноцветный декоративный
302 руб
Раздел: Коробки
Таблетки для посудомоечных машин "Babyline", для всей семьи, 25 штук.
Babyline рад представить Вам свою новинку: таблетки для посудомоечных машин для всей семьи! Теперь Вам не нужно мыть и полоскать детскую
342 руб
Раздел: Для посудомоечных машин

49. Методика преподавания темы “Электромагнитные колебания” в средней школе с использованием компьютерных технологий

50. Современные технологии в образовании

51. Образовательная модель В.Ф. Шаталова как технология интенсивного обучения

52. Формирование художественно-графических умений у учащихся 5 классов на уроках технологии при изучении раздела "Конструирование и моделирование швейных изделий"

53. Новые информационные технологии обучения в математике

54. Основы промышленного рыболовства и технология рыбных продуктов
55. Технология приготовления блюд
56. Реферат по технологии приготовления пищи "Венгерская кухня"

57. Технология изготовления вафель с начинкой

58. Особенности производственной программы, способов и режимов тепловой обработки, технологии приготовления блюд ресторана с немецкой кухней

59. Применение избирательных технологий на выборах в Пермскую городскую Думу 2000 года: технологичность выборов

60. Проблемы использования и пути развития интернет-компьютерных технологий в России

61. Избирательный процесс и избирательные технологии

62. Технология плавки и разливки магниевых сплавов

63. История технологии художественных отливок. Литье пушек

64. Изучение теории и технологии выплавки шарикоподшипниковой стали марки ШХ4

Настольная игра "Остров обезьян".
В зависимости от количества участников выбирайте нужное число обезьянок для путешествия по лианам за фруктами. Их должно быть на одну
518 руб
Раздел: Игры с фигурками
Подушка-накладка на ремень безопасности.
Мягкая и удобная подушка для автомобиля Roxy-Kids позволит ребенку комфортно отдохнуть во время долгого автомобильного
313 руб
Раздел: Безопасность ребенка
Бейдж с магнитом, 54x90 мм.
Просто крепится к любой одежде при помощи двойного магнита, не повреждая ткань. Сделан из плотного ПВХ со сменным вкладышем. Внимание!
364 руб
Раздел: Бейджи, держатели, этикетки

65. Технология производства в фасонно-литейном цехе на Оскольском Заводе Металлургического Машиностроения

66. Технология ремонта компрессионных холодильников "Минск-16"

67. Технология эпитаксиальных пленок InAs

68. Технология производства К56ИЕ10 и серии м (с К426 и К224 (WinWord)

69. Технология ремонта автомобилей и дорожных машин

70. Технология обработки на станках с ЧПУ
71. Конструирование и технология производства ЭВА
72. Технология восстановления чугунных коленчатых валов двигателей ЗМЗ-53А

73. Интернет - технология будущего

74. Разрешение внутренних и международных споров о качестве продукции

75. Технология неконцентрированной азотной кислоты

76. Разработать инструментальную оснастку к технологии изготовления детали "корпус" в условиях обработки на станках с ЧПУ

77. Технология изготовления печатных плат

78. Технологии утилизации шин и их восстановление

79. Сварочные технологии

80. Основы промышленного рыболовства и технология рыбных продуктов

Каталка-мотоцикл "МХ".
Новая каталка-мотоцикл "МХ" впечатлит вашего малыша. Он сможет почувствовать себя настоящим байкером, ведь эта каталка не просто
2899 руб
Раздел: Каталки
Крем для младенцев "Weleda" для защиты кожи в области пеленания (с календулой), 75 мл.
Крем для младенцев для защиты кожи в области пеленания от WELEDA с экстрактом Календулы лекарственной и Ромашки аптечной эффективно
476 руб
Раздел: Крем детский
Набор текстовыделителей "Frixion Light", 3 цвета, 1-3 мм.
Набор текстовыделителей в прозрачной упаковке. Заправлены термочувствительными чернилами, которые при необходимости можно удалить.
304 руб
Раздел: Текстовыделители

81. Організація ремонту машино-тракторного парка з технологічною розробкою ЦРМ господарства

82. Технология производства синергической активной пищевой добавки "Эхинацея Янтарная"

83. Исследование сорбции дрожжевых клеток на углеродном волокне и разработка технологии сбраживания гидролизного сусла

84. Технология производства фенопластов

85. Проектирование технологии производства земляных работ

86. Выбор технологии прокатки рельсов
87. Ctp-технология, глубокая печать, брошюровочно-переплетные процессы
88. Технология изготовления и применения газобетона и пенобетона для утепления ограждающих конструкций зданий

89. Технология изготовления древесно стружечных плит

90. Технология изготовления вала-шестерни

91. Анализ и совершенствование технологии ручной дуговой сварки неповоротных кольцевых стыков магистральных трубопроводов

92. Билеты для Госэкзамена в Нефтегазовом университете по Технологии и оборудовании сварочного производства

93. Технология ремонта автомобилей

94. Технология аэродинамической трубы для болидов Формулы 1

95. Компьютерные технологии в судостроении

96. Способы разрешения конфликта

Глобус Звездного неба диаметром 320 мм.
Диаметр: 320 мм. Масштаб: 1:40000000. Материал подставки: пластик. Цвет подставки: черный. Шар выполнен из толстого пластика, имеет один
1007 руб
Раздел: Глобусы
Набор детской складной мебели "Веселая азбука".
Детский комплект складной мебели подходит для кормления, игр и обучения. Поверхность столешницы ламинированная с нанесением ярких
1629 руб
Раздел: Наборы детской мебели
Набор мебели для кухни "Коллекция".
Прекрасный набор кухонной мебели: стильный шкаф с необходимой техникой, раковиной, барной стойкой и холодильник. В набор так же входит
963 руб
Раздел: Кухни, столовые

97. Психология конфликта. Философия возникновения, пути разрешения

98. Разрешение и управление конфликтами

99. Исследование взаимосвязи электрофизических параметров кремния полученного методом карботермического восстановления от технологии его получения


Поиск Рефератов на сайте za4eti.ru Вы студент, и у Вас нет времени на выполнение письменных работ (рефератов, курсовых и дипломов)? Мы сможем Вам в этом помочь. Возможно, Вам подойдет что-то из ПЕРЕЧНЯ ПРЕДМЕТОВ И ДИСЦИПЛИН, ПО КОТОРЫМ ВЫПОЛНЯЮТСЯ РЕФЕРАТЫ, КУРСОВЫЕ И ДИПЛОМНЫЕ РАБОТЫ. 
Вы можете поискать нужную Вам работу в КОЛЛЕКЦИИ ГОТОВЫХ РЕФЕРАТОВ, КУРСОВЫХ И ДИПЛОМНЫХ РАБОТ, выполненных преподавателями московских ВУЗов за период более чем 10-летней работы. Эти работы Вы можете бесплатно СКАЧАТЬ.